高周波 CT・貫通型 広周波数帯域用標準 CT ―10Hz ∼ 15MHz― 交流電流センサ 型式 CTL-35-S162-5F-1R10 〔特 長〕 主な用途はスパッタリング用電源（13.56MHz）の電流モニター用です。 10Hz ∼ 15MHzの広周波帯域対応。標準CTとして使用できます。 試験・研究用基準電流センサに適しています。 アルミケース入りで、耐ノイズ性に優れている。 出力はBNCコネクタ・電圧出力タイプでオシロスコープによる波形観測に適する。 〔外形図〕 〔出力電圧特性〕 φ35 L 10 80 130 φ100 K BNC-R 2-φ4.5 80 100 25 〔仕 様〕 型 式 CTL-35-S162-5F-1R10 周波数帯域 10Hz ∼ 15MHz（−3dB帯域） 適 用 電 流 10mArms ∼ 50Arms 出 力 感 度 0.1V ／ A ±3％ at 100KHz（RL＝1MΩ） 出力インピーダンス 50Ω 出 力 形 態 電圧出力（BNC-Rコネクタ付） 直 線 性 構 造 絶 縁 使 用 条 件 ±3％ FS アルミケース入り、フレームグランド共通 （取付足はケースと絶縁構造） −10℃∼＋75℃ 保 存 条 件 −20℃∼＋85℃ 重 約600g 量 〔周波数特性〕 0.05V ／ A ±3％ at 100KHz（RL＝50Ω） 〔注意事項〕 取付足はケースと絶縁されていますが、ケースと BNC-R コネクタはグランド共通です。 測定電線と出力間、絶縁計測が必要な場合は測定物を絶縁してください。 75
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