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リニューアルに伴う自動Ｘステージ仕様比較
項目
テーブル面
案内方式
移動範囲
送り方式
分解能
フル／ハーフ
マイクロステップ（1/20）
最高速度
累積リード誤差
繰返し位置決め精度
ロストモーション
真直度
水平
垂直
バックラッシュ
モーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
モータ
コネクタ
使用センサ
正勝手
逆勝手
ＯＲＧ円盤
位置決めピン穴
外観寸法 H×W×D　(mm)
外観寸法 D1(コネクタ部分寸法)
新型式
旧型式
XA07A-R102
XA07A-R1
70ｍｍ×70ｍｍ
精密ｸﾛｽﾛｰﾗｶﾞｲﾄﾞ
±10ｍｍ
研削ﾈｼﾞ、ﾘｰﾄﾞ0.5ｍｍ
0.5μｍ/0.25μｍ
0.025μｍ
2.5ｍｍ/sec
≦10μｍ/20ｍｍ
≦±0.3μｍ
≦1μｍ
≦0.5μｍ/20ｍｍ
≦1μｍ/20ｍｍ
≦1μｍ
0.1arcsec/N・ｃｍ
98N(10kgｆ)
ｱﾙﾐ合金
白色仕上げ
0.85kg
0.75kg
PK544PMB
PX533MH-B
RP13A-12RA-20PC
Ｆ-116
Ｆ-101,F-107
F-116R
Ｆ-101,F-107
無し
有り
有り
無し
42×91×185.5
38×90.2×176
177mm
173mm
新型式
旧型式
XA07A-R201
XA07A-R2
70ｍｍ×70ｍｍ
精密ｸﾛｽﾛｰﾗｶﾞｲﾄﾞ
±10ｍｍ
ﾎﾞｰﾙﾈｼﾞ、ﾘｰﾄﾞ1.0ｍｍ
1μｍ/0.5μｍ
0.05μｍ
5ｍｍ/sec
≦5μｍ/20ｍｍ
≦±0.2μｍ
≦0.5μｍ
≦0.5μｍ/20ｍｍ
≦1μｍ/20ｍｍ
≦0.2μｍ
0.1arcsec/N・ｃｍ
98N(10kgｆ)
ｱﾙﾐ合金
白色仕上げ
0.60kg
0.75kg
PK523HPMB
PX533MH-B
RP13A-12RA-20PC
Ｆ-116
Ｆ-101,F-107
F-116R
Ｆ-101,F-107
無し
有り
有り
無し
28×85×169.5
38×90.2×176
174mm
173mm
外観寸法
【新機種】
従来結線
2015年3月
神津精機㈱
営業部
新結線

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