室内内装 プラスターボードt12.5(捨貼) 化粧ケイカル板(アスラックス) GW 40K t50 プレフィルター プレフィルター ▽FL FU-1 CH=7100 MD MD FFU-2 クラス1000∼100000 DB 22℃±2℃ RH 50%±5% 室圧 0.5mmAq以上 CR(北) 床面積285m2 FU-1 CR(南) 床面積257m2 FFU-2 CH=7100 18m3/min クラス1000∼10000 DB 22℃±2℃ 3 RH 50%±5% 35m /min 室圧 0.5mmAq以上 237m3/min ケミクリートE(ペースト工法) SA RA C C リターンファン 464m3/min 加圧ファン 外調機 中性能フィルター OA プレフィルター OAフード 60m3/min SAチャンバ 3000W×1500D×1500H GW25m/m 内貼 点検口 400×300 外気処理 エアコン プレフィルター 中性能フィルター 加湿器20kw サイリスタ70kw エアハンドリングユニット 空調器 室内内装 プラスターボードt9.5(捨貼) 化粧ケイカル板(アスラックス) CH=5200 前室(南) プレフィルター R/D 15m3/min プレフィルター ケミクリートE 524m3/min FFU-2 18m3/min 35m3/min 227m3/min FFU-1:フィルターファンユニット(HEPAフィルター) 風量 18m3/min×16台 FFU-2:フィルターファンユニット(HEPAフィルター) 風量 36m3/min×7台 FU-1 :フィルターユニットファンレス(HEPAフィルター) 風量 56m3/min×10台 運転モード ▽GL 冷水タンク 有効2.7m3 ・オート (CR南北) ・セミオート( CR南 ) ・マニュアル(自由設定) 空冷チーリング ユニット 660L/min 80USRT 図面名称 クリーンルームシステムフロー図 図番 製図 検図 縮尺 八幡エンジニアリング株式会社
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