印刷用PDFはこちら - 大阪府立産業技術総合研究所

産技研ご利用推進月間事業
テーマ別機器見学・実演会
薄膜・電子デバイス
制御・電子材料科担当装置のご紹介
制御・電⼦材料科では、真空技術や薄膜材料、半導体微細
加⼯やMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
技術やナノ・マイクロデバイス、電⼦システムや制御・メカトロニク
スなどを担当しております。
本機器⾒学・実演会では薄膜作製と評価を中⼼にした装置
についてご紹介させていただきます。当科業務をご理解いただく
⼤変良い機会と思っております。多数の皆様のご参加をお待ち
申し上げます。
（⽊）
2/5
13:20~16:30
■⾒学・実演機器
1. 半導体デバイス製造⽤スパッタ装置：⾦属、酸化物、窒化物等の薄膜を作製することができる装置です。
2. 強誘電体特性評価装置：PZT等の圧電体材料の分極特性等が電気的に測定できます。
3. 触針式膜厚測定装置：試料表⾯に針状の先端を接触させて⾛査し、段差などを調べます。
4. 薄膜⽤スクラッチ試験機：マイクロスクラッチ法で、感度良く薄膜の密着性を評価します。
5. レーザ描画装置：フォトマスク作製やマスクレスリソグラフィに使⽤します。
6. ホール効果測定装置：薄膜等の電気特性(⽐抵抗、キャリア密度、ホール移動度)を測定できます。
半導体デバイス製
造⽤スパッタ装置
はじめての⽅でも
ご利⽤しやすく
参加者
特典
触針式膜厚
測定装置
ホール効果
測定装置
開放機器･設備のご利⽤時の「指導料」を⾒学会への参加後、
１ヵ⽉間に限り２時間分（＝１万円分）無料といたします。
（指導料：装置の使い⽅等の説明が必要な場合に発⽣する料⾦）
すべての機器が
対象です！
◆⽇時：平成27年2⽉5⽇（⽊） 13時20分〜16時30分 (和泉中央駅13:00発のバスで間に合います)
◆場所：地⽅独⽴⾏政法⼈⼤阪府⽴産業技術総合研究所
※当⽇は、本館2階研修室(4)に直接お越し下さい。研修室(4)の前にて受付を⾏います。講習開始時刻までに受付をおすませください。
◆定員：30名（1社2名まで）（受講票は発⾏しません。返信で受付をお知らせします。）
※受講にはTRIカードが必要です。まだお持ちでない⽅は、返信のご連絡の際、申し込み⽅法をご連絡いたします。
◆受講料：無料
◆申込先：（地独）⼤阪府⽴産業技術総合研究所顧客サービス室顧客サービス課（TEL：0725-51-2518）
※ お申し込みはメール（[email protected]）またはFAX（0725-51-2509）でお願いします。
メールでお申し込みを頂いた⽅には、当研究所の関連情報をご案内する「産技研ダイレクトメールニュース」を配信させていただきますので、ご了承下さい。

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