Teneo 高分解能イメージングと分析能力を両立した高スループットSEM 従来のSEM試料に対しては高品質な 性能を提供しながら、磁性材料、ガ ラス、非導電試料のようなイメージン グが困難な材料に対して、Teneoは、 高コントラスト、高分解能イメージを 提供します。 最大限の知見を得る FEI Teneo™は、磁性材料を含む、あらゆる試料に対して素晴 らしい結果を導く、超高分解能分析走査型電子顕微鏡です。 スループット、精度、そして使い易さが向上された革新的な特 長により、FEIのTeneoは、大学、研究機関から産業分野にわ たり、ナノスケールの研究、評価に最適です。 KEY BENEFITS 様々な試料から多くの情報収集:クラス最高の分解能とコ ントラストにより、磁性材料を含む全ての試料からより多 く、 そしてより確かな情報を収集。 素早く結果を取得:ビーム電流400nAに至る、高真空モー ド、低真空モードの双方において、高スループットな分析 能力を発揮します。 より簡単により詳細な情報を取得:FEI Trinityインレンズ検 出器により、 あらゆる信号を全て同時に取得。 使い勝手や信頼性の向上:完成度の高い自動化ソフトウエ アにより、Teneoは信頼性が高く、 より確かな実験が簡単に 行えます。 柔軟な装置構成:自由度の高い装置構成により、簡単に必 要な高機能システムへと構築が可能。 短時間でデータを取得 FEI Teneoの核心は新開発の電子検出にあります。インレンズ FEI Trinity検出器技術は、全ての信号を同時に取り込み、時 間を節約しながら、明らかに異なるコントラストの全てのデ ータ収集を可能とします。さらにレンズ直下に配置される同 心円型の反射電子検出器により、角度限定の信号を効果的 に得ることができ、簡単にマテリアルとトポグラフィックのコ ントラストを区別することができます。これは20eVの照射電 子においても取得可能です。 時間の効率化 Teneoは、操作性に優れており、最適なイメージング、および 分析条件に到達するための装置調整に要する時間を短縮す ることが出来ます。FEIのNICol™ 電子カラムは特に使い勝手 や自由度に重きを置きデザインされています。完全な自動カ ラムアライメントにより、オペレーターの調整の負担は極限に まで軽減され、事前に最適化された電界放射型電子銃(FEG) の搭載により機械アライメントは排除されました。さら に、FEI Teneoは、ユーザーガイダンスが利用可能になり、経 験の浅いユーザーでも簡単に高効率で作業できます。 加えて、 「undo」 や 「redo」 のような機能により、より安心 して実験を進行させることができます。 ステージは110mmステージが採用されており、90度の試料 傾斜と長いビーム交点に特徴があり、自由度があります。FEI Teneoは、様々な形態の試料が挿入可能な上に、多方向から の観察が可能で、同時にエネルギー分散型X線スペクトル (EDS)信号の取得も可能です。 タングステン フィラメントの表面の低加速SEM像 チャンバー ·· 左右サイズ:379㎜ ·· 分析用ワーキングディスタンス:10mm ·· ポート:21 ·· EDS 取り出し角:35° 検出器 ·· Trinity検出器システム (インレンズ、インカラム) -- T1 分割下部インレンズ検出器 -- T2 分割上部インレンズ検出器 -- T3 リトラクタブル型 インカラム検出器* -- 4信号同時取得 ·· ET SE検出器 ·· DBSリトラクタブル/セグメント型BSE検出器* ·· STEMリトラクタブル/セグメント型検出器 (BF,DF,HADF,HAAADF)* NICol UHR ノン・イマージョンFESEMカラム (高分解能電界放出型SEMカラムを有する) ·· 高安定ショットキー電子銃 ·· 寿命 12カ月 ·· 電子銃の設置、およびメンテナンスには手間を要しません -自動ベークアウト、自動スタート、無機械的アライメント ·· IR-CCD ·· Nav-Cam™チャンバーマウント型カメラ* 真空システム ·· 完全オイルフリー真空システム ·· 1×220 l/s TMP ·· 加熱型自動絞り ·· 1×PVP scroll ·· ビーム電流の制御、および最適な絞り選択 ·· 2×IGP ·· 2重ステージ走査偏向 ·· チャンバー真空度(高真空)<6.3×10 -6mbar 72時間真空引 き後 ·· 60°対物レンズ ジオメトリー ·· ビーム電流範囲:1pA-400nA ·· ランディングエネルギー範囲:20eV-30keV* ·· 加速電圧範囲:200eV-30keV ·· ユーザーガイダンス、およびカラム・プリセット機能 SEM分解能 (最適なワーキングディスタンス) ·· 高真空イメージング (最適なWD) ·· 0.8nm (30keV) STEM ·· 1.0nm (15keV) ·· 1.4nm (1keV) ステージおよび試料 ·· 最大水平幅:4mm (4方向において ×30倍の最小倍率に対応) ·· 標準ナビゲーションモンタージュを介して広角(×1倍) が可能 ·· 試料室真空引き時間:3.5分以下 ·· 低真空モード* 試料ホルダー ·· 直接ステージに18個の12mmスタブが搭載可能、また断面 観察用に3つのピンスタブを搭載可能。さらに2つのローバ ーホルダーをSTEM観察用に搭載可能(38度と90度)。さら にスプリングクランプによる断面試料固定も可能 ·· 6個TEMグリッド乗せローバー* ·· ウエーハ用やカスタムホルダー* ソフトウエア ·· ”Beam per view”型GUI(グラフィカルユーザーインター フェース)、4つまで同時スキャン可能 ·· イメージ重ね加工 ·· ナビゲーションモンタージュ ·· イメージ分析ソフトウエア ·· Undo/Redo機能 ·· デュアルビーム操作/応用のためのユーザーガイダンス 2 FEI Explore. Discover. Resolve. STAGE SPECIFICATIONS タイプ ユーセントリックゴニオメーターステージ、5軸モーター駆動 XY 110 × 110 mm 再現性 <2.0μm (0度傾斜時) Zのモーター駆動 65 mm 回転 n × 360° 傾斜 –15° / +90° 最大試料傾斜 85mmのクリアランス(ユーセントリック位置まで) 最大試料重量 500g(どんな位置においても)、0度傾斜における最大重量2kg 最大試料サイズ 150mm(フル回転)、回転限定で大きな試料挿入可 *オプション イメージプロセッサー ·· ドウェルタイム:0.025-25000μs/pixel ·· FEIガスインジェクション:最大2ユニットまで (他のオプションにより限定される場合あり) -- プラチナ ·· 最大画素数 6144×4096 -- タングステン ·· ファイル保存形式(8,16,24ビット)、 BMPもしくはJPEGが標準 -- カーボン ·· マニピュレーター ·· 1画面、もしくは4分割画面ディスプレイ ·· クライオステージ ·· SmartSCAN™(256フレームの平均、または積算、 ライン積算、積算、インターレーススキャン) ·· 電気特性用プローブ ·· DCFI(ドリフト補正イメージ積算) ·· イメージ登録 システム制御 ·· Windows7による64ビットGUI、キーボード、 マウス ·· ”Beam per view”型GUI(グラフィカルユーザー インターフェース)、4つまで同時検出可能 ·· 24インチLCDディスプレイ、 WUXGA 1920×1200(セカンドモニターオプション) ソフトウエアオプション ·· MAPS™:広域観察やイメージ相関用の自動画像取得 ·· Webを利用したデータ保管ソフトウエア ·· イメージ処理ソフトウエア 付属文書とサポート ·· オンラインユーザーガイダンス ·· 操作マニュアル ·· オンラインヘルプ ·· ジョイスティック(オプション) ·· RAPID™(遠隔診断サポート) ·· 多機能制御パネル(オプション) ·· 自由にアクセス可能な `FEI for Owners' アクセサリー(オプション) ·· 試料/チャンバークリーニング: FEIクライオクリーナー、 搭載型FEIプラズマクリーナー 保障とトレーニング ·· 保障期間1年 ·· 分析:EDS,EBSD,WDS,CL ·· QuickLoader™:短時間試料挿入用ロードロック ·· ナビゲーション: Nav-Cam、相関ナビ、MAPSタイリング、 スティッチング ·· サービスメンテナンス契約 ·· 操作、アプリケーショントレーニング 消耗品(一部) ·· 交換用ショットキー電子銃 Explore. Discover. Resolve. FEI 3 ·· 最小ドア幅:幅90m×高さ1.9m 設置条件 (詳細は設置仕様書参照) ·· 重量:980kg ·· 電源 ·· コンプレッサー圧 4-6bar(オイルフリー) -- 電圧200V AC(-6%、+10%) ·· ドライ窒素 -- 周波数 50または60Hz(±1%) ·· 音響:設置環境測定必要 -- 消費電力:3.0kVA以下 ·· 床振動:設置環境測定必要 ·· アース:0.1Ω以下 ·· 除振台(オプション) ·· 環境 -- 温度20℃±3℃ -- 湿度80%RH以下 -- 磁場40nT以下 50Hzもしくは60Hzに対しては300nT以下 1220mm 1368mm 3808mm 1220mm 5030mm 1220mm World Headquarters Phone +1 503 726 7500 FEI Europe Phone +31 40 23 56000 1700mm FEI Japan Phone +81 3 3740 0970 890mm FEI Asia Phone +65 6272 0050 1220mm FEI Australia Phone +61 2 6173 6200 For current certifications, please visit FEI.com/certifications ©2015. We are constantly improving the performance of our products—all specifications are subject to change without notice. FEI, the FEI logo, MAPS, Nav-Cam, NiCol, QuickLoader, RAPID, SmartSCAN, Teneo, and Trinity are trademarks of FEI Company or its affiliates. All other trademarks belong to their respective owners. DS0180-07-2015-JP Learn more at FEI.com [email protected]
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