Ultimate in Vacuum since 1952 タイゴールド㈱ IP事業部 DLC膜ー低摩擦膜 Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜とは タイゴールド㈱ IP事業部 ＤＬＣとは、Diamond（D）Like（L）Carbon（C） の略です。 ＤＬＣ膜の特徴は ① アモルファス構造の為表面が滑らか ② 潤滑性、摺動性が良い ③ 摩擦係数が小さい（μ＝0.2以下） ④ 離型性が良い ⑤ 硬度調整が可能 ⑥ 膜厚調整が可能 Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜とは タイゴールド㈱ IP事業部 ＤＬＣ膜とは、ダイヤモンドのsp３結合（炭素原子から手が４本出ている）と グラファイトのsp2結合（炭素原子から手が３本出ている）の両者を骨格構造 としたアモルファス炭素膜である。 covalent bond covalent + van der waals bond 607Kj/mol C C van der waals C C 326Kj/mol Si C C 337Kj/mol H interatomic distance: sp3 0.154nm sp2 0.142nm Density: diamond 3.52g/cm3 graphite 2.25g/cm3 Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 傾斜構造DLC膜の密着性 タイゴールド㈱ IP事業部 0.5 傾斜無し 傾斜あり 傾斜無 Coefficient of Friction 0.4 0.3 傾斜 0.2 0.1 0 00 200 20 400 40 60060 80080 1000100 Distance (m) Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜(IBAD/Sputter)のラマンスベクトル Ra＝3.7nm IBAD Diamond Raman intensity Graphite スパッタ Glassy C Sputtered a- C a-C:H ta-C DLC膜のラマンスベクトルは1500cm-1付近の G（Graphitic）バンドと1300cm-1付近の D（Disordered）バンドで構成される。 Ra＝3.0nm 500 1000 1500 2000 Wavenumber(cm -1) 炭素材料のラマンスペクトル 成膜法により違うパターンが見られる。 ＩＤ／ＩＧの割合が小さいほどsp3構造の結合 が多く存在している 。 Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜特性 項目 比重（g/cm3） 硬度（Gpa） 抵抗率（Ω・cm） 屈折率 摩擦係数 熱伝導率（W・cm・K） 化学反応性 最高使用温度（℃） タイゴールド㈱ IP事業部 特性 2 10～30 2 12 10 ～10 2.3～2.4 0.15 2 酸及びアルカリに強い 300 Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜成膜部品 ハサミ（耐磨耗） 研磨台（摺動） 時計ケース（装飾） 部品（摺動） タイゴールド㈱ IP事業部 PAD（機能） ステージ（機能） Tigold Corporation Ultimate in Vacuum since 1952 DLC膜応用分野 応用分野 金型関係 樹脂成形金型 製品名称 ディスク金型 機械部品 ウォーム タイゴールド㈱ IP事業部 医療分野 注射針 パンチ 装飾分野 ハサミ 時計部品 刃物 耐磨耗 耐磨耗 使用目的 離型性 耐摩擦 低摩擦 耐磨耗 黒味色調 凝着防止 Tigold Corporation
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