改質接合洗浄

エキシマランプ光源
接合
洗浄
改質
エキシマランプ光源
実績
※弊社検証データ
改質
■各種材料の表面改質
100
TLS B0019JA
照射距離: 2 mm
照射時間: 10秒
照射雰囲気: 大気
90
80
で利用されています。そのなか
70
純水の接触角 (°)
表面改質技術は幅広い産業分野
でエキシマランプを用いた改質
は原子・分子レベルの化学反応
によるものであるため、従来の
方法と比べ精密な改質といえま
処理前
処理後
60
50
40
30
ＴＡＣ
ポリカーボネート
ＰＶＡ
アクリル
ＰＰＳ
ポリイミド
■樹脂の表面改質
ＣＯＰ
有効な技術と考えられています。
ＰＥＴ
0
質が必要とされる分野において
ポリエチレン
10
質が可能なため、より高度な改
ガラスエポキシ
20
粉塵の発生のないクリーンな改
ポリプロピレン
す。また、材料への損傷がなく、
■接着の前処理（接着性向上）
例: ポリフェニレンサルファイド
（PPS）+ ポリオレフィン
（PO）
80°
3
接着強度
15°
約3倍
向上
2
1
エキシマ光照射前
エキシマ光照射後
0
エキシマ光による処理前
エキシマ光による処理後
TLS B0013JA
原理
1
2
エキシマランプ
真空紫外光
（波長 172 nm）
大気中
O2
O3 + O(1D)
O3 O(1D) O3 O(1D) O3
H
H
H
H
C
C
C
C
H
H
H
H
O3 O(1D) O3 O(1D) O3
反応
H
H
樹脂材料
波長172 nmの真空紫外光により
オゾンと活性酸素が大量に生成。
H
H
C
C
C
C
H
H
H
H
同時に真空紫外光により材料表面
の結合を切断。
OH
O
OH COOH
C
C
C
C
H
H
H
H
化学反応により未結合手に機能性
に寄与する官能基が形成され、材
料表面に親水性を付与。
「光」で広げる！「改質」
・
「洗浄」
・
「接合」の可能性
エキシマランプから放出される波長172 nmの真空紫外光は、酸素に対する吸収係数が
洗浄
大きいため高濃度の活性酸素を生成できます。また、有機物の分子結合切断能力に優
れています。そのため、高い洗浄能力を有しており、洗浄速度の向上、洗浄品質の向
上、歩留まり向上などさまざまな工程におけるメリットを実現します。
実績
※弊社検証データ
■レーザ用Au蒸着ミラーの洗浄
エキシマ光照射前
■アセトン洗浄残りの除去
エキシマ光照射後
エキシマ光照射前
エキシマ光照射後
原理
1
2
エキシマランプ
真空紫外光
（波長 172 nm）
大気中
O3 O(1D) O3 O(1D) O3
O2
O3 + O(1D)
O3 O(1D) O3 O(1D) O3
反応
H2O
CO2
有機汚れ
H 2O
CO2
基板
波長172 nmの真空紫外光により
オゾンと活性酸素が大量に生成。
同時に真空紫外光により有機汚れの
化学結合を切断。
オゾン・活性酸素が切断された有機
汚れと反応して、二酸化炭素や水分
等として揮発。
マイクロ流体デバイスが医療・バイオ分野をはじめ、さまざまな分野で実用化される
接合
なかで、使用される接合技術にも構造の微細化に伴い、より高品質・高精度な接合方
法が求められてきています。
エキシマランプによる接合は、接着剤不要、ダメージレス、熱変形のない接合方法で
あるため、マイクロ流体デバイスの接合に最適です。
エキシマランプ光源
特長
他方式との比較
コロナ放電方式
プラズマ方式
エキシマランプ方式
放電
真空紫外光
エキシマランプ方式
コロナ放電方式 / プラズマ方式
ダメージレス
コロナ放電／プラズマ方式は放電を直接対象物
エキシマランプ
電極
に当てるため、ダメージが発生してしまいますが、
ダメージ
エキシマランプ方式は真空紫外光の照射のみで
あるためダメージはほとんど発生しません。
エキシマランプ方式
コロナ放電方式 / プラズマ方式
粉塵が出ない
コロナ放電／プラズマ方式は電極のスパッタによ
エキシマランプ
粉塵
電極
る粉塵の発生や、送風による粉塵の舞い上がりに
より、対象物に粉塵が付着してしまうことがありま
す。エキシマランプ方式はそれらの問題を解消し
クリーンな処理を可能にします。
エキシマランプ方式
処理ムラがない
コロナ放電方式 / プラズマ方式
真空紫外光
光を利用するエキシマランプ方式で
放電
は、放電を利用するコロナ放電/プラズ
マ方式のような照射ムラは発生しませ
ん。エキシマランプ方式は大面積で均
一な高い処理効果を実現します。
※処理効果を紫色で示した場合
処理ムラ
他社エキシマランプとの比較
平面型ランプの採用により、大面積で均一な照射を実現
ユニフォミティ特性（短軸方向）
平面型ランプ vs. 円筒型ランプ
照射強度分布（代表例）
ランプ中心直下しか近接できない
ユニフォミティが良くない
面全体で近接可能
ユニフォミティが良い
100
90
80
ランプ中心からの距離 (mm)
●小型平面型ランプ（EX-86U, EX-mini）実寸サイズ
他社製
円筒型ランプ
浜松ホトニクス製
平面型ランプ
20
15
10
5
0
-5
-10
-15
-20
-40 -35 -30 -25 -20 -15 -10 -5 0
相対光出力 (%)
70
5 10 15 20 25 30 35 40
ランプ中心からの距離 (mm)
60
50
紫外線積算光量計 : 弊社製 C9536/H9535-172
ランプ - UVパワーメータ間距離 : 5 mm
測定雰囲気 : 大気中
40
30
20
80 %以上
60 % – 80 %
60 %以下
紫外線積算光量計 : 弊社製 C9536/H9535-172
ランプーUVパワーメータ間距離 : 5 mm
測定雰囲気 : 大気中
10
0
-20
-15
-10
-5
0
5
10
15
20
ランプ中心からの距離 (mm)
RF*放電の採用により、ちらつきの少ない安定した出力を実現
RF放電 vs. 誘電体バリア放電
誘電体（ガラスなど）
外部電極
誘電体（ガラスなど）
グロー放電
外部電極
マイクロプラズマ放電
誘電体
バリア放電
RF放電
均一な放電で発光ムラがない
電源のオートチューニング機能により、高効率な点灯を実現
172 nmの単一波長で、効率の良い処理が可能
瞬時点灯／消灯が可能
NOTE: * RF: Radio Frequency
（高周波）
糸状の放電で発光ムラがある
エキシマランプ光源
応用例
接着性向上・材料への親水性の付与などの機能性向上が可能で、
現在では幅広い分野や材料への利用
が進んでいます。
・印刷時 / コーティング時の密着性向上
●デバイスの表面改質
エキシマランプ光源
改質
・接着時の接着強度向上
エキシマランプ光源
・レジストの濡れ性向上
・樹脂、金属、ゴム等各種材料の濡れ性向上
光を当てるだけで洗浄可能なため、
特にウェッ
ト洗浄不可な材料、
熱によるダメージを受けやすい材料などに
対して有効です。
・シリコンウェーハ / ガラス基板の洗浄
●ガラス基板の洗浄
エキシマランプ光源
洗浄
・レジスト残渣、接着剤残渣
有機膜、油汚れの除去
光を用いた表面活性化による接合のため、
ダメージレス、
装置の小型化・コストダウン、
プロセスの簡易化、
任
意の位置のみの接合を可能にします。
さまざまな素材のマイクロ流体デバイスに応用できます。
■マイクロ流体デバイスの
接合
使用分野
●マイクロ流体デバイスの接合
・タンパク質／DNA解析
・創薬支援
・細胞実験
・化学モニタリング
サンプル
照射面
接合部分
試薬
製品ラインアップ
■照射面サイズ
400mm×38mm
インライン
長尺
大面積
平面長尺ランプとRF（高周
（エキシマランプ+ランプハウス）
110
波）放電の採用により、
大面
積で均一な照射とちらつき
700
の少ない安定した出力を実
（電源）
質量:
エキシマランプ 220 g
ランプハウス 10.3 kg
電源
10.5 kg
129
現しました。
480
（単位: mm）
■照射面サイズ
86mm×40mm
インライン
小型
小型軽量化・電源内蔵によ
るオールインワン化により、
設置手間を解消し、設置場
253
所を選ぶことなく、簡単に製
造工程へ導入出来るように
なりました。
質量: 4.8 kg
227
（単位: mm）
■照射面サイズ
86mm×40mm
R&D
小型
驚きの手軽さによ
驚きの手
の手
手軽さによ
によ
より、
ど
どこ
どこで
で
も簡易的に精度の高い実
233
験・評価をすることが可能と
なりました。
344
質量: 6.5 kg
（単位: mm）
オゾン分解ユニットはオプションです。
L11751-01 E12499 C11997
インライン
長尺
大面積
さらなる
「均一性」
を追求したエキシマランプ
平面長尺ランプとRF
（高周波）放電の採用により、
大面積で均一な照射とちらつきの少ない
安定した出力を実現しました。
コロナ放電方式やプラズマ方式、
他のエキシマランプに比べて、
高精度・高品質な改質・洗浄・接合を
可能にします。
設置例
ランプハウス
冷却用排気ダクト
エキシマランプ L11751-01
エキシマランプ用ランプハウス E12499
AC 200 V ∼ AC 240 V
単相
エキシマランプ用電源 C11997
※照射雰囲気ではオゾンが発生するため、
お客様で設置例
のように囲んだ上で排気ダクトを設置してください。
オゾン排出用排気ダクト
仕様
外形寸法図（単位： mm）
750
700
5
49
110
コネクタ
（電源接続用）
400
734
エキシマランプ用ランプハウス E12499
コネクタ
（ランプハウス接続用）
20
Typ.
消費電力
Max.
動作 / 保存温度範囲
動作 / 保存湿度範囲
制御方法
質量
内容 / 値
AC 200 V ∼ AC 240 V 単相
約2 MHz
0 ∼ 180 W
500 VA
750 VA
+5 °C ∼ +35 °C / -25 °C ∼ +55 °C
30 % ∼ 80 % / 80 %以下
（結露なきこと）
外部制御 / コントローラ制御
10.5 kg
制御内容
【外部制御】
・ランプ点灯 / 消灯
・ランプ点灯積算時間 / リセット
・各種エラー信号、
ライフ警告信号
・インターロック
【コントローラ制御】
2-M4 深さ10以内
40
480
100
エキシマランプ用電源 C11997
項目
入力電圧
発振周波数
高周波出力電力
上面図
背面図
側面図
REMOTEコネクタ
スイッチボックス /
外部機器接続用
（D-sub 25ピン）
215
129
2ランプハウス冷却用排気ダクトのダクト吸引風量です。
TLSA0014JB
●エキシマランプ用電源 C11997
15
内容 / 値
400 mm × 38 mm
ダクト吸引による強制空冷
0.35 ± 0.08 m3/min
+5 °C ∼ +35 °C / -25 °C ∼ +55 °C
30 % ∼ 80 % / 80 %以下
（結露なきこと）
10.3 kg
4-6.5 × 10
照射面
10
1弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172で、ランプ直近にて
測定したと仮定して試算した値
項目
照射面サイズ
（W×H）
冷却方法
ダクト吸引風量 2
動作 / 保存温度範囲
動作 / 保存湿度範囲
質量
風量計
202
38
定格
発光波長
照射強度 1
ランプ設計寿命
動作 / 保存温度範囲
動作 / 保存湿度範囲
質量
●エキシマランプ用ランプハウス E12499
内容 / 値
180 W
172 nm
50 mW/cm2
2000 h
+5 °C ∼ +35 °C / -25 °C ∼ +55 °C
30 % ∼ 80 % / 80 %以下
（結露なきこと）
220 g
180
項目
160
エキシマランプ L11751-01
30
正面図
CONTコネクタ
ハンディコントローラ接続用
電源入力コネクタ
TLSA0015JA
付属品
ランプハウスケーブル（5 m） ●出力ケーブル（5 m） ●電源ケーブル（5 m）
●外部制御コネクタ（D-sub 25ピン）
●
オプション
●スイッチボックス C12633
ハンディコントローラ C12632
●スイッチボックス C12633
（オプション）
・ランプ点灯 / 消灯
・ランプ点灯積算時間のリセット
実験等でのエキシマランプ光源
●ハンディコントローラ C12632
（オプション）
・ランプ点灯 / 消灯
・ランプ点灯積算時間の確認 / リセット
・各種エラー信号、
ライフ警告信号
・内部 / 外部制御切替
スはランプの点灯／消灯制御の
のマニュアル制御に最適なコン
トローラです。スイッチボック
みの簡易コントローラです。ハ
ンディコントローラはランプの
点灯／消灯制御だけでなく、各
種情報の取得も可能なコント
ローラとなっています。
左 : スイッチボックス、右 : ハンディコントローラ
L13129
インライン
小型
スペース要らず、手間要らず、製造工程へ簡単導入
小型軽量化・電源内蔵によるオールインワン化により、
設置手間を解消し、
設置場所を選ぶことなく、
簡単に製造工程へ導入出来るようになりました。
また、
インラインにおける汎用性が高いため、
既存ラインへの組み込みやライン移設など容易に行えます。
設置例
EX-86U
AC 100 V ∼ AC 240 V
オゾン排出用排気ダクト
※照射雰囲気ではオゾンが発生するため、
お客様で設置例
のように囲んだ上で排気ダクトを設置してください。
※設置環境／条件によっては、排気ダクト不要のオゾン分解
ユニット E12685
（オプション）
が使用可能です。
ご希望の場合はご相談ください。
外形寸法図（単位： mm）
特長
●小型軽量
●電源内蔵のオールインワン光源
●AC 100 V ∼ 240 V電源動作可能
通信用コネクタ (RS-232C)
EXT. CONTROL
RS-232C
型名ガイド
(D-sub 15ピン)
POWER
MENU
DOWM
UP
AC INPUT
L13129-C□
MODE
LAMP
AUTO
ON / OFF
「□」部分の型名（電源ケーブル仕様別）
50
1: 日本向け 2: 北米向け 3: 欧州向け 4: 中国向け 5: 英国向け
7: タイ向け
【パネル制御】
・マニュアル / オート照射
・照射時間設定
・照射時間表示
・点灯信号
・各種エラー信号
149
40
【外部制御】
・マニュアル / オート照射
・点灯信号
・各種エラー信号
4-4.2 × 8
86
70
付属品
・電源ケーブル
（2 m）
・外部制御コネクタ
（D-sub 15ピン）
照射面
71
制御内容
227
252
項目
内容 / 値
発光波長
172 nm
照射強度①
50 mW/cm2
照射面サイズ
（W× H）
86 mm × 40 mm
ランプ設計寿命②
2000 h
100 V ∼ 240 V
入力電圧
（AC）
150 VA以下
消費電力
ファンによる強制空冷
冷却方式
+5 °
C ∼ +35 °
C / -25 °
C ∼ +55 °
C
動作 / 保存温度範囲
（結露なきこと）
動作 / 保存湿度範囲 10 % ∼ 80 % / 80 %以下
パネル制御 / 外部制御
制御方法
4.8 kg
質量
①弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172 で、
ランプ直近にて
測定したと仮定して試算した値。
②リプレイスランプについては L12681 をご指定ください。
253
仕様
120
TLSZA0046JA
L12530-01
R&D
小型
見たことのない、
「驚き」の「手軽さ」
を実現
驚きの手軽さにより、
どこでも簡易的に精度の高い実験・評価をすることが可能となりました。
た。
インライン向けエキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U と
同等のランプ性能を有するため、
R&D向けエキシマランプ光源 EX-mini での評価結果を
そのままインラインにいかすことができます。
特長
●照射ボックスと一体型のオールインワン光源
230
この1台があれば、照射ボックス等の設計が必要ないため、すぐに使
用することができます。
●持ち運び可能な小型サイズ
●インターロック、各種エラー信号など安全性の高い設計
●照射時間の設定が可能
照射時間を設定することで、正確な実験や評価と手軽さを実現します。
●AC100V∼240V電源動作可能
233
容易に持ち運びできるほどのサイズと重さで、設置場所や設置環境に
制限されることがありません。
制御内容
仕様
項目
発光波長
照射強度 ①
照射面サイズ (W × H)
ランプ設計寿命 ②
入力電圧 (AC)
消費電力
冷却方式
ダクト吸引風量 ③④
動作 / 保存温度範囲
動作 / 保存湿度範囲
制御方法
質量
【パネル制御】
【外部制御】
・マニュアル / オート照射
・照射時間設定
・照射時間表示
・点灯信号
・各種エラー信号
・マニュアル / オート照射
・点灯信号
・各種エラー信号
1弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172で、ランプ直近にて測定したと仮定して
試算した値。
2リプレイスランプについては L12681-02をご指定ください。
3冷却用 / オゾン排出用排気ダクトのダクト吸引風量です。
4排気ダクトもしくは、排気ダクト不要のオゾン分解ユニットE12685（オプション）を
ご用意ください。
（単位： mm）
48.6
外形寸法図
内容 / 値
172 nm
50 mW/cm2
86 mm × 40 mm
2000 h
100 V ∼ 240 V
150 VA以下
ダクトまたはファンによる強制空冷
0.25 m3/min ∼ 0.35 m3/min
+5 °
C ∼ +35 °
C / -25 °
C ∼ +55 °
C
10 % ∼ 80 % / 80 %以下
（結露なきこと）
パネル制御 / 外部制御
6.5 kg
ダクト接続口
操作パネル
81.5
窒素(N2)導入口
冷却ファン
付属品
・電源ケーブル（2 m）
・外部制御コネクタ
（D-sub 15ピン）
・外部ファン短絡コネクタ
233
外部制御端子
(D-sub 15ピン)
電源スイッチ
344
10.5
230
電源入力コネクタ
TLSZA0036JA
●オゾン分解ユニット E12685（オプション）
を使用す
ることで、室内に排気可能（排気ダクトが不要）
オゾン分解
ユニット
E12685
エキシマ
ランプ光源
L12530-01
排気ダクトの設置が必要ない
ため、どこでも手軽に使用す
ることができます。
EX-miniにコネクタ接続
するだけで動作可能です。
オゾン
O3
清浄な空気
O2
O2
O2
O3
O3
O3
外寸 (W×H×D)：136 mm × 109 mm × 115 mm（突起部は含まない。
）
質量：約1.2 kg
344
内寸 (W×H×D): 204 mm × 118 mm × 139 mm（突起部は含まない。
）
※サンプル台（ジャッキ等）は付属しておりません。
※オゾン分解ユニットはオゾンのみを除去します。
対象の材質によっては照射することで有害物質が発生する可能性がありますので、その場合は排気ダ
クトをご使用ください。
※オゾン分解フィルタの寿命は動作時間 2000時間もしくは弊社出荷日より1年間としています。
リプレイスフィルタについては A12686をご指定ください。
エキシマランプ光源
Q&A
Q1
A
エキシマランプ光源以外に必要なものはありますか？
Q2
A
窒素
（N2）
パージは必要ですか？
Q3
A
Q4
A
EX-400
電源と排気ダクトが必要です。冷却水については、
空冷方式のため不要です。
EX-86U
EX-mini
・AC 200 V ∼ AC 240 V 単相
・AC 100 V ∼ AC 240 V
・AC 100 V ∼ AC 240 V
・ランプハウス冷却用排気ダクト・オゾン排出用排気ダクト・オゾン排出用排気ダクト※
・オゾン排出用排気ダクト
※オプションのオゾン分解ユニット E12685を使用すれば、排気ダクトは不要。
パージ不要です。
弊社エキシマランプ光源は基本的に窒素（N2）
パージをした方が短時間で処理できます。
ただし、
照射距離が離れる場合
（目安としては5 mm以上）
は、
窒素（N2）
照射雰囲気を囲む必要はありますか？
（エキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U）
エキシマランプ光源から放出される真空紫外光は酸素に吸収されますが、
オゾンが発生するため、照射雰囲気は
囲む必要があります。照射雰囲気を囲むカバー材質は劣化がなく、
交換が不要なSUS、
アルミを推奨します。
また、
照射雰囲気内の様子を見たい場合はガラスを使用して、
窓を設置してください。
オゾン排出の排気レベルはどの程度ですか？
（エキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U）
お客様の製造工程における、照射雰
囲気の体積や気密性が排気に大きく
影響するため、
規定はしていません。
お
EX-400
EX-86U
客様で照射雰囲気が負圧になるように
（オゾンが漏れないように）排気量を調
整してください。
オゾン排出用排気ダクト
Q5
A
強制空冷の排気レベルはどの程度ですか？
（エキシマランプ光源 EX-400）
0.35 ± 0.08 m3/minのダクト吸引風量
ランプハウス冷却用排気ダクト
拡大
で排気を行ってください。
付属の風量計の針が目印に入るように
風量を調整してください
（風量計にダン
パーが付いているため、風量計側でも
調整可能です）
。
目印
Q6
A
エキシマランプ光源使用における注意事項はありますか？
Q7
A
改質・洗浄における材料の制限はありますか？
エキシマランプ光源と照射対象物との距離を近づけてください
（推奨は5 mm以内）。距離が離れるほど、
真空紫外
光が酸素に吸収されてしまい、
所望の効果が得られるまでの照射時間が長くなります。
改質については、
材料に関わらず一定の効果が見込めます。
洗浄については、
有機物は分解・除去できますが、
無機物は取り除くことができません。
フッ素含有ガスなど）
に真空紫外光を照射すると、
発生する分解生成物によっ
※フッ素を含有する材料（フッ素樹脂、
てランプに悪影響を及ぼす可能性がありますので、
フッ素を含有する材料への照射は行わないでください。
Q8
A
改質の処理効果の持続時間はどのくらいですか？
Q9
A
照射対象物への熱影響はありますか？
Q10
A
Q11
A
材料によりますが、
処理後の経過時間とともに元に戻っていく傾向があります。
照射対象物への熱影響はほとんどありません。
【参考】エキシマランプ光源 EX-400の場合：ランプ-サンプル間距離 2 mmにおいて、1分間照射で 36 ℃、
10分間照射で 58 ℃
（ポリエチレン
（PE）
板表面温度を熱電対により測定）
オゾンに関する使用基準等はありますか？
作業環境基準：0.1 ppm以下
（1日8時間、
週5日労働）
作業環境基準は、
日本産業衛生学会が勧告した基準であり、
法規制ではありません。
【製品安全データシート
（MSDS）
−オゾン】
http://www.jaish.gr.jp/anzen/gmsds/0692.html
エキシマランプ光源使用にあたり法的義務はありますか？
エキシマランプ光源 EX-400 に限り、
電波法に基づき、
高周波利用設備の設置に関する届け出を所轄の総合通信
局に提出することが義務付けられています。
また、
許可を得た設備を変更
（増設、
廃止、
設置場所の変更）する場合にも手続きが必要となります。
エキシマランプ光源
■関連製品
●紫外線積算光量計 C9536／H9535-172
フィルタレスで特定波長の紫外光を直接検出でき、絶対値光量管理
（mW/cm2）を可能にする紫外線積算光量計です。
センサヘッドを分離させ、ベルトコンベアに流しての計測やケーブルの取り
回しが困難な場所での計測も可能です。
●搬送機
エキシマランプ光源 EX-400の搬送機です。
ご希望の仕様・形状がございましたら、お気軽にご相談ください。
■製造工程支援製品
●リニア照射型UV-LEDユニット
LIGHTNINGCURE Ⓡ LC-L5G
UVコーティング剤乾燥・UVインク乾燥・UV接着に最適なリニア照射型
UV-LED光源です。
高出力（10 000 mW/cm2: at 385 nm）・小型軽量で、また空冷方式の
採用により、チラー設備や排気ダクト工事不要のため、初期導入費削減と
省スペース化に貢献します。
●UV-LEDスポット光源
LIGHTNINGCURE Ⓡ LC-L1V3
UV接着に最適なスポット照射型UV-LED光源です。
余分なスペースを最小限に抑制したことにより、4ヘッド駆動でありながら
手のひらに乗るほどの小型軽量を実現しました。
各
種
実
験
貸
出
機
ご
案
内
弊社は立会い実験、サンプル預かり実験を無償にて行っております。
また貸出機もご用意しておりますので、ご要望の方は電話または
弊社ホームページよりお問合せください。
（日程などの詳細につきましては、お気軽にご相談ください。）
高周波利用設備申請について
エキシマランプ光源 EX-400 は、
電波法に基づき、高周波利用設備の設置に関する届け出を所轄の総合通信局に提出することが義務付けられておりま
すので、速やかに手続きを行ってください。
また、許可を得た設備を変更
（増設、廃止、設置場所の変更）
する場合にも手続きが必要となります。
●本資料の記載内容は平成28年1月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。
□仙台営業所〒980-0021
□筑波営業所〒305-0817
□東京営業所〒105-0001
□中部営業所〒430-8587
□大阪営業所〒541-0052
□西日本営業所〒812-0013
WEB SITE www.hamamatsu.com
TEL
仙台市青葉区中央3-2-1
（青葉通プラザ 11階）
つくば市研究学園5-12-10
（研究学園スクウェアビル7階） TEL
TEL
東京都港区虎ノ門3-8-21
（虎ノ門33森ビル5階）
浜松市中区砂山町325-6
（日本生命浜松駅前ビル4階） TEL
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大阪市中央区安土町2-3-13
（大阪国際ビル10階）
福岡市博多区博多駅東1-13-6
（竹山博多ビル5階）
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(022)267-0121
(029)848-5080
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(053)459-1112
(06)6271-0441
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□電子管営業推進部〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205
(022)267-0135
(029)855-1135
(03)3433-6997
(053)459-1114
(06)6271-0450
(092)482-0550
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JAN. 2016 IP
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