「PLAZMARK®」商品ラインナップを全20アイテムに拡充

プレスリリース
〒540-8508 大阪市中央区森ノ宮中央 1-6-20
2015 年 11 月
エレクトロニクス製造分野向け
プラズマ処理効果の可視化ツール『PLAZMARK(プラズマーク)』の
ラインナップを 2 アイテムから 20 アイテムに大幅拡充
―より幅広い処理条件に対応し、お客様のニーズに合わせて選べる―
株式会社サクラクレパス（本社：大阪市中央区社長：西村彦四郎）は、半導体をはじめとするエレクトロニクス
製造分野で広く利用されているプラズマ処理の効果を、装置内に設置するだけで評価できるツール
『PLAZMARK（プラズマーク）
』の用途、感度、形状別ラインナップを広げ、新たに 18 アイテムを発売いたします。
従来の 2 アイテムから全20 アイテムへとラインナップが広がり、各種プラズマ、処理素材、処理目的などといった
お客様のニーズに合わせ、より幅広い条件に対応できるようになります。
※ラインナップ詳細は、3 ページ目【PLAZMARK ラインナップ】をご参照ください。
酸素プラズマ処理に対応した『PLAZMARK O2クリーニング用』8 アイテムを、2015 年11 月16 日（月）より発売いたします。
従来はカード型のみのラインナップでしたが、
新たにラベル型とシート型の商品を、
それぞれ3 段階の感度別に開発いたしました。
アルゴンプラズマ処理に対応した『PLAZMARK Ar クリーニング用』を2016 年2 月より発売予定です。形状別・感度別に
6 アイテムを新たに開発いたしました。
大気圧プラズマ処理に対応した『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』を2016 年2 月より発売予定です。形状別・感度別に
4 アイテムを新たに開発いたしました。
また、2015 年12 月16 日（水）～18 日（金）の3 日間、東京ビッグサイトで開催される半導体製造装置・材料の総合展示会
「SEMICON Japan 2015」に出展いたします。ブースでは、今回発売する新商品を中心に 18 アイテムを展示いたします。
※展示会詳細は、
「添付資料1」をご参照ください。
今後も、半導体、LED、その他電子デバイス市場のほか、自動車、航空宇宙、医療機器産業等での幅広い採用を目指し、
より多くのお客様のニーズにお応えするため、更なるラインナップ拡充に取り組んでまいります。
なお、本商品開発の一部は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託事業により推進いたし
ました。
1．商品概要
『PLAZMARK』は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール
（インジケータ）です。本商品を装置内に置いてプラズマ処理をするだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。
アイテム数は20 にのぼり、各種プラズマ、処理素材、処理目的など、お客様のニーズに合わせて、幅広い条件で使用できます。
※「PLAZMARK」は、㈱サクラクレパスの登録商標です。
2．商品特長
■『PLAZMARK O2 クリーニング用』／『PLAZMARK Ar クリーニング用』(1 アイテム⇒15 アイテム)
・形状ラインナップとして新たに追加したラベル型は、粘着層付き構造なので、
チャンバー内壁や電極、その他の部品など、測定したい場所に手軽に貼り付けられます。
（従来は、粘着層が無いシンプルなカード型のみの展開）
・形状ラインナップとして新たに追加したシート型は、装置内に広く設置することができるので、
広い面積を全体的に評価できます。
・従来の酸素クリーニング用の他に、多くのご要望を頂いたアルゴンクリーニング用をラインナップに
追加したので、評価可能なプラズマガス種が増え、より幅広い条件に対応できます。
■『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』 (0 アイテム⇒4 アイテム)
・大気圧プラズマの処理効果も可視化できるので、ガラス基板等の洗浄工程や、
フィルムをはじめとする各種部材の表面改質等の処理効果を確認できます。
・長さ 30cm のロングラベル型、A4 サイズ（210×297 ㎜）のシート型の 2 形状を展開したことで、
広い面積を全体的に評価できるので、長尺電極によるプラズマ処理に使用できます。
・複数枚の組み合わせや、ロングラベル型とシート型の組み合わせで使用できるので、電極のサイズを選びません。
・ロングラベル型は、粘着層付き構造なので、ガラス基板の表面やフィルムロールの曲面等、測定したい場所に
手軽に貼り付けられます。
・基材には、クリーン紙を採用しているので、清浄性が求められるプラズマ処理でも使用できます。
※「PLAZMARK」は、㈱サクラクレパスの登録商標です。
【PLAZMARK ラインナップ】
対応ガス
(プラズマ種)
商品名
※赤の網掛け：新商品
形状
感度
発売日
カード型
No.1
（高感度）
発売中
本体価格
（+消費税）
25,000円/100枚入
基材
PETフィルム
No.2
（中感度）
カード型
カード：20×70×0.2mm
検知部：φ 11㎜
30,000円/100枚入
ラベル：20×70×0.2mm
検知部：φ 11㎜
No.1
（高感度）
酸素
アルゴン
窒素
四フッ化炭素
アンモニア
カード：20×70×0.2mm
検知部：φ 11㎜
25,000円/100枚入
No.3
（低感度）
PLAZMARK　O 2 クリーニング用
（旧商品名：カード型スタンダード）
サイズ
ラベル型
No.2
（中感度）
2015年11月16日（月）
PETフィルム
No.3
（低感度）
No.1
（高感度）
シート型
No.2
（中感度）
20,000円/5枚入
シート：A4サイズ
(210×297×0.2mm)
検知部：190×290mm
25,000円/100枚入
カード：20×70×0.2mm
検知部：φ 11㎜
No.3
（低感度）
No.21
（高感度）
カード型
No.22
（低感度）
PLAZMARK　Arクリーニング用
アルゴン
酸素
No.21
（高感度）
ラベル型
2016年2月
30,000円/100枚入
PETフィルム
ラベル：20×70×0.2mm
検知部：φ 11㎜
No.22
（低感度）
No.21
（高感度）
シート型
20,000円/5枚入
シート：A4サイズ
(210×297×0.2mm)
検知部：190×290mm
12,000円/20枚入
ラベル：300×35×0.2㎜
検知部：300×15㎜
No.22
（低感度）
No.41
（高感度）
ロングラベル型
No.42
（低感度）
PLAZMARK　大気圧プラズマ用
（旧商品名：大気圧カード型）
ドライエアー＋酸素
窒素＋酸素
2016年2月
クリーン紙
No.41
（高感度）
シート型
シート：
210×300mm×0.2㎜
検知部：190×300mm
15,000円/5枚入
No.42
（低感度）
PLAZMARK　耐熱性
（旧商品名：耐熱性ラベル型）
※感度について
アルゴン
酸素
水素
四フッ化炭素
六フッ化硫黄
塩素
ラベル型
No.102
（低感度）
発売中
9,500円/10枚入
ポリイミド
ラベル：
16㎜×25㎜×80μ m
検知部：φ 10㎜
： No.の値が小さいほど高感度の商品となります。
No.低
感度高
No.高
感度低
※「PLAZMARK」は、㈱サクラクレパスの登録商標です。
※報道関係の方のお問い合わせ先
(株)サクラクレパス営業本部マーケティング部営業企画課西槙・服部
TEL：(06)6910-8816
※商品に関するお問い合わせ先
(株)サクラクレパス PI 事業部
TEL：(072)873-5507
E-mail： [email protected]
イメージ
添付資料 1～SEMICON Japan 2015 について～
【概要】
半導体製造装置・材料の総合展示会です。
□名称： SEMICON Japan 2015
□会期： 2015 年 12 月 16 日(水)～18 日(金)
□展示会開催時間： 3 日間共通 10:00～17:00
□会場：東京ビッグサイト東展示棟・会議棟
□主催： SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)
□展示会 HP： http://www.semiconjapan.org/ja/
【サクラクレパスの展示ブースについて】
□展示ブース：Hall3 小間番号 3610
□展示内容
新商品 18 アイテム
『PLAZMARK O2 クリーニング用』（9 アイテム）
・発売済みの酸素プラズマ用カード型から、感度ラインナップ 2 種を加え展示いたします。
・カード型のみで展開していた形状を、ラベル型・シート型の 2 形状を加えた 3 形状で、
それぞれ3 段階の感度別に展示いたします。
『PLAZMARK Ar クリーニング用』(3 アイテム)
・アルゴンプラズマに対応した商品です。
・カード型・ラベル型・シート型の 3 形状で、1 種類の感度を展示いたします。
『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』(4 アイテム)
・新商品として大気圧プラズマに対応した商品です。長尺電極による大面積のプラズマ処理に対応した
ロングラベル型、シート型の 2 形状を、それぞれ2 段階の感度別に展示いたします。
発売中の 2 アイテム
『PLAZMARK O2 クリーニング用 No.1 カード型』（1 アイテム）
・配線基板の銅めっきや配線接続のクリーニング等に利用される酸素プラズマ処理の効果を
簡単にチェックできるカード型の商品です。
※従来の『カード型スタンダード No.1』から名称変更いたします。
※No.は感度の高低を表します。詳細は、3 ページ目【PLAZMARK ラインナップ】をご参照ください。
『PLAZMARK 耐熱性ラベル型No.102 ラベル型』（1 アイテム）
・色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、高い耐熱性（200℃）と放出ガスの低減を
実現した商品です。高温でのプロセスや清浄性が求められる半導体製造プロセスで使用できます。
・接着性があるので、基板表面や装置内に自由に貼り付けて評価することができます。
・各種プラズマに対応いたします。
（写真参照）
※従来の『耐熱性ラベル型』から名称変更いたします。
※No.は感度の高低を表します。
詳細は、3 ページ目【PLAZMARK ラインナップ】をご参照ください。
【無料セミナー】
『PLAZMARK 耐熱性ラベル型』の
各種プラズマに対する変色性
12 月 17 日（木）には、
『PLAZMARK』の企画担当者がセミナーを実施いたします。
プラズマ処理の評価・工程管理手法としての『PLAZMARK』のご提案と技術内容をご説明させていただきます。
インジケータに関する基礎知識や商品ラインナップに関しても触れる予定です。
・名称：出展社セミナー
「プラズマ処理効果の可視化ツール PLAZMARK ～半導体前後工程、実装工程、大気圧プラズマへの応用～」
・日時：12 月 17 日（木）14:50～15:40
・会場：東展示場東 1 ホール TechSPOT WEST
・参加費：無料
・事前登録：不要
・セミナーURL: http://www.semiconjapan.org/ja/node/3256#12/17/14:50TSW
※「PLAZMARK」は、㈱サクラクレパスの登録商標です。
添付資料 2～『PLAZMARK』企画背景～
■一般的にプラズマ分布状況の評価には、プラズマの発光を分光により解析する光学測定や、プラズマ中にプローブ電極を挿入し
電気的に評価するプローブ法が用いられますが、それぞれ課題がありました。
光学測定：装置の外側から確認できるビューポートが必要。またプラズマの分布を確認するには空間分解能が不足する場合がある。
プローブ法：プラズマを評価するポイント毎にプローブ電極を当てる必要があるので、工数や時間がかかる。
また、反応性ガスを使用する場合、プローブ電極が汚染され評価することが難しくなる。
2014年12月に弊社が開発した『PLAZMARK』は、プラズマにより変色する材料を用いているので、装置内に設置するだけで、
変色度合いによってプラズマ処理効果の違いを視覚的に評価できます。
2015 年6 月には、色材に無機材料、基材にポリイミドを採用したことにより、高い耐熱性（200℃）と清浄性を実現した
『PLAZMARK 耐熱性ラベル型』を発売するなど、商品展開を続けてきましたが、より幅広い処理条件で評価できるよう、
用途、感度、形状別ラインナップを大幅に広げ、新たに 18 アイテムを発売いたします。
■弊社は、創業より描画材料メーカーとして、業界に先駆け技術開発を行ってまいりました。
その技術のひとつ「色材応用技術」を活かし、下記のような描画材料以外への展開も行っております。
◇温度の変化に応じて、有色～無色に可逆的に変色し温度を「見える化」する
熱変色色材（マイクロカプセル化示温顔料）の開発
⇒実用化例：注いだ飲み物の温度によって色が変化するコップや、気温によってイラストが変化するポストカード等
◇蒸気や各種ガスを用いた滅菌処理の条件によって変色し、医療器具の滅菌状態を「見える化」する
「滅菌用ケミカルインジケータ」の開発
⇒実用化例：高圧蒸気、酸化エチレンガス、過酸化水素蒸気などの滅菌確認用カード、ラベル、テープ等
2009 年からは、独立行政法人中小企業基盤整備機構が運営する研究施設「京大桂ベンチャープラザ」に拠点を設け、
独自技術を活用して新分野に向けた研究開発を行っております。
※京大桂ベンチャープラザ：京都大学桂キャンパスに隣接した産学公共同の研究施設
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託・助成事業にも採択され、国の期待に応えるべく
取り組んでおります。現在まで培ってきた「色材応用技術」をエレクトロニクス製造分野で展開し、
LED やその他電子デバイス、また、自動車といった、より幅広い分野で役立ててまいります。
熱変色色材
滅菌用ケミカルインジケータ
※「PLAZMARK」は、㈱サクラクレパスの登録商標です。

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