特集 ?O2@@@@@@@@6X?e? ?W2@@@@@@@@@@@)Ke? W&@@@@@@@@@@@@@@@?? ?W&@@@@@@@@@@@@@@@@L? ?7@@@@@@@@@@@@@@@@@)X J@@@@@@@@@@@@@@@@@@@) 7@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ 3@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ V'@@@@@@@@@@@@@@@@@@? ?N@@@@@@@@@@@@@@@@@5? @@@@@@@@@@@@@@@@(Y? ?I'@@@@@@@@@@@@0Y?? V4@@@@@@@@@0M?e? ?W2@@@@@@@6Xe? W&@@@@@@@@@)X?? ?W&@@@@@@@@@@@)X? W&@@@@@@@@@@@@@)X 7@@@@@@@@@@@@@@@1 @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ 3@@@@@@@@@@@@@@@5 V'@@@@@@@@@@@@@(Y ?V'@@@@@@@@@@@(Y? V'@@@@@@@@@(Y?? ?V4@@@@@@@0Ye? SEMICON Japan 2009 田中機販 の 装置戦略 エッジ検査をハイビジョン化 GaN/SiC基板へも展開図る ★田中機販の概要★ ①設立：1995年5月 ②本社：神奈川県横浜市 ③代表取締役：田中澄夫 ④営業品目：各種検査装置の販 売、各種金型の加工、半導体 洗浄装置のOEM販売、半導体 製造装置の再販など ●エッジ検査装置の新機種を展示 明視野と暗視野を1台に集約している。暗視野検査 ビジョンサイテック/田中機販は、SEMICON Japan では、非常に明るい高解像度レンズを新規に採用 2009において、ウェーハエッジ検査装置「Microするとともに、従来のファインドーム照明をイン MAX VMW-1200」シリーズの新機種「Micro-MAX プリントパターン向けに最適化した。これにより VMW-1200HR」を出展する。同装置はビジョンサ スクラッチや異物だけでなく、マクロ視野でパタ イテックが開発・製造し、田中機販が販売する。 ーンムラ、パターン欠損などが可視化できる。一 Micro-MAX VMW-1200シリーズは従来、ビュー 方、明視野検査では、独自のコリメータ照明が ワ検査が困難とされていたウェーハエッジ部の微 AFMなどでは捉えることができない、数nm∼数Å 細な欠陥を検出する検査装置で、明視野/暗視野の レベルの長周期的な表面の段差やうねりなどをリ 両タイプを揃えている。明視野方式の「Microアルな画像で可視化する。さらに、新たに位相差 MAX VMW-1200P」は、独自の光学照明システム 板を搭載したことによって、パターンからの反射 などにより、エッジの微細な表面情報の可視化を 回折光に含まれる規則位相成分とパターン異常部 実現している。2種類の異なる光学系により、エッ からの位相差を分離、コントラスト差として表示 ジ部の加工状態とエッジ周辺の する。この他、ナノインプリン 表面部の微細な変化を鮮明に表 ト用原盤やインプリント後のメ 示する。一方、暗視野方式の ディアの観察でも強い引き合い 「Micro-MAX VMW-1200F」は、 を受けている。 エッジラインの反射をキャンセ ルする特殊な照明とバックリフ ●ユーザーの問題解決につ レスタにより、エッジ部の加工 ながる技術・装置を提供 状態と表面部の超微細な欠陥を 同社はこれまで見えなかった 検出できる。Micro-MAX VMWものを“見る/調べる”ようにで 1200HRは、Micro-MAX VMWきる装置の開発を進めてきた。 ▲グルーブパターンムラの例 1200Pをベースに開発した機種 これにより、従来ではわからな で、3台あるカメラのうち、上下 かった様々な問題の解決につな カメラはそのままだが、横のカメラをハイビジョ げることができるようになる。定量化が重視され ン化している。また、モニタもハイビジョン化に る半導体などエレクトロニクス業界の中で、同社 伴い高画質モニタに変更しており、欠陥の質感ま は貴重な存在となっている。 で表現できるという。これにより、Siウェーハメー 世界的な不況の波はいまだ強く残っており、同 カーでの検査や半導体メーカーの受け入れ検査だ 社もその影響を受けているが、汎用の装置を販売 けでなく、液浸など半導体製造プロセスでの活用 するのではなく、ニーズに最適な製品を提供する も十分可能という。また、Siウェーハだけでなくサ ビジネスモデルとなっている。このため、ユーザ ファイヤ基板にも使用されており、今後GaN/SiC基 ーとともに長い時間をかけてじっくりと煮詰めて 板の検査にも展開していきたいとしている。 いく案件が多い。データ取りをしっかりやるには この他、SEMICON Japanでは、ディスクリート どうしても時間がかかる。 トラックメディア（DTM）・ビットパターンドメ 今後も方針に変更はなく、ユーザーの問題解決 ディア（BPM）対応外観検査装置「VDM-5000」も につながるような技術・装置の開発を着実に取り 出展する。VDM-5000はツインヘッド構造を採用、 組んでいく構えだ。 84 Electronic Journal 2009年11月号
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