MLS

磁気レングス･センサ MLS




AMRグレディント･センサ
リニア変位、移動、速度
高精度
色々なポール･チップが可能
概要
マグネット･スケール沿ってMLSセンサをスライドすることは、ポジション関数としてサインとコサイン出力を発生
することになります。満足させる結果を届ける為に、これは、ポール･ピッチの半分を越えないセンサ端とマグネ
ット･スケール表面のエア･ギャップと同じぐらいで実現されます。センサの原理は、異方性磁気抵抗効果をベー
スにしていて、信号振幅は、ほぼ磁界強度と分離します。それ故、エア･ギャップの変動は、精度において大き
な影響を及ぼしません。センサは、マグネット･グレディント磁界を検出し、均質浮遊磁界に対して、殆ど感知し
ません。
高精度の移動値は、サイン/コサイン･デコーダを使用することで実現しています。最大に得られる精度は、距
離センサ-マグネット･スケールとマグネット･スケールの精度に依存します。ポール･ピッチの1%以下の値は普
通です。
特徴
アプリケーション
 スタンダードASICによる信号評価に対して適合
するサイン/コサイン出力信号
 たいへん高精度
 エア･ギャップの変動に不感度
 高信頼性
 干渉磁界に対して低感度
Magnetic Length Sensor MLS
 リニア変位、移動、汚い環境中の速度
 ポール･ホィールを用いて、高精度角度測定
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磁気レングス･センサ MLS
センサの基礎
MLSセンサは、横方向オフセットの手段によって2つの位相シフト信号を発生する2組の磁気抵抗ホィートストン･
ブリッジで構成されています。MLSセンサは、設計のポール･ピッチに合ったポール･ストライプと一緒に協力し
ます。その上、幾つかセンサ･タイプは、センサの性能を改善させる為に1ポールより多ポールを統合します。
特性値
パラメータ
1. 動作値
最大電源電圧
最大電流(両ブリッ
ジ)
動作温度
保存温度
2. センサ仕様 (T = 25
電源電圧
ポール･ピッチ
シンボル
オフセット電圧
3. センサ仕様
振幅の温度係数
タイプ
MIN
TYP
Vcc,max
MLS1000/8
MLS2000/5000
Icc,max
Top
Tst
-40
-40
MAX
単位
10
V
5 10
mA
+85
+125
℃
℃
℃)
Vcc
*)
MLS1000
MLS2000
MLS5000 MLS8
MLS1000
MLS2000/5000
MLS8
p
抵抗 (両ブリッジ)
出力信号レンジ
条件
Rb
5
1000 2000
5000 2500
2000
1000
30000
3000 1500
40000
V
μm
4000
2000
50000
Ω
DVn/Vcc
Vn off
A, B
16
20
mV/V
A, B
-1
0
+1
mV/V
TCSV
A, C
-0.36
-0.32
-0.28
%/K
抵抗の温度係数
TCBR
A, C
+0.27
+0.32
+0.37
%/K
オフセットの温度係
TCVoff
A, C
-4
0
+4
μV/V/K
数
n = 1;2 (ブリッジ番号); 規格値の上限を越えるストレスは、デバイスに対する永久的な損傷の原因となります。
拡大された期間に対して上限値を晒すことは、デバイスの信頼性に影響を与えます。
*) 要求によって他のポール･ピッチに対応します。
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測定条件
パラメータ
シンボル
単位
条件
周囲温度
T
℃
T = 23±5℃ (特記がない限り)
電源電圧
Vcc
V
Vcc = 5 V
印可磁界
H
kA/m
A. セットアップ条件
H > 10 kA/m
B. センサ仕様(T = 25℃、360 ターン, H=25 kA/m , Vomax>0, Vomin<0)
出力信号レンジ
信号オフセット
ΔVn
/Vcc
Voff n
mV/V
ΔVn / Vcc = (Vn max – Vn min) / Vcc
mV/V
Voff n = (Vn max + Vn min) / Vcc
C. センサ仕様 (T=-25℃、+125℃)
周囲温度
T
℃
T1 = -25 ℃, T0 = +25 ℃, T2 = +125 ℃
振幅の温度係数
TCSV
%/K
抵抗の温度係数
TCBR
%/K
オフセットの温度係数
TCVoff
μV/(VK)
n = 1;2 (ブリッジ番号)
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パッケージ
HK (小型ハイブリッド)
Pin
Annotation
Name
1
Output signal
Vcos-
2
Supply voltage
Vcc
3
Ground
GND
4
Output signal
Vsin-
5
Output signal
Vsin+
6
Output signal
Vcos+
HS (スタンダード･ハイブリッド)
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ダイ･ジェオメトリ
MLS 1000 (ダイ)
MLS 2000 (ダイ)
MLS 5000/8 (ダイ)
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ピン割り当て(ダイ)
ピン
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
MLS1000
Vcc
-V1
+V1
-V1
-V2
+V2
-V2
R1
R1
R2
R2
GND
MLS2000
-V2
-V1
-V2
GND
Vcc
+V1
+V2
-
MLS5000
Vcc (bridge 2)
-V2
-V1
GND
Vcc (bridge 1)
+V1
+V2
-
MLS8
+V1
+V2
GND
Vcc
-V1
-V2
-
オーダ･コード
MLS1000
MLS2000
MLS5000
MLS8
G-MRCH-018
要求に応じる
G-MRCH-017
要求に応じる
G-MRCH-019
要求に応じる
G-MRCH-007
要求に応じる
大ハイブリッド (HS)
要求に応じる
ES
G-MRCO-012
ES
小ハイブリッド (HK)
要求に応じる
ES
G-MRCO-013
ES
ウェハー(ダイス)
*)
ウェハー(undiced)
*)
*) MOQ は1ウェハー
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磁気レングス･センサ MLS
オーダ情報
NORTH AMERICA
EUROPE
ASIA
Measurement Specialties, Inc.
1000 Lucas Way
Hampton, VA 23666
United States
Phone: +1-800-745-8008
Fax: +1-757-766-4297
Email: [email protected]
Web: www.meas-spec.com
MEAS Deutschland GmbH
Hauert 13
D-44227 Dortmund
Germany
Phone: +49-(0)231-9740-0
Fax: +49-(0)231-9740-20
Email: [email protected]
Web: www.meas-spec.com
Measurement Specialties China Ltd.
No. 26, Langshan Road
High-tech Park (North)
Nanshan District, Shenzhen 518057
China
Phone: +86-755-33305088
Fax: +86-755-33305099
Email: [email protected]
Web: www.meas-spec.com
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vary in different applications. All operating parameters must be validated for each customer application by customer’s technical experts.
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