白色干渉計による測定例集 - ANRITSU INFIVIS

白色干渉計による測定例集
2009年12月
アンリツプレシジョン株式会社
1
ANRITSU PRECISION
測定例 1
測定物：LCD CF面
4μm
2
ANRITSU PRECISION
測定例 2
測定物：液晶パネル回路
断面
0.7μm
断面
3
ANRITSU PRECISION
測定例 3
測定物：HDD表面（鏡面）
断面
2.5nm
断面
4
ANRITSU PRECISION
測定例 4
測定物：半導体
断面
3μm
断面
5
ANRITSU PRECISION
測定例 5
測定物：MEMS
断面
0.5μm
断面
6
ANRITSU PRECISION

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