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フォーカル・パイシェーパーはガウシアン分布のレーザー光を、テレスコープ型又はコリメータ型のレンズシス
テムを通じて加工に必要な強度分布の出力に生成します。
・この画期的なシステムにより、既存のレーザー装置を他の出力強度波形(プロファイル)に変換してご使用いただけます。
・フォーカルπシェーパーは収色性のため、この変換はある波長帯域内の幅で様々なレーザーが同時にご使用いただけます。
・ガレリオデザインであるため、レーザー光の焦点合わせを媒介する必要がありません。
・入力光の径を変えると出力のプロファイルも変化します。
・入力光の波形を変えるとそれに伴ってフォーカルπシェーパーによって生成される出力トップハットのプロファイルも変化します。
・ソース光の直径を変えることによりトップハットの範囲が変わります。
■応用
・ホログラフィ
・流れ血球の計算
・照明
・情報プロセシング
・レーザー除去
・メタル溶接
・印刷
・材料マイクロマシン
・PIV
・マーキング/彫刻
・マス分光応用
・プラスチック溶接
・スクライビング
・フリー・エレクトロン・レーザー
入力
出力
波長範囲
フラットトップ
[nm]
1/e2 レベル
モデル タイプ
ガウシアン
応用
F-piShaper_9
F-piShaper_9_1064
テレスコープ型
4-9 mm 平行光
< 16mm
1020-1100
F-piShaper_9_TiS
テレスコープ型
4-9 mm 平行光
< 16mm
750-850
Ti:サファイアレーザー及び他の近赤外レーザー
F-piShaper_9_532
テレスコープ型
4-9 mm 平行光
< 16mm
520-550
第二(532)同調 Nd:YAG レーザー
F-piShaper_9_355
テレスコープ型
4-9 mm 平行光
< 16mm
330-380
第三(355)同調 Nd:YAG レーザー
F-piShaper_9_266
テレスコープ型
4-9 mm 平行光
< 16mm
250-280
第三(266)同調 Nd:YAG レーザー
< 16 mm 平行光
拡大率 0.75 - 1.33
400-1200
ファイバ及び他の近赤外レーザー
アクセサリ
Nd:YAG と近赤外レーザー、ビームサイズの修
ズーム ビーム
zBeam 9
エキスパンダー
piShaper Mount
正
piShaper 専用 5 軸ステージ
■F-piShaper 9_1064 を使ってレーザースクライビング処理の効果
←左図は可変パルスエ
ネルギーで実験結果を
示しています。(左から
右へ出力増大)
特徴
・パルスエネルギーが変更しても、溝の幅がほとんど変化なし
・右から 2 番目のラインは最適条件で以下特徴があります。
・溝のエッジが均一
・HAZ が非常に少ない
・ボトムの Mo レイヤーがきれい、破損がほとんどない
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