Fluotemp 光ファイバー温度計 FluoTemp 光ファイバー温度計 FluoTemp FluoTempはLEDと光ファイバーを使用した光学式温度計です。 プローブには導電体が含まれていませんので強磁場環境や強電場環境など 特殊な環境下で使用することが出来ます。 また、 応答速度も高速のため半導体製造工程などの温度管理に適しています。 使用例 ■ 各測定方式の比較表 種類 測定温度範囲 測定精度 応答時間 耐磁 光ファイバー ⃝ ◎ ◎ ⃝ 熱電対 ◎ 白金測温抵抗体 ○ ◎ サーミスタ △ △ ● 半導体製造工程での温度管理 （エッチング、プラズマ装置） ● 強磁場環境での使用 （MRI、ハイパーサーミア） ● 強電場環境での使用 （変圧器内） ● その他特殊環境に対応可 （放射線環境など） 測定方法 温度センサープローブ コンバーター 携帯型 組み込み型 光ファイバー OR 強磁場環境やその他特殊環境 RS-232/RS-485 4-20mA Output OR PC PLC デジタル出力 （ソフトウェア）出力 測定原理 ■ 測定原理 ミラー LED フィルター LED信号 光ファイバー ブローブ 光検出器 蛍光信号 蛍光体 アナログ出力 ○ △ 光ファイバー温度計 コンバーター仕様 16.5 46.0 型番 FTC-DIN-HT-GT ST-GT 測定温度範囲 -80 ºC ∼ +450 ºC -80 ºC ∼ +350 ºC 測定周期 30 Hz 30 Hz 分解能 0.01 ºC 0.01 ºC 入力電圧 12 V ∼ 24 VDC +/-5 % 12 V ∼ 24 VDC +/-5 % アナログ出力 4 - 20 mA resolution 16 bit 4 - 20 mA resolution 16 bit デジタルインターフェース RS-232 19200 bps 8N1 Via ACA-001B RS-485 Modbus 19200 bps 8N1 Via BUS Terminal 標準仕様 6.0 97.5 11.6 22.5 標準仕様 電気仕様 114.0 77.3 5.5 電気仕様 環境特性 64.5 1.9 動作温度 -20 ºC ∼ +60 ºC 外形寸法 115 mm x 99 mm x 22.5 mm 110 mm x 68 mm x 26 mm プローブコネクタ ST(SMA) ST(SMA) 設置方式 35 mm DIN Rail (35 x 7.5 mm) 35 mm DIN Rail (35 x 7.5 mm) 環境規制 RoHS RoHS 6.0 -20 ºC ∼ +50 ºC 機能 22.5 99.2 9.7 環境特性 111.4 機能 81.4 4.1 [mm] プローブ仕様 標準タイプ[NY1] 温度範囲：-30℃∼80℃ 細径タイプ[NY2] 温度範囲：-20℃∼80℃ 組み込み用[CON1] 温度範囲：-20℃∼80℃ テフロン(PFA)耐薬品タイプ[TF4] 温度範囲：-40℃∼200℃ 高速タイプ[LPIM] 温度範囲：-40℃∼200℃ 組み込み用[CON2] 温度範囲：-20℃∼80℃ シリーズ 型式 温度範囲（℃） ノーマル NY1 ノーマル NY2 測定精度[ ℃]* センサー外径（mm） 材質 BA HA SC -30∼80 0.3 0.2 0.1 2.3 ナイロン -20∼80 0.5 0.3 0.1 1 ポリエチレン ノーマル TF4 -40∼200 1 0.5 0.3 1.1 テフロン （PFA） 研究開発用 LNY2 10∼60 - 0.2 0.1 1 ポリエチレン 研究開発用 TZ1 -40∼150 0.1 0.5 0.3 2.3 ETFE 研究開発用 LPIM 10∼60 - 0.5 0.3 0.4 ポリイミド 組み込み用 GENCON 0∼150 0.5 0.3 - 3 PEEK、銅 ※ BA:基本的精度 HA:高精度（プローブ毎に校正証明書を発行します。 ） SC:超高精度（プローブとコンバーターをセットで校正を行います。 入れ替えは出来ません。 ） 実用例1 静電チャック工程での温度管理 支持構造 一般的な静電チャックでの プローブデザイン 加熱/冷却ゾーン ネジ切りナット チャック表面 ファイバー ばね仕掛のプローブ部分 実用例2 実用例3 MRI検査において、 変電設備など高電場の 撮 像中の人体の局所 環境下において、ホット の発熱の検出をする事 スポット（異常湿度）の が出来ます。 検出を行うことにより、 設備の故障を未然にふ せぐ事が出来ます。 携帯型温度計 PalmSense 2 〒101- 0041 東京都千代田区神田須田町1- 2 TEL : 03 - 3258 -1238（代）FAX : 03 - 3258 - 5689 URL : www.klv.co.jp E-mail : [email protected] ご注意 ● 正しく安全にお使いいただくために、 ご使用の前に必ず「取扱説明書」 をお読みください。 ● 製品改良のため、仕様・デザインは予告なく変更する場合がございます。 ● 製品の色は印刷物ですので、実際の色と異なる場合がございます。 ● このカタログの記載内容は、改良のため予告なく変更する場合がございますので、 ご了承ください。 ■代理店
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