新潟大学 ご活用いただける知的財産 タイトル 発明者 正弦波位相変調レーザ干渉法による変 工学部 電気電子工科 佐々木 修己 位の測定方法及びそのための装置 分野 □IT □ナノ □バイオ □その他 □環境・エネルギー 概 要 レーザ干渉信号の位相を検出する方法として正弦波位相変調 干渉法を用いることによって、半導体レーザの発振波長を高速 に、かつ任意の振幅で正弦波状に変調することができ、その結 果、変位測定を高速に、かつ広い測定範囲で行うことができる ようにした。 1.5 MHz の位相変調周波数を用い 0.25μ秒で変位を測定する ことができた。その測定精度は 15 ナノメートル程度であり、 測定範囲は 80 mm 程度であった。 変位センサ装置図 社会還元の可能性と応用分野 従来技術 これまでの研究成果 周辺開発技術 直線位相変調による光 簡易な正弦波位相変調による光 半導体レーザの数十 MHz 波長 の位相検出 位相の高速検出 走査および超高精度波長安定化 の実現 利点・欠点 ・装置が複雑・高価 新技術 創出される技術 高精度・高速変位測定 ・低い測定精度 高速移動物体のナノメートル精 度での位置検出 ・長い測定時間 応用分野 超精密加工における位置制御 問合せ先：025−262−7464 E-mail：master＠niigata-tlo.com
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