® TBSシリーズ熱蒸着ボート THIN LAYER DEPOSITION／薄膜蒸着 OPTICAL COATINGS／光学薄膜 MULTILAYER DEPOSITION／多層蒸着 CONTACT METALLISATION／コンタクトメタライゼーション OPERATION ⼀般的に熱蒸着ボートは簡単な⾦属薄膜蒸着に使⽤されます。成膜プロセスは⾮常に直感的で、容易に習得することができます。蒸着材料を抵抗加熱ボートに置きます。抵抗加熱ボードに⾼い電流を流すことにより加熱します。ボートの温度が上昇すると、ボート内に配置された材料が蒸発し始めます。このように、材料の蒸着レートはボートに流す電流量により制御することができます。⾮常に⾼い真空環境下で蒸着することにより、ほとんど不純物を含まないクリーンな蒸着膜を成⻑することが可能です。 Mantis社製TBSシリーズには、TBS-2-800（2ボート）と TBS-4-800（4ボート）の2モデルの熱蒸着ボートがあります。いずれのモデルとも、それぞれのボートはクロスコンタミネーションシールドで分離されており、個別に独⽴したシャッターで保護されています。膜均⼀性を最適にするために、すべてのボートが中⼼線に対して等距離になるよう設計されています。ボート実温度とパワーの関係（放射率0.035に設定したパイロメーターにて測定）様々な材料を蒸着するために、TBSシリーズには抵抗フィラメントか抵抗ボートを取り付けることが可能です。抵抗部品に流すことができる最⼤電流値は100Aです。それにより最⾼2250℃までボートを過熱することが可能です（使われているボートの種類や材料の種類や量に依存します）。 SPECIFICATIONS モデル TBS-2-800 TBS-4-800 取付フランジ ICF152 ICF203 真空側ソース⻑ 300 MM 300 MM 真空側直径 100 MM 150 MM 冷却冷却なし冷却なしボート数 2 4 シャッターボート 300 MM クロスコンタミネーションシールド⾼電流電極ボート容量 ~ 0.5 CC ~ 0.5 CC 最⼤電流値 100 A 100 A 電源単相、100-240V、 50/60HZ 単相、100-240V、 50/60HZ シャッター⼿動または⾃動⼿動または⾃動シャッターアクチュエーター ® ＜マンティスデポジション社⽇本総代理店＞テガサイエンス株式会社〒277-0832 千葉県柏市北柏3-5-4 TEL: 04-7168-5311 FAX: 04-7168-5671 www.tegascience.co.jp [email protected]