Motion Control Products ガラススケール内蔵自動ステージシステム HST(GS) リニアスケールはものさしとなる「目盛（スケール）」 と、 目盛から位置情報を取得する「検出器」で構成されています。 ◦リニアスケールで使用する製品は、半導体、 フラットパネルディ アプリケーション システム スプレイ （FPD）、 プリント配線板などの電子デバイス製造装 置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となって おり、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されて います。 光学素子 ホルダー ご案内 ▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。 ベース ▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談くだ さい。 手動ステージ 注意 ▶HST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、 カタログ掲載 仕様値内でご使用していただくために、 コントローラのモーター分割数設定 を100以上 （1パルスあたりの移動量0.05μm以下） を推奨いたします。 アクチュエータ 自動ステージ 仕様 HST(GS)-50X 品番 光源 価格 〔￥〕 移動量 〔mm〕 メカ仕様 ガイダンス 200 165×165 165×220 165×420 ボールネジ径φ10 リード2 ボールネジ径φ10 リード2 ボールネジ径φ10 リード2 クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド ステージ材質 鉄 鉄 鉄 質量 〔kg〕 8.8 10.7 18.9 （Full） 〔μm/パルス〕 4 4 4 （Half） 〔μm/パルス〕 2 2 2 10 10 20 位置決め精度 〔μm〕 ステッピングモータ 繰返し位置決め精度 〔μm〕 耐荷重 〔N〕 ACサーボ ケーブル 送りネジ 〔mm〕 ガイド MAXスピード 〔mm/sec〕 ソフトウェア 精度仕様 ピエゾ モーメント剛性 3 4 5 0.5 0.5 0.8 392 （40.0kgf） 392 （40.0kgf） 392 （40.0kgf） ピッチング 〔″/N・cm〕 0.01 0.01 0.01 ヨーイング 〔″/N・cm〕 0.01 0.01 0.01 ローリング 〔″/N・cm〕 0.005 0.005 0.005 0.5 0.5 0.5 1 1 1 50 70 100 ロストモーション 〔μm〕 バックラッシ 〔μm〕 平行度 〔μm〕 運動の平行度 〔μm〕 ピッチング 〔″〕 /ヨーイング 〔″〕 10 10 20 15/15 20/20 20/20 センサ品番 センサ 直動系 回転系 □60mm 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 原点センサ 有 （NORMAL OPEN） 有 （NORMAL OPEN） 有 （NORMAL OPEN） 近接原点センサ 有 （NORMAL OPEN） 有 （NORMAL OPEN） 有 （NORMAL OPEN） モータ品番 ステップ角 センサ □80mm □85mm 有 （NORMAL CLOSE） タイプ モータ オプション □40mm フォトマイクロセンサ：GP1S092HCPIF （シャープ㈱） リミットセンサ モータ/センサ仕様 ゴニオ 真空 750,000 100 分解能 コントローラ/ドライバ HST(GS)-200X 570,000 50 テーブル面サイズ 〔mm〕 索引 HST(GS)-100X 500,000 スケールヘッド 5相ステッピングモータ 1.4A/相 （オリエンタルモーター㈱） PKP544N18B （□42mm） PKP544N18B （□42mm） PKP546N18B （□42mm） 0.72° 電源電圧 DC5～24V±10% 消費電力 80mA以下 （1センサ当たり20mA以下） 制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA 出力論理 遮光時：出力トランジスタOFF （非導通） ： リミットセンサ 遮光時：出力トランジスタON （導通） ：原点センサ、 近接原点センサ 電源電圧/消費電流 DC5V±5％/100mA □100mm □120mm その他 適応ケーブル ケーブル ドライバケーブル D15D15A-CA スケールケーブル GSEF-CA-3 適応コントローラ 適応コントローラ G064 SHOT-302GS､SHOT-304GS WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログ コード W9090 外形図 HST(GS)-50X HST(GS)-100X 六角穴付ボルト M6×15…4本 165 150 110 50 50 90 70 50 光学素子 220 150 110 50 50 90 70 50 4-M4×0.7 深8 25-M4×0.7 深8 ホルダー 4-M6×1 深12 ベース 50 70 90 50 70 90 50 50 110 150 165 50 50 110 150 165 4-M6×1 深12 アプリケーション システム 六角穴付ボルト M6×15…4本 手動ステージ 82.5 110 269 324 移動量25 移動量50 150 7.5 60 下板 4-取付用キリカキ 150 7 12 8 150 8 7 アクチュエータ 移動量50 47.5 60 47.5 移動量25 35 150 自動ステージ 下板 4-取付用キリカキ 光源 索引 HST(GS)-200X 六角穴付ボルト M6×15…8本 ガイダンス 420 150 110 50 50 90 70 50 25-M4×0.7 深8 コントローラ/ドライバ 4-M6×1 深12 ソフトウェア ACサーボ 50 50 110 150 165 50 70 90 ステッピングモータ ケーブル ピエゾ 210 514 移動量100 60 47.5 移動量100 50 150 8 7 12 50 下板 8-取付用キリカキ 85 150 直動系 回転系 ■適応コントローラ/ケーブル ■結線図 1 1 モーターリード 2 2 モーターリード 3 3 モーターリード 4 4 モーターリード 5 5 モーターリード 6 （0V） 6 GND 7 7 8 8 ORG ＋VS 5 ∼ 24VDC Autoconfig 9 9 10 10 11 11 LS （＋） 12 12 LS(−） 13 13 N.C. （未使用） 14 14 NEAR 15 15 N.C. （未使用） N.C.（未使用） Controller 5相ステッピング モータ コネクタピン番号 ヒロセ電機㈱製 SDAB-15P 相当品 E相 原点側（ORG） リミットセンサ 遮光時 ON D相 真空 オプション B相 原点側（NEAR） リミットセンサ 遮光時 ON □40mm D15D15A-CA SHOT-302GS〔2軸〕 SHOT-304GS〔4軸〕 モータ側（＋） リミットセンサ 入光時 ON 反モータ側（−） リミットセンサ 入光時 ON Stage A相 C相 注1 Cable ゴニオ G109 Cable HST(GS)-50X HST(GS)-100X HST(GS)-200X □60mm □80mm □85mm □100mm シャープ㈱製 マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF □120mm 注1 G102 GSEF-CA-3 その他 G109 注2 注1 モータ側リミッ トセンサが＋方向のリミットセンサです。 注2 対応ケーブルのコネクタ：第一電子工業㈱製 17JE-13150 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 G065
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