研磨「傷」について(1/2) - IS

◆研磨「傷」について(1/2)
1.一般的には、面だし(粗削り)→中間研磨→仕上げ研磨の流れで「研磨条痕」は改善できますが・・・・・・。
「実際」には、イメージ通りにはいきません。
原因の多くは、「傷」の発生なります。
<研磨紙 耐水#220>
粒度:68μm
<研磨紙 耐水#1200>
粒度:13μm
<研磨紙 耐水#2000> <研磨フィルム アルミナフイルム>
粒度:1μm
粒度:8μm
<研磨バフ/研磨材>
研磨材粒度:0.5μm>
<試料の研磨面の様子>
鏡面仕上り・傷なし
・耐水研磨紙の使用(#220、400、800、1200、2000、2500、3000
・フイルム系使用
・研磨バフ/研磨材を使用
<研磨傷(研磨条痕とは異なる)は「何故」発生するのか?>
①.研磨紙から外れた砥粒のいたずら
②.研磨紙の磨耗によるもの
③.研磨盤の汚れ
④.研磨バフの汚れ(洗浄不足)
⑤.研磨環境から付着する塵
⑥.流水不足
⑦.装置の汚れ
<傷>
<研磨条痕>
1
Q71.研磨製作の良悪紹介(2/2)
■SUS研磨例:研磨紙の砥粒サイズ毎に仕上がっている
研磨前
#220番
#800番
#2000番
バフ研磨
SEM観察
バフ研磨
→研磨痕残り目立つ
SEM観察
→満足な結果得られず
■Cu研磨:砥粒サイズを変えているが前工程の研磨痕が残っている
→研磨時間の不足・研磨紙のへたりが原因
研磨前
#220番
#800番
→研磨痕残りあり
#2000番
→研磨痕残りあり
・研磨番数を交換する時には、必ず前の番数の研削痕が消えている事を確認しましょう。
・研磨試料も研磨番数の変更毎に洗浄を行いましょう。
2