従来のSEM試料に対しては高品質な性能を提供しながら、磁性材料、ガ

Teneo
高分解能イメージングと分析能力を両立した高スループットSEM
従来のSEM試料に対しては高品質な
性能を提供しながら、磁性材料、ガ
ラス、非導電試料のようなイメージン
グが困難な材料に対して、Teneoは、
高コントラスト、高分解能イメージを
提供します。
最大限の知見を得る
FEI Teneo™は、磁性材料を含む、あらゆる試料に対して素晴
らしい結果を導く、超高分解能分析走査型電子顕微鏡です。
スループット、精度、そして使い易さが向上された革新的な特
長により、FEIのTeneoは、大学、研究機関から産業分野にわ
たり、ナノスケールの研究、評価に最適です。
KEY BENEFITS
様々な試料から多くの情報収集：クラス最高の分解能とコ
ントラストにより、磁性材料を含む全ての試料からより多
く、
そしてより確かな情報を収集。
素早く結果を取得：ビーム電流400nAに至る、高真空モー
ド、低真空モードの双方において、高スループットな分析
能力を発揮します。
より簡単により詳細な情報を取得：FEI Trinityインレンズ検
出器により、
あらゆる信号を全て同時に取得。
使い勝手や信頼性の向上：完成度の高い自動化ソフトウエ
アにより、Teneoは信頼性が高く、
より確かな実験が簡単に
行えます。
柔軟な装置構成：自由度の高い装置構成により、簡単に必
要な高機能システムへと構築が可能。
短時間でデータを取得
FEI Teneoの核心は新開発の電子検出にあります。インレンズ
FEI Trinity検出器技術は、全ての信号を同時に取り込み、時
間を節約しながら、明らかに異なるコントラストの全てのデ
ータ収集を可能とします。さらにレンズ直下に配置される同
心円型の反射電子検出器により、角度限定の信号を効果的
に得ることができ、簡単にマテリアルとトポグラフィックのコ
ントラストを区別することができます。これは20eVの照射電
子においても取得可能です。
時間の効率化
Teneoは、操作性に優れており、最適なイメージング、および
分析条件に到達するための装置調整に要する時間を短縮す
ることが出来ます。FEIのNICol™ 電子カラムは特に使い勝手
や自由度に重きを置きデザインされています。完全な自動カ
ラムアライメントにより、オペレーターの調整の負担は極限に
まで軽減され、事前に最適化された電界放射型電子銃(FEG)
の搭載により機械アライメントは排除されました。さら
に、FEI Teneoは、ユーザーガイダンスが利用可能になり、経
験の浅いユーザーでも簡単に高効率で作業できます。
加えて、
「undo」や「redo」のような機能により、より安心
して実験を進行させることができます。
ステージは110mmステージが採用されており、90度の試料
傾斜と長いビーム交点に特徴があり、自由度があります。FEI
Teneoは、様々な形態の試料が挿入可能な上に、多方向から
の観察が可能で、同時にエネルギー分散型X線スペクトル
(EDS)信号の取得も可能です。
 タングステンフィラメントの表面の低加速SEM像
チャンバー
·· 左右サイズ：379㎜
·· 分析用ワーキングディスタンス：10mm
·· ポート：21
·· EDS 取り出し角：35°
検出器
·· Trinity検出器システム (インレンズ、インカラム)
-- T1 分割下部インレンズ検出器
-- T2 分割上部インレンズ検出器
-- T3　リトラクタブル型　インカラム検出器*
-- 4信号同時取得
·· ET SE検出器
·· DBSリトラクタブル/セグメント型BSE検出器*　·· STEMリトラクタブル/セグメント型検出器
(BF,DF,HADF,HAAADF)*
NICol UHR ノン・イマージョンFESEMカラム
(高分解能電界放出型SEMカラムを有する)
·· 高安定ショットキー電子銃
·· 寿命 12カ月
·· 電子銃の設置、およびメンテナンスには手間を要しません
－自動ベークアウト、自動スタート、無機械的アライメント
·· IR-CCD
·· Nav-Cam™チャンバーマウント型カメラ*
真空システム
·· 完全オイルフリー真空システム
·· 1×220 l/s TMP
·· 加熱型自動絞り
·· 1×PVP scroll
·· ビーム電流の制御、および最適な絞り選択
·· 2×IGP
·· 2重ステージ走査偏向
·· チャンバー真空度(高真空)＜6.3×10 -6mbar 72時間真空引
き後
·· 60°対物レンズジオメトリー
·· ビーム電流範囲：1pA-400nA
·· ランディングエネルギー範囲：20eV-30keV*
·· 加速電圧範囲：200eV-30keV
·· ユーザーガイダンス、およびカラム・プリセット機能
SEM分解能 (最適なワーキングディスタンス)
·· 高真空イメージング (最適なWD)
·· 0.8nm (30keV) STEM
·· 1.0nm (15keV)
·· 1.4nm (1keV)
ステージおよび試料
·· 最大水平幅：4mm
(4方向において ×30倍の最小倍率に対応)
·· 標準ナビゲーションモンタージュを介して広角(×1倍)
が可能
·· 試料室真空引き時間：3.5分以下
·· 低真空モード*
試料ホルダー
·· 直接ステージに18個の12mmスタブが搭載可能、また断面
観察用に3つのピンスタブを搭載可能。さらに2つのローバ
ーホルダーをSTEM観察用に搭載可能(38度と90度)。さら
にスプリングクランプによる断面試料固定も可能
·· 6個TEMグリッド乗せローバー*
·· ウエーハ用やカスタムホルダー*
ソフトウエア
·· ”Beam per view”型GUI(グラフィカルユーザーインター
フェース)、4つまで同時スキャン可能
·· イメージ重ね加工
·· ナビゲーションモンタージュ
·· イメージ分析ソフトウエア
·· Undo/Redo機能
·· デュアルビーム操作/応用のためのユーザーガイダンス　2 FEI Explore. Discover. Resolve.
STAGE SPECIFICATIONS
タイプ
ユーセントリックゴニオメーターステージ、5軸モーター駆動
XY
110 × 110 mm
再現性　<2.0μm (0度傾斜時)
Zのモーター駆動
65 mm
回転
n × 360°
傾斜
–15° / +90°
最大試料傾斜
85mmのクリアランス(ユーセントリック位置まで)
最大試料重量
500g(どんな位置においても)、0度傾斜における最大重量2kg
最大試料サイズ
150mm(フル回転)、回転限定で大きな試料挿入可
*オプション
イメージプロセッサー
·· ドウェルタイム：0.025-25000μs/pixel
·· FEIガスインジェクション：最大２ユニットまで
(他のオプションにより限定される場合あり)
-- プラチナ
·· 最大画素数 6144×4096
-- タングステン
·· ファイル保存形式(8,16,24ビット)、
BMPもしくはJPEGが標準
-- カーボン
·· マニピュレーター
·· 1画面、もしくは4分割画面ディスプレイ
·· クライオステージ
·· SmartSCAN™(256フレームの平均、または積算、
ライン積算、積算、インターレーススキャン)
·· 電気特性用プローブ
·· DCFI(ドリフト補正イメージ積算)
·· イメージ登録
システム制御
·· Windows7による64ビットGUI、キーボード、
マウス
·· ”Beam per view”型GUI(グラフィカルユーザー
インターフェース)、4つまで同時検出可能
·· 24インチLCDディスプレイ、
WUXGA 1920×1200(セカンドモニターオプション)
ソフトウエアオプション
·· MAPS™：広域観察やイメージ相関用の自動画像取得
·· Webを利用したデータ保管ソフトウエア
·· イメージ処理ソフトウエア
付属文書とサポート
·· オンラインユーザーガイダンス
·· 操作マニュアル
·· オンラインヘルプ
·· ジョイスティック(オプション)
·· RAPID™(遠隔診断サポート)
·· 多機能制御パネル(オプション)
·· 自由にアクセス可能な `FEI for Owners'
アクセサリー(オプション)
·· 試料/チャンバークリーニング：
FEIクライオクリーナー、
搭載型FEIプラズマクリーナー
保障とトレーニング
·· 保障期間１年
·· 分析：EDS,EBSD,WDS,CL
·· QuickLoader™：短時間試料挿入用ロードロック
·· ナビゲーション：
Nav-Cam、相関ナビ、MAPSタイリング、
スティッチング
·· サービスメンテナンス契約
·· 操作、アプリケーショントレーニング
消耗品(一部)
·· 交換用ショットキー電子銃
Explore. Discover. Resolve. FEI 3
·· 最小ドア幅：幅90m×高さ1.9m
設置条件
(詳細は設置仕様書参照)
·· 重量：980kg
·· 電源
·· コンプレッサー圧　4-6bar(オイルフリー)
-- 電圧200V AC(-6%、+10%)
·· ドライ窒素
-- 周波数 50または60Hz(±1%)
·· 音響：設置環境測定必要
-- 消費電力：3.0kVA以下
·· 床振動：設置環境測定必要
·· アース：0.1Ω以下
·· 除振台(オプション)
·· 環境
-- 温度20℃±3℃
-- 湿度80%RH以下
-- 磁場40nT以下　50Hzもしくは60Hzに対しては300nT以下
1220mm
1368mm
3808mm
1220mm
5030mm
1220mm
World Headquarters
Phone +1 503 726 7500
FEI Europe
Phone +31 40 23 56000
1700mm
FEI Japan
Phone +81 3 3740 0970
890mm
FEI Asia
Phone +65 6272 0050
1220mm
FEI Australia
Phone +61 2 6173 6200
For current certifications, please visit FEI.com/certifications
©2015. We are constantly improving the performance of our products—all specifications are subject to change without notice.
FEI, the FEI logo, MAPS, Nav-Cam, NiCol, QuickLoader, RAPID, SmartSCAN, Teneo, and Trinity are trademarks of FEI Company or its
affiliates. All other trademarks belong to their respective owners. DS0180-07-2015-JP
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