検査成績書.pdf

成　績　書
年月日
株式会社コトブキ
総合判定：合格
顧客名
製品名
実施日
◎ ステージ送り精度
管理№
ニコン製
投影機
年　月　日
単位：μm
型式 10X6 型 №
1411011
V-12BDC 型 № 2000841
検査員
【規格：4+L/25μm】
2003124
20
30
40
50
60
測定点（㎜） 10
-1
-2
-3
-2
-1
Ｘ軸（誤差） 0
0
-1
-1
0
0
Ｙ軸（誤差） 0
測定点（㎜） 140 150 160 170 180 190
0
0
0
-1
1
Ｘ軸（誤差） 0
1
1
Ｙ軸（誤差）
(最大測定点 X: 250mm Y: 150mm）
対物レンズ 20×
70
0
0
200
2
80
0
0
210
2
90
1
0
220
0
100
2
0
230
0
№ 52472
110
2
0
240
2
120
0
1
250
1
130
0
0
※誤差＝（測定値）－（基準値）
◎ ステージ直角度
【規格：：5μｍ以内】
3 μm
◎ 上下動部直角度
【規格：：10μｍ/10ｍｍ以内】
2 μm
（備　考）
スクリーン偏心
0.01mm
対物レンズ
10×
№ 52180
回転テーブルD
№ 1004142
印

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