エアロテック

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A Press Release from International Communications & Marketing - ICM
エアロテックのプレスリリース
テキストと高解像度写真：www.icmglobalnews.com/releases/ic1758-jp.htm
発行計画はWebフォーム、E-メール、またはカードでお知らせください。
リリース末尾の注を参照してください。
多言語版テキスト：www.icmglobalnews.com
キャプションと高解像度リンクはリリース末尾に掲載されています。イメージをクリックして高解像度フ
ァイルをダウンロードしてください。以下のテキストをコピー・アンド・ペーストしてください。
超精密用途向けの摩擦のないフレキシャ・ガイダンスを装備した
エアロテック XY ピエゾナノ位置決め装置
高分解能と線形性、反復性で更に迅速なスループットを提供する新製品 QNP-XY ステージ
超精密アプリケーション向けの XY ピエゾナノ位置決め装置の新シリーズがエアロテック
(www.aerotech.com) から発表されました。同社の QNP-XY ステージは、他製品に匹敵する大きさ
と移動距離を備えながらも位置決め装置に最高の共振振動数と剛性を提供しています。これによ
りユーザが厳密なプロセスにおいても最高のスループットを達成すること
ができます。
アプリケーション：
このステージには、分解能 0.15 nm、線形度 0.007% そして 2 nm


反復性があり、顕微鏡から光学装置のアライメントに至るまでのアプリケ
ーションの最も厳密な要件を満足します。移動距離は 100 µm から 600 µm
の範囲を実現しています。
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試験および検査
産業および学術研
究所
ナノテクノロジ
顕微鏡検査
半導体
マイクロエレクト
ロニクス
光学
フォトニクス
Data Storage
精密機械
金属
ライフサイエンス
医療機器

QNP ピエゾステージは、高速閉ループ応答に対する有限要素解析を用い

て最適化された、摩擦のない精密フレキシャによりガイドされます。統合

型 XY パッケージによって、積層の高さと移動質量が最小化され、優秀な

静的および動的多軸パフォーマンスが発揮されます。

エアロテックの Q-シリーズコントローラとドライブを組み合わせると、


このステージはナノメートル以下の位置決め分解能と固定位置安定性、広
い位置決めバンド幅を出すことができます。これらは、静電容量センサ
フィードバックおよび広範囲のソフトウェアオプション付き／なしで利用することができます。
/…
エアロテック社は世界の産業界、政府機関および科学研究機関を対象とした位置決め・モーショ
ンコントロール製品の牽引的役割を果たしているサプライヤーです。その製品は、高精度かつ高
処理能力のモーションコントロールソリューションを必要とする先端技術のアプリケーションに
対して、極めて重要な性能を提供しています。
フォトキャプション: テキストと高解像度写真：www.icmglobalnews.com/releases/ic1758-jp.htm
XY ピエゾナノ位置決めステージが厳密なアプリケーションでの高スループットを実現するために高分解能振動数を
提供。
編集者向け注：このリリースの発行を計画されている場合は、www.icmglobalnews.com/releases/ic1758jp.htm のフィードバックフォームを使用して、またはE-メールでお知らせください。発行された場合は、
切り抜きまたは掲載号をお送りください。E-メール宛先： [email protected]、またはハード
コピーの郵送宛先：International Communications & Marketing, P.O. Box 185, Stone Ridge, NY 12484 USA
製品販売問い合わせ先：
日本国内
Aerotech Japan
Phone: +81 (0)50 5830 6821
Fax: +81 (0)43 306 3773
[email protected]
www.aerotech.com
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