A1 真 空 用 マ ニ ピ ュ レ ー タ ー 超高真空用 シャッター機構 Shutter Mechanism for Ultra-High Vacuum MSH A2 真 空 フ ラ ン ジ 特 長 Features ■ 本体はアルミニウム合金製にて軽量。 A3 真 空 用 ボ ル ト ･ ナ ッ ト A4 真 空 装 置 ■ アルミニウムフランジタイプは、ICF規格で鏡面加工後、 イオンプレーティング処理されている。 ■ 超高真空対応の仕様。 ■ シャッターを閉じた時のスキ間は、ほとんど無し。 ■ シャッターの開閉はバタフライ方式を採用。 ■ The lightweight main body is made of aluminum alloy. ■ An ion plating process is applied to the aluminum flange type after the mirror finishing process according to the ICF standard. ■ Specifications suitable for Ultra-High Vacuum. ■ Virtually no clearance between blades when the shutter is closed. ■ Butterfly opening and closing of the shutter A5 ■ Bタイプ B type F F External view drawing B E 分 析 機 器 C E G G C 受 託 業 務 D ■ Aタイプ A type φC B 外観図 D そ の 他 ア ク セ サ リ ー 主要寸法 Main dimensions 呼び H B H A A A B C D E F 070 178 25 φ40 R18 12 114 243 50 φ40 R30 23 152 317 74 φ40 R47 30 203 342 100 φ40 R67.5 47 Nominal size G H タイプ ICF070 15 38 A ICF114 46.5 25 B ICF152 73 20 B ICF203 108 25 B Type （単位mm） （Units: mm） D 加 速 器 ・ 放 射 光 利 用 機 器 E オ ー ダ ー メ ー ド 製 品 仕 様 Specifications フランジ材質 リーク量 アルミニウム合金 Flange material 真空シール方式 ベローズ方式 バタフライ方式 シャッター Shutter 許容加熱温度 ステンレス合金 Stainless steel alloy Bellows type 1.3×10-11Pa･m3/sec or less（1×10-10 Torr･R/sec or less） Leakage rate 120℃ or less Maximum temperature Butterfry type 250℃ or less ●ご注文形式 MSH-□-□ Order form 取付フランジ材質 Material of mounting flange A：アルミニウム Aluminum S：ステンレス Stainless steel 呼び Nominal size ※本寸法・仕様は予告なしに変更する場合が有りますのでご使用の際にはご確認ください。 ※標準品以外も製作しております。何なりとお問い合わせください。 44 Aluminum alloy Vacuum seal ※Dimensions and specifications are subject to change without notice. Please confirm before use. ※Nonstandard products are available. Please inquire about other specifications.
© Copyright 2024 ExpyDoc
