リニューアルに伴う自動Xステージ仕様比較 2015年3月神津精機営業

リニューアルに伴う自動Ｘステージ仕様比較
項目
テーブル面
案内方式
移動範囲
送り方式
分解能
フル／ハーフ
マイクロステップ（1/20）
最高速度
累積リード誤差
繰返し位置決め精度
ロストモーション
真直度
水平
垂直
バックラッシュ
モーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
モータ
コネクタ
使用センサ
正勝手
逆勝手
ＯＲＧ円盤
位置決めピン穴
外観寸法 H×W×D　(mm)
外観寸法 D1(コネクタ部分寸法)
新型式
旧型式
XA10F-R101
XA10F-R1
100ｍｍ×100ｍｍ
精密ｸﾛｽﾛｰﾗｶﾞｲﾄﾞ
±12.5ｍｍ
研削ﾈｼﾞ、ﾘｰﾄﾞ0.5ｍｍ
0.5μｍ/0.25μｍ
0.025μｍ
2.5ｍｍ/sec
≦8μｍ/25ｍｍ
≦±0.3μｍ
≦1μｍ
≦0.5μｍ/25ｍｍ
≦1μｍ/25ｍｍ
≦0.5μｍ
0.01arcsec/N・ｃｍ(0.004)
196N(20kgf)
鉄
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ仕上げ
2.75kg
2.8kg
PK544PMB
PX535MH-B
PC-1620、P-1620A-STA
F-101
Ｆ-101,F-107
F-101
Ｆ-101,F-107
無し
有り
有り
無し
42×117.2×230
38×117.2×234.5
250mm
236mm
新型式
旧型式
XA10F-R201
XA10F-R2
100ｍｍ×100ｍｍ
精密ｸﾛｽﾛｰﾗｶﾞｲﾄﾞ
±12.5ｍｍ
ﾎﾞｰﾙﾈｼﾞ、ﾘｰﾄﾞ1.0ｍｍ
1μｍ/0.5μｍ
0.05μｍ
5ｍｍ/sec
≦5μｍ/25ｍｍ
≦±0.2μｍ
≦0.5μｍ
≦0.5μｍ/25ｍｍ
≦1μｍ/25ｍｍ
≦0.5μｍ
0.01arcsec/N・ｃｍ(0.004)
196N(20kgf)
鉄
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ仕上げ
2.75kg
2.8kg
PK544PMB
PX535MH-B
PC-1620、P-1620A-STA
F-101
Ｆ-101,F-107
F-101
Ｆ-101,F-107
無し
有り
有り
無し
42×117.2×230
38×117.2×234.5
250mm
236mm
外観寸法
【新機種】
従来結線
2015年3月
神津精機㈱
営業部
新結線

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