2015年1月
2月
九州大学「クリーン実験ステーション」利用予定表
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実験課題
責任者
利用区分
利用設備・時間（h）
備考
① ② ③ ④ ⑤
メンテナンスのため
公共利用（予定）
公共利用（予定）
祝日
一般利用（予定）
一般利用（予定）
一般利用（予定）
・・・一般利用
・・・公共利用
・・・トライアルユース
・・・機器調整・デモ
・・・学内利用
・・・使用不可
*利用設備
①クラス1000　クリーンルーム
②化学処理用ドラフトチャンバー
③ガス供給システム
④超薄膜形成装置
⑤走査型プローブ顕微鏡・SMM

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HAU5 3+4 smm HAUS 4 : ÄNDERUNG ^4