日本発の大気圧プラズマで技術革新を！ www.plasma-factory.co.jp Keywords マルチガス ダメージフリー あらゆるガスを，プラズマ化 放電損傷，なし 温度制御 零下から高温まで １℃以内の精度で，精密制御 大気圧プラズマの 新しいキーワード 近年，高速処理，低コスト，低環境負荷などの理由で大気圧プ ラズマによる表面処理や新物質創造が注目されています。東京工業 大学沖野研究室では，沖野准教授の学生時代より20年以上にわたっ て大気圧プラズマ源開発と産業応用の研究を行っており，ダメージ フリーマルチガスプラズマをはじめとした，数々の先進的かつオ リジナルな大気圧プラズマ源を開発して参りました。 弊社は，大気圧プラズマの技術をさらにすすめ，さらに広く普 及させる事を目的として2011年7月に起業した新しいベンチャー 企業です。世界に先駆けたマルチガスプラズマ，温度制御プラズマ， ダメージフリープラズマをコア技術に据え，お客様のアプリケーショ ンに応じたオリジナルな大気圧プラズマと処理技術を提供いたし ます。 Multi-Gas Plasma マルチガスプラズマ※1 He，Ar，O2，N2，Ne，CO2，空気など，あらゆるガス 種でプラズマを生成可能です。コーティングや殺菌処理な ど，可能性が大きく広がります。 Temperature Controllable Plasma Damage-Free Plasma 温度制御プラズマ※2※3 ダメージフリープラズマ※4 世界で初めて，プラズマの温度を零下から300℃程度まで 精密に制御する技術を開発しました。熱に弱い素材や生体 へのプラズマ照射，各種の化学反応に最適な温度を実現し ます。 低温かつ放電損傷がないため，プラスチックや半導体だけ でなく，金属，繊維，紙，生体など，あらゆる処理対象物 に照射可能です。 ※1 ※2 ※3 ※4 マルチガスプラズマは，プラズマファクトリー株式会社の登録商標です。 商標登録出願中です。 温度制御プラズマは特注オプションです。 ダメージフリープラズマは，プラズマファクトリー株式会社の登録商標です。 Products 世界に誇るプラズマファクトリーの製品群 ダメージフリーマルチガスプラズマジェット PF-DFMJ01 M D ハイエンドタイプのダメージフリーマルチガスプラズ ジェット。専用設計のプラズマヘッドにより生成された プラズマジェットを，直径1mmのスポットより噴射。 高密度かつダメージフリーなプラズマを必要とするあら ゆる処理に。 ガス流量計（4本）標準装備。 マルチガスプラズマ対応 He，Ar，O2，N2，Ne，CO2，空気など，ほ とんど全てのガス種およびそれらの混合ガス でプラズマを生成可能。 小型ダメージフリーマルチガスプラズマジェット コンパクト型マルチガスプラズマヘッド PF-DFMJ02 PF-DFMJ01/02 (SH) M D ダメージフリーマルチガスプラズジェット（PFDFMJ01）の可搬型モデルです。ガス流量計（2本） 標準装備。 DF-DFMJ01/02用のコンパクト型マルチガスプラ ズマヘッドです。微小領域への照射が必要なすべて の処理に。使用目的や使用法に応じた設計変更も 可能です。 Products リニア型ダメージフリープラズマ PF-DFL D 大面積の表面処理に最適なリニア型ダメージフリープラズマ。特殊な電極 配置や電源特性により，ダメージフリーかつ高密度なプラズマを照射可能。 タッチ式操作パネルによる直感的操作でプラズマを生成可能です。ガス流 量計（４本）標準装備。 大面積処理対応プラズマヘッド 115mm，170mm，225mm，335mm，も しくは任意のプラズマスリット長を選択可能 です。 リニア型ダメージフリープラズマ（アナログモデル） マルチガスコロナプラズマ PF-DFLA PF-MCP D PF-DFL本体よりガス流量計を省略し，アナログ式 の操作系を装備した廉価版モデルです。別途ガス流 量計をご準備いただく場合や，研究用途に。 M マルチガス対応のコロナプラズマ源です。一般的 な空気プラズマでは困難な，難接着性物質への親 水化処理などに。 酸化膜還元用高出力マルチガスプラズマジェット PF-DOXJ D ハイエンドタイプのマルチガスプラズジェット。高出力 電源と専用水冷システムを備え，高速酸化膜還元を実現 します。超高速の表面処理用プラズマジェットとしても ご利用頂けます。もちろん，マルチガス対応，放電損傷 なし。 ガス流量計（4本）標準装備。 超高速酸化膜還元処理対応 PF-DFMJ01/02よりも高密度なプラズマジェットを生 成可能。より高速な処理が期待できます。さらに，水素 を混合することで，超高速な金属酸化膜還元を実現。 プラズマ処理実験のご案内 Plasma treatment test M マルチガスプラズマ対応製品 D ダメージフリープラズマ対応製品 プラズマファクトリー株式会社では，有料でのプラズマ処理実験サービスを提供させて頂いています。 弊社のプラズマ装置は，様々なガスで生成できる「マルチガス」と，放電対象に放電や熱の損傷を与え ない「ダメージフリー」がオリジナリティになります。ガス種やガス混合比を変えますと表面に対する 処理効果や殺菌効果が大きく変化します。例えば，従来の空気やアルゴンのプラズマ処理では実現でき なかった，接着性の向上が期待できます。また，弊社のプラズマ装置は，従来のバリヤ放電方式とは違 い，高密度プラズマを生成できるため，高速処理が期待できます。 弊社のプラズマ処理実験サービスでは，様々なガス混合比率，照射距離，照射時間などによる，詳細 な照射実験が可能です。弊社のプラズマ源やノウハウを駆使して御社のアプリケーションに適したプラ ズマ照射条件を探し，基礎データを収集し，装置を導入して頂くための材料にして頂く事が可能です。 弊社の専門技術者と一緒に実験して頂く形式を基本としておりますので，大気圧プラズマ照射が御社 のアプリケーションに有用かどうかをご判断頂きやすく，かつ装置導入後のノウハウを構築して頂く事 が可能です。 御社のプラズマ実験室として，大気圧プラズマ装置導入のご検討のほか，将来を見据えた大気圧プラ ズマの可能性調査や特許戦略等にご活用下さい。プラズマへの粉体導入，処理温度の調整など，様々な ご要求にも柔軟にお応えいたします。 Applications 表面クリーニング（親水化処理） 物質表面の有機物を気化除去することでクリーニングできます。清浄な表 面は親水性になり，接着性や塗装性が向上します。金属表面の親水化では 900mm/secという高速処理を実現しています。 金属酸化膜還元 金属表面の酸化膜を還元除去できます。超高密度の水素ラジカルを生成す ることにより，従来装置の14nm/secを超える93µm/secでの超高速銅酸 化膜還元に成功しました。はんだの濡れ性改善や接点の導電性向上等が期 待できます。 コーティング マルチガスプラズマでは，プラズマ中に各種の気体や液体を混合できます。 このため，真空装置を必要としない大気圧下で，連続的なコーティング処 理が期待できます。 官能基付与 マルチガスプラズマでは，プラズマ中に各種の気体や液体を高密度で混合 できます。このため，各種表面への水酸基やアミノ基などの官能基の付与 が期待できます。粉体の処理も可能です。 殺菌 プラズマ中にはラジカルなどの高活性粒子が存在し，この粒子が細菌に衝 突すると殺菌が行われます。大腸菌は10秒以内で，芽胞形成菌でも数分の プラズマ照射で99.999%以上殺菌することに成功しています。 Profile 社名 プラズマファクトリー株式会社 ! ! 所在地 ! ! 設立年月日 ! 役員 ! ! ! ! 経歴 ! ! ! ! 226-8510 横浜市緑区長津田町4259-3 東工大横浜ベンチャープラザW402 ! 2011年 7月 4日 ! 取締役会長 代表取締役社長 取締役 CTO 監査役 兵頭 藤田 沖野 上園 ! 東京工業大学沖野研究室が提案した 大気圧マルチガスダ メージフリープラズマ実用化開発とビジネス化 が，JST ASTEP本格研究開発ステージ「起業挑戦」に採択 2009年12月 ! ! 2011年 7月 4日 ! 資本金300万円でプラズマファクトリー株式会社を設立 ! ! ! ! ! ! 2011年 7月 2011年10月 2012年 5月 2014年 2月 憲治 敬太 晃俊（東京工業大学准教授） 正英 沖野研究室発ベンチャー（第2号）の称号を取得 東京工業大学発ベンチャー（第61号）の称号を取得 資本金を880万円に増資 資本金を1380万円に増資 ! 東京⼯工業⼤大学 沖野研究室 プラズマファクトリー株式会社 株式会社プラズマコンセプト東京 最先端大気圧プラズマ装置開発 大気圧プラズマの測定・評価 大気圧プラズマの医療・センシング応用 大気圧プラズマ装置販売 プラズマ照射実験サービス プラズマアプリケーション開発 新規大気圧プラズマ装置開発 プラズマ関連コンサルティング 大気圧プラズマ装置の開発および産業応用に関して，東京工業大学沖野研究室と共同研究，株式会社プラズマコンセプト東京と業務提携しています。 Access プラズマファクトリー株式会社 ! 226-‐‑‒8510 横浜市緑区⻑⾧長津⽥田町4259-‐‑‒3 東⼯工⼤大横浜ベンチャープラザW402 Phone: 045-‐‑‒983-‐‑‒8887 Fax:045-‐‑‒983-‐‑‒8889 Email: info@plasma-‐‑‒factory.co.jp URL: www.plasma-‐‑‒factory.co.jp
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