◆研磨「傷」について(1/2) 1.一般的には、面だし(粗削り)→中間研磨→仕上げ研磨の流れで「研磨条痕」は改善できますが・・・・・・。 「実際」には、イメージ通りにはいきません。 原因の多くは、「傷」の発生なります。 <研磨紙 耐水#220> 粒度:68μm <研磨紙 耐水#1200> 粒度:13μm <研磨紙 耐水#2000> <研磨フィルム アルミナフイルム> 粒度:1μm 粒度:8μm <研磨バフ/研磨材> 研磨材粒度:0.5μm> <試料の研磨面の様子> 鏡面仕上り・傷なし ・耐水研磨紙の使用(#220、400、800、1200、2000、2500、3000 ・フイルム系使用 ・研磨バフ/研磨材を使用 <研磨傷(研磨条痕とは異なる)は「何故」発生するのか?> ①.研磨紙から外れた砥粒のいたずら ②.研磨紙の磨耗によるもの ③.研磨盤の汚れ ④.研磨バフの汚れ(洗浄不足) ⑤.研磨環境から付着する塵 ⑥.流水不足 ⑦.装置の汚れ <傷> <研磨条痕> 1 Q71.研磨製作の良悪紹介(2/2) ■SUS研磨例:研磨紙の砥粒サイズ毎に仕上がっている 研磨前 #220番 #800番 #2000番 バフ研磨 SEM観察 バフ研磨 →研磨痕残り目立つ SEM観察 →満足な結果得られず ■Cu研磨:砥粒サイズを変えているが前工程の研磨痕が残っている →研磨時間の不足・研磨紙のへたりが原因 研磨前 #220番 #800番 →研磨痕残りあり #2000番 →研磨痕残りあり ・研磨番数を交換する時には、必ず前の番数の研削痕が消えている事を確認しましょう。 ・研磨試料も研磨番数の変更毎に洗浄を行いましょう。 2
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