用途 Examples of applications 回転・チルトステージ ROTARY AND TILT STAGE θx／θy／θz ・レーザ光軸調整 Laser optical axis adjustment ・精密平行面合わせ Precision parallel mating ・光学デバイス微小角調整 Small angle adjustment for optical devices ・キャビティ長調整 Cavity length adjustment ・レーザ加工用ミラーアライメント Mirror alignment for laser processing ・チルト調整 Tilt adjustment ラインナップ Lineup Type 形状 Shape For optical mirror tilting 回転、チルト（傾斜）、ゴニオなど 形状 Shape PT2M40-800S 800秒 （≒0.22°） （≒3.9mrad） 型番 Model No. 最大振れ角 Deflection angle Page 0.05秒 （≒0.24μrad） P36∼ 0.05秒 （≒0.24μrad） 0.02秒 （≒0.10μrad） P38 分解能 掲載頁 Page Rotation, tilt (inclination) and goniometry, etc. Types with various rotation axes are available for various purposes. 光学ミラー用 For optical mirror tilting チルトタイプ Tilt type チルト 回転タイプ ゴニオタイプ Rotary type 傾斜＋昇降タイプ Goniometry type PT1T60-500S Tilt type Inclination + Lifting type タイプ Type 形状 Shape Angular displacement ［秒］ 圧電素子 内蔵変位センサ Piezo-electric element Built-in displacement sensor 300秒 （≒0.08°） （≒1.5mrad） PT1G100-500S 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） タイプ Type 掲載頁 Page 0.02秒 （≒0.10μrad） P40 0.02秒 （≒0.10μrad） 型番 Model No. 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution PT3V80F-400S ±400秒 （≒±0.11°） （≒±1.9mrad） （Z）100μm 0.02秒 （≒0.10μrad） PT3V100-800S ±800秒 （≒±0.22°） （≒±3.9mrad） （Z）300μm 0.04秒 （≒0.10μrad） 掲載頁 Page P41 大型ミラー 注）形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective page 35 ドライバ 傾斜＋昇降 形状 Shape Inclination + Lifting type Large mirror 34 PT1G100-300S 分解能 Resolution Sensor output voltage θx Compatible with large mirror As the piezo element used as a driving source has a strong generative force, even a large and heavy mirror can be steadily and precisely positioned. This may support irregular sizes. For details, please feel free to contact us. センサ出力電圧 ［V］ 最大振れ角 Deflection angle 0.2秒 （≒1.0μrad） PIEZO DRIVER 駆動源として用いているピエゾ素子は高い発生力を持っているため 重量のある大型ミラーも安定して高精度に位置決めできます。 規格外品にも対応しますのでご相談ください。 Goniometry type 型番 Model No. P39 コントローラ 大型ミラーにも対応 ゴニオ PT1C60-1800S 1800秒 （≒0.50°） （≒8.7mrad） 0.05秒 （≒0.24μrad） CONTROLLER θy 形状 Shape 800秒 （≒0.22°） （≒3.9mrad） Page IMPACT ACTUATOR The sensor integrated in Rotary and Tilt Stage is a linear sensor that measures the linear displacement. Therefore, the conversion factor to read the voltage signals output by the sensor as an angle [sec] is used. Type PT1C60-800S Resolution インパクト アクチュエータ Sensor output タイプ 角度変位 『回転、チルトステージ』に内蔵しているセンサは直線変位を 測定するリニアセンサです。そのため、センサから出力される 電圧信号を角度[秒]として読み取る換算係数にて対応します。 最大振れ角 Deflection angle SIMPLE ACTUATOR Rotary type 型番 Model No. 簡易型 アクチュエータ 回転 センサ出力について 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 超精密加工機用 掲載頁 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 分解能 Resolution OBJECTIVE LENS FOCUSING Type 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 掲載頁 対物レンズ フォーカス用 タイプ 色々な回転軸をもつタイプを え、目的に応じて選定できます。 PT1M36-500S 分解能 Resolution ROTARY AND TILT STAGE 特徴 Features 最大振れ角 Deflection angle 回転・チルト ステージ 光学ミラー用 型番 Model No. 開口付きステージ タイプ APERTURE SHAPE STAGE レーザ光スキャニング、ミラーアライメント、面合わせなどに最適です。 Rotary and Tilt Stage is a series of stages that allows for fine angle adjustment by means of piezo driving. Although the maximum angular displacement is small, these stages have characteristics such as high-speed response and excellent position reproducibility and they are optimal for laser beam scanning, mirror and plane alignment, etc. 標準直動ステージ STANDARD LINEAR STAGE 『回転・チルトステージ』は、ピエゾ駆動による微小な角度調整が行えるラインナップです。 最大角度変位量は小さいながら、高速応答性、高い位置再現性といった特性を備えており ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PT ［ピエゾステージ OPTICAL 光学ミラー用 FOR MIRROR TILTING ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ PT2M40-800S PT2M(θx /θy) PT1M36-500S 型番 Model No. 最大振れ角 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution 分解能 Resolution Resonant frequency 8000Hz at 7g モーメント剛性 Moment stiffness 1N at 0g 共振周波数 Resonant frequency 4100Hz 330Hz at 50g 250Hz モーメント剛性 Moment stiffness 290秒/Nm （θx）4200,（θy）4300秒/Nm リニアリティ Linearity 0.2% 静電容量 Capacitance 1.4μF 静電容量 Capacitance 0.75μF/axis 本体質量 Weight 100g 本体質量 Weight アルミ （B） ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 300g Surface treatment :（B）Black alumite］ Aluminum+Steel ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理／ （N） 無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B） Black alumite /（N） Electroless nickel plating ］ PT1M36-500S PT1M36-500S-N PT2M40-800S PT2M40-800S-N OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 2-Sensor Cables 7 30 4-φ3.5 Holes 32 36 42 16 60 40 Piezo Cable 4 5 6 16 18 29 4- R 8 SIMPLE ACTUATOR Cable Length 2m 簡易型 アクチュエータ Sensor Cable 22 超精密加工機用 Cable Length 2m STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 36 2-Piezo Cables 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ 25 アルミ （B） +鋼（N） 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum ROTARY AND TILT STAGE 0.2% 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity 本体材質 （表面処理）Body material APERTURE SHAPE STAGE 共振周波数 （θx/θy）±0.05秒（≒±0.24μrad） 耐荷重 Load capacity 0.3N at 0g （θx/θy）0.05秒（≒0.24μrad） 繰り返し位置決め精度 Repeatability ±0.05秒 （≒±0.24μrad） 耐荷重 Load capacity （θx/θy）800秒（≒0.22°） （≒3.9mrad） 開口付きステージ 繰り返し位置決め精度 Repeatability PT2M40-800S Deflection angle 0.05秒 （≒0.24μrad） STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1M(θx) 20 4-M3 Depth 4 16 4-M2 Depth 4 16 16 8-M3 Depth 4 IMPACT ACTUATOR 40 45 インパクト アクチュエータ 16 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 最大振れ角 2000 a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Deflection angle 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） 1500 Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 1000 500 0 0 100 200 搭載負荷 300 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 36 PT1M36-500S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 37 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1M36-500S PT2M40-800S 2500 PIEZO DRIVER Resonant frequency PT1M,PT2M ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 3000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ チルト／回転 TILTING ／ ROTARY PT1T60-500S PT1C［回転 Rotary］ 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution 0.2秒（≒1.0μrad） ±0.05秒 （≒±0.24μrad） ±0.2秒 （≒±1.0μrad） at 0g Resonant frequency at 100g モーメント剛性 Moment stiffness 400秒/Nm 10N 10N 640Hz 240Hz 250Hz 160Hz 2500秒/Nm 2300秒/Nm リニアリティ Linearity 0.2% 0.2% 静電容量 Capacitance 2.8μF 静電容量 Capacitance 2.8μF 3.4μF 本体質量 Weight 300g 本体質量 Weight 200g 300g アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） 本体材質 （表面処理）Body material 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 Surface treatment :（B）Black alumite］ Aluminum ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理 Surface treatment :（B）Black alumite］ PT1C60-800S PT1C60-800S-N Piezo Cable PT1C60–1800S PT1C60-1800S-N 4-φ4.5 Holes, C'bored Depth 15 4-M2 Depth 3 4-M3 Depth 4 φ40 φ16 (Clear Aperture) 40 32 40 70 Sensor Cable Piezo Cable 60 40 60 19.5 Cable Length 2m 20 SIMPLE ACTUATOR 50 29 Sensor Cable 簡易型 アクチュエータ 8-M2 Depth 3 30 Piezo Cable 30 4-M3 Depth 3 38 25 16 50 60 29 4-φ4.5 Holes, φ8C'bored Depth16 3-φ4.5 Holes,φ8 C'bored Depth 23 超精密加工機用 16 25 32 4-M3 Depth 6 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY Cable Length 2m 20 60 5 Sensor Cable 50 Cable Length 2m OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ PT1T60-500S PT1T60-500S-N Aluminum ROTARY AND TILT STAGE 0.2% 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity 開口付きステージ 0.05秒（≒0.24μrad） 共振周波数 600Hz モーメント剛性 Moment stiffness 1800秒（≒0.50°） （≒8.7mrad） 耐荷重 Load capacity 1800Hz at 100g 800秒（≒0.22°） （≒3.9mrad） APERTURE SHAPE STAGE Resonant frequency 最大振れ角 繰り返し位置決め精度 Repeatability 10N at 0g PT1C60-1800S 分解能 Resolution ±0.02秒 （≒±0.10μrad） 耐荷重 Load capacity PT1C60-800S Deflection angle 0.02秒 （≒0.10μrad） 繰り返し位置決め精度 Repeatability 型番 Model No. STANDARD LINEAR STAGE PT1T60-500S 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1T［チルト Tilting ］ 共振周波数 ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE STAGES PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ 60 IMPACT ACTUATOR インパクト アクチュエータ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 800 600 400 200 0 100 200 300 400 搭載負荷 500 Load［g］ 回転 PT1C PT1C60-800S PT1C60-1800S 400 最大振れ角 300 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 200 100 0 a Deflection angle 0 100 200 300 400 搭載負荷 500 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 38 PT1T60-500S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 39 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1T60-500S 1000 0 500 PIEZO DRIVER Resonant frequency チルト PT1T ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 1200 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ ／ ゴニオ／傾斜+昇降 GONIOMETRY INCLINATION + LIFTING PT3V80F-400S PT3V［ 傾斜＋昇降 Inclination+Lifting ］ PT1G100-500S 型番 Model No. 最大振れ角 300秒 （≒0.08°） （≒1.5mrad） 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 0.02秒 （≒0.10μrad） 0.02秒 （≒0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） Deflection angle 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability at 0g at 100g 20N 260Hz 260Hz 230Hz モーメント剛性 Moment stiffness （Z）2nm （Z）10nm （θx/θy）0.02秒（≒0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） 230Hz 0.2% 0.2% （θx）390秒/Nm,（θy）320秒/Nm,（Z）1.0μm/N （θx）420秒/Nm,（θy）330秒/Nm,（Z）2.0μm/N 静電容量 Capacitance 4.8μF 4.8μF リニアリティ Linearity 0.2% 0.2% 本体質量 Weight 700g 700g 静電容量 Capacitance 2.8μF/axis 6.8μF/axis アルミ （B）+鋼 （N） アルミ （B）+鋼 （N） ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ at 100g 230Hz モーメント剛性 Moment stiffness Aluminum+Steel 本体質量 Weight 1200g 1000g 本体材質 Body material 鋼（N） アルミ （W）+鋼 （N） Steel Aluminum+Steel ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（W） White alumite /（N）Electroless nickel plating ］ 88 100 36 26 36 16 50 68 70 80 3-Sensor Cables 3-Piezo Cables 16 Piezo Cable Z2 Cable Length 2m Z1 Z1 16 25 Cable Length 2m 70 88 90 16 25 SIMPLE ACTUATOR Cable Length 2m Sensor Cable Z3 80 Cable Length 2m 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 8-M4 Depth 6 4-M3 Depth 6 Sensor Cable Piezo Cable Z2 31 IMPACT ACTUATOR インパクト アクチュエータ 32 31 32 100 簡易型 アクチュエータ 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 8-M4 Depth 6 4-M3 Depth 6 Z3 Rotation Center 100 Rotation Center 50 26 30 90 70 50 32 4-φ4.5Holes, φ8 C'bored Depth 25 3-Pivot Points 8-M4 Depth 4 9-M3 Depth 4 超精密加工機用 90 100 PT3V100-800S PT3V100-800S-N STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 30 90 70 50 32 4-φ4.5Holes,φ8 C'bored Depth 25 3-Pivot Point 9-M3 Depth 4 3-Sensor Cables 100 PT3V80F–400S PT3V80F–400S-N 68 PT1G100-500S PT1G100-500S-N 100 PT1G100-300S PT1G100-300S-N OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ 190Hz ROTARY AND TILT STAGE 270Hz at 0g 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity ±0.04秒 （≒±0.19μrad） 10N Resonant frequency 68.7秒/Nm （θx/θy）0.04秒（≒0.19μrad） 10N 共振周波数 240Hz Aluminum+Steel （≒3.9mrad） （θx/θy）±800秒（≒0.22°） （Z）300μm 耐荷重 Load capacity 28.6秒/Nm 本体材質 （表面処理）Body material （≒1.9mrad） （θx/θy）±400秒（≒0.11°） （Z）100μm 繰り返し位置決め精度 Repeatability 3-Piezo Cables Resonant frequency 20N 分解能 Resolution PT3V100-800S APERTURE SHAPE STAGE 耐荷重 Load capacity 傾斜 Inclination 昇降 Lifting 傾斜 Inclination 昇降 Lifting Deflection angle PT3V80F-400S 開口付きステージ PT1G100-300S STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1G［ゴニオ Goniometry ］ 共振周波数 ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE STAGES PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 200 100 0 300 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ 傾斜＋昇降 PT3V PT3V80F-400S PT3V100-800S 最大振れ角 200 a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Deflection angle 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 100 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 40 PT1G100-300S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し（オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 41 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1G100-300S PT1G100-500S PIEZO DRIVER Resonant frequency ゴニオ PT1G ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 300 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］
© Copyright 2024 ExpyDoc
