野瀬正照教授表面制御工学、薄膜材料

科学研究費受託研究表面制御工学
薄膜材料
粉末冶金
野瀬　正照
のせ・まさてる教授
Nose, Masateru
研究テーマ
「ナノコンポジット硬質保護膜」
「量子ドット増感型太陽電池膜」
「酸化による自己組織化メカニズムの解明」
「差動排気同時成膜装置の開発」
現在の研究課題・概要
1．「硬質薄膜の作製と特性評価に関する研究」
対向ターゲット式スパッタ装置を用い、ナノメートルサイズの微細な遷移金属（Ti、Cr など）窒化物粒子からなる
各種ナノコンポジット膜を創製し、機械工具や金型などの被服膜あるいは装飾用保護膜（美しさと硬さを兼ね備え
た膜）として使えるような機械的性質や耐酸化性に優れた膜の研究を進めている。
2．「粉末金属の焼結と構造変化に関する研究」
放電プラズマ焼結法を用いた Al 合金、複合セラミックスなどの難焼結材料の焼結に関する研究を行っている。
論文
現在までに和文・欧文を合わせて 60 以上の論文・著書があるが、その内最近のものは下記のとおり。
1．薄膜・表面改質膜関係：
[1] “Influence of Target Material on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Coatings Prepared by r.f.reactive Sputtering”, M. Nose, Y. Deguchi, E. Honbo,W.A. Chiou, T.Mae and K.Nogi, Materials Transactions,
Vol.46, No.8（2005）, pp.1911-1917�
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[2] “Influence of nitrogen on the structure and mechanical properties of r.f.-sputtered Cr-B-N thin films “, M. Zhou, M. Nose and K. Nogi :, Surface and Coatings Technology,
183,（2004）, pp45-50、　[3]「反応スパッタ法による Ti-Al-Si-N ナノコンポジット膜の作製」、野瀬正照、鈴木宏章，
奥村善雄、本保栄治、前健彦、穴田博、野城清、粉体粉末冶金協会誌、Vol.51（2004）、p.802 ～ p.807、　[4]「反
応スパッタ法により作製した Ti-Al-Si-N ナノコンポジット膜の特性」、野瀬正照、鈴木宏章、奥村善雄、本保栄治、
教員プロフィール 01
前健彦、穴田博、野城清、粉体粉末冶金協会誌、Vol.51（2004）、p.808 ～ p.8014�
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[5] “Influence of sputtering condition on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering”:
M. Nose, Y. Deguchi, T. Mae, E. Honbo, T. Nagae and K. Nogi, Surface and Coatings Technology, 174-175,
（2003）, pp.261-266�
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[6] ”Influence of sputtering conditions on microstructure
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and mechanical
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properties of Zr-Si-N films prepared by radio-frequency-reactive sputtering”: M. Zhou, M. Nose, Y. Deguchi, T. Mae
and K. Nogi, Journal of Vacuum Science and Technology A, 21（5）,（2003）, pp.1791-1795、　[7] “Structure
and properties of CrB, Cr-B-N and multilayer Cr-B/Cr-B-N films prepared by r.f. reactive sputtering”: Y. Sakamoto, M. Nose, T. Mae, E. Honbo. M. Zhou and K. Nogi, Surface and Coatings Technology, 174-175,（2003）
, pp.444-449、　[8] “Influence of sputtering condition on the microstructure and mechanical properties of
r.f.- sputtered transiion meta nitride films”: M. Nose, W. A. Chiou, Y. Deguchi, T. Mae, K. Nogi, and M. Meshii,
Proceedings of TMS 2003 spring meeting, San Diego, USA, “Electron Microscopy” edited by J. R. Weertman, M.
Fine, K. Fober, W. King and P. Liaw ,（2003）, pp.149-156、　[9] “Microstructure and mechanical properties of
Zr-Si-N films prepared by rf-reactive sputtering”: M. Nose, W.A.Chiou, M. Zhou, T. Mae and M. Meshii, Journal
of Vacuum Science and Technology A, 20（3）,（2002）, pp.823-828、　[10] “The Effect of Si Addition on
the Structure and Mechanical Properties of ZrN Thin Films Deposited by r.f.- Reactive Sputtering Method”: T.
Mae, M.Nose, M.Zhou, T.Nagae, K.Shimamura, Surface and Coatings Technology,142-144,（2001）, pp. 9549582．
2．粉末冶金関係：
[1] Microstructure and Mechanical Properties of Gas Atomized Aluminum Alloy Powder Compact　Densified
by Pulsed Current Pressure Sintering Process（T. Nagae, M. Yokota, M. Nose, S. Tomida, K. Otera, T. Kamiya,
and S. Saji, Materials Transactions,Vol.43, No.3（2002 年）p.537-543）、　[2] PCPS 法により作製された ZrN-hBN
複合セラミックスと摩擦磨耗特性（野瀬正照、鈴木宏章、長柄毅一、冨田正吾、横田勝、野城清、粉体粉末冶金
協会誌、Vol.49, No.10（2002 年）、p.915 ～ 921）
3．その他（アモルファス合金を含む）の分野：
[1] 粗大結晶粒を有する装飾性建材用 Al 合金板の結晶粒方位と光反射特性（野瀬正照、長柄毅一、横田勝、佐
治重興、林俊秀、中村恭之、日本金属学会誌、Vol.62, No.10、（1998 年）、p.887-892）
特許等
1．硬質保護膜関係：2 件出願中
2．薄膜および磁性部品関係：MIG 型磁気ヘッド（特公平 7 － 118054）、軟磁性膜の製造方法（特公平 5 －
65042）、他 8 件
3．アモルファス合金関係：鉄族元素と Zr を含む脆性が小さく熱安定性に優れる非晶質合金（特公昭 60 －
30734）、他 11 件
著書
アモルファス磁性材料とマイクロ磁気デバイスの新展開（共著、株式会社アモルファス電子デバイス研究所、1994
年）
学術賞等
第 43 回注目発明（科学技術庁）（1984 年）、粉体粉末冶金協会「研究進歩賞」（2000 年）
地域社会における活動状況
社団法人日本溶接協会・平成 15 年度第 2 回表面改質技術研究委員会依頼講演（2003 年）、第 2 回とやま産学
官交流会、ラウンドテーブルディスカッション依頼講演（富山県新世紀産業機構、富山大学、富山医科薬科大学、
教員プロフィール 02
富山県立大学等共催、2003 年）、産学官テクノプラザ富山（財団法人中部科学技術センター主催）依頼講演（2004
年）
共同研究（相談を含む）、可能な分野
1．ドライプロセス（スパッタ法やイオンプレーティングなど）による表面改質及び薄膜作製
2．装飾用保護膜の色彩分析
将来の研究構想
硬質保護膜や装飾用保護膜を中心に研究を行っているが、将来的には機能性薄膜も視野に入れて、窒化物・酸化
物などの薄膜の物性に関する研究を進めて行きたい。
講演等実施可能テーマ
「ドライプロセスによる表面保護膜の作製とその性質について」
「窒化物薄膜の作製条件と機械的性質、および光学特性・色彩との関係について」
「スパッタ法による薄膜の作製とその応用について」
野瀬　正照　のせ・まさてる
NOSE, Masateru
E-mail　[email protected]
芸術文化学部　教授（建築デザインコース担当）
大学院理工学教育部　教授（兼任）
学歴
大阪大学工学部（1975 年）卒業、同大学院工学研究科博士前期（修士）課程（1977 年）修了、工学博士（東北大学）
略歴
住友特殊金属株式会社開発企画室主任研究員及び株式会社アモルファス電子デバイス研究所主任研究員（兼務）
を経て、1994 年 4 月高岡短期大学助教授、2001 年 4 月同大学教授、2005 年 10 月富山大学教授、2012 年 4 月
兼大学院理工学教育部
学会等
日本金属学会、応用磁気学会、粉体粉末冶金協会（参事）、軽金属学会、米国真空学会
学部担当科目
工学基礎、技術開発論、造形材料（表面処理）、工学基礎実験、造形材料（金属材料２）、造形材料実験（表面処理）
教養教育担当科目（五福キャンパス）
技術と社会
大学院担当科目（理工学教育部）
表面制御工学特論、材料機能工学特別研究
教員プロフィール 03

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