エネルギーセンサー パワー パワー パワーセンサー エネルギー測定 エネルギーメータ & MaxBlackエネルギーセンサー ● 最大平均パワー：4W ∼ 24W ISO/IEC 17025:2005 ● 波長範囲：190 nm ∼ 12 µm ● エネルギー範囲：300 nJ ∼ 2J AC-1630 ● 繰返しレート：300 ∼ 1000 pps ● 損傷閾値：500 mJ/cm2 @ 1064 nm、10 nsec ● 波長補正＆温度補正機能付 エネルギー センサー MaxBlackコーティングの全面的採用により、高損傷閾値、高繰返し、最大パワーを増大させ、高い次元でのエネルギー測定が 可能です。 仕様 カスタム エネルギー範囲 ノイズ等価エネルギー J-50MB-HE J-50MB-LE J-25MB-HE J-25MB-LE J-10MB-HE 1 mJ ∼ 2J 250 µJ ∼ 500 mJ 500 µJ ∼ 1J 25 µJ ∼ 50 mJ 10 µJ ∼ 20 mJ ∼ 600 µJ ＜33 µJ ＜8 µJ ＜16 µJ ＜1 µJ ＜0.5 µJ ＜20 nJ 50 mm 有効エリア径 25 mm 10W 最大平均パワー ビーム診断 波長分析 300 pps 最大繰返しレート 4W 15W 57 µs 最大パルス幅 10 mm 5W 24W ヒートシンク装着時 ー 17 µs 最大エネルギー密度 500 mJ/cm2 @ 1064 nm, 10 ns センサーコーティング MaxBlack ディフューザ J-10MB-LE 300 nJ 190 nm ∼ 12 µm 波長範囲 & RoHS 幅広いアプリケーション向け & & O E M Energy Max 1000 pps なし ビーム診断 校正波長 1064 nm 校正確度 ±2% エネルギーリニアリティ ±3% 2.5 m ケーブル長 コネクタタイプ J DB-25 1110573 品番 1110576 218,000円 波長分析 標準価格（税別） 1110746 218,000円 198,000円 1110743 1110843 198,000円 1110855 178,000円 178,000円 ※ダメージテストスライド（0014-4314）1 枚標準添付。 Ø 76.20 mm 16.38 mm 2 x 5.08 mm M6-6H THD Ø 50.20 mm 索 引 品名 調整可能 225.55 mm ∼ 143.00 mm J-50MB-HE & -LE 76.2 mm Ø 50.80 mm 16.54 mm 50.8 mm Ø 40.64 mm 2 x 5.84 mm M6-6H THD Aperture Plate 15.75 mm 2 x 5.08 mm M4 X 4.57 mm Aperture Plate Ø 25.25 mm Ø 10.5 mm 調整可能 200.15 mm ∼ 117.60 mm 調整可能 189.99 mm ∼ 107.44 mm 76.20 mm 50.80 mm 76.20 mm 50.80 mm 品名 品名 J-25MB-HE & -LE J-10MB-HE & -LE ※性能を維持するために、 レーザパワー／エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に１回の校正をお奨めいたします。 56 本仕様は予告なく変更される場合がございます。 ご購入時必ずご確認ください。 ・ TEL 03-5635-8680 ・ www.coherent.co.jp エネルギーセンサー パワー パワー パワーセンサー エネルギー測定 エネルギーメータ Energy Max Metalディフューズエネルギーセンサー RoHS 10 kHz高繰返し & ● 繰返しレート：10,000 pps ISO/IEC 17025:2005 ● 最大平均パワー：1W ∼ 49W ● 波長範囲：190 nm ∼ 2.1 µm & AC-1630 ● エネルギー範囲：100 nJ ∼ 1J ● 損傷閾値：500 mJ/cm2 @ 1064 nm、10 nsec ● 波長補正＆温度補正機能付 エネルギー センサー ● ディフューザ機能付メタリックコーティングで 戻り光を低減 高繰返しタイプのセンサーでは例のない大型口径を実現。最大平均パワーの増大と合わせて、高繰返しで高エネルギー測定を可 能にしました。 また、10 mm口径のJ-10MT-10KHZは100 nJの微小エネルギーを10 nJ未満の低ノイズで測定可能です。 J-50MT-10KHZ＊2 カスタム 仕様 500 µJ ∼ 1J エネルギー範囲 ノイズ等価エネルギー ＊1 J-10MT-10KHZ 50 µJ ∼ 100 mJ 100 nJ ∼ 200 µJ ＜2 µJ ＜10 nJ ＜16 µJ 190 nm ∼ 2.1 µm 波長範囲 & O E M J-25MT-10KHZ＊2 50 mm 有効エリア径 20W 最大平均パワー ビーム診断 波長分析 31W ー 1W 1.7 µs 最大パルス幅 10,000 pps 最大繰返しレート 500 mJ/cm2 @ 1064 nm, 10 ns 最大エネルギー密度 & 10 mm 10W 49W ヒートシンク装着時 25 mm センサーコーティング 50 mJ/ cm2 @ 1064 nm,10 ns Diffuse Metallic ビーム診断 ディフューザ なし 校正波長 1064 nm 校正確度 ±2% エネルギーリニアリティ ±3% 2.5 m ケーブル長 コネクタタイプ J DB-25 1110574 波長分析 品番 1110747 248,000円 標準価格（税別） 1110856 228,000円 208,000円 ※高繰返しエネルギーセンサーは、FieldMaxⅡ-TOP/Pには使用できません。 ＊1 エネルギー範囲50 µJ ∼ 100 mJも対応可能（要相談）。 ＊2 ダメージテストスライド（1129175）1枚標準添付。 ØØ76.20 mm 76.20 mm 16.38 mm 2 x 5.08 mm 16.38 mm 2 x 5.08 mm 索 引 Ø 50.80 mm M6-6H THD Ø 50.20 mm M6-6H THD Ø 50.20 mm 16.54 mm 2 x 5.84 mm M6-6H THD Aperture Plate Ø 25.25 mm 調整可能 225.55 mm 調整可能 ∼ 143.00 mm 調整可能 200.15 mm ∼ 117.60 mm 225.55 mm ∼ 143.00 mm 76.20 mm Ø 50.80 mm 76.20 mm 50.80 mm 76.2 mm 50.80 mm 50.8 mm 品名 品名 16.54 mm J-50MT-10KHZ J-25MT-10KHZ Ø 40.64 mm 2 x 5.84 mm M6-6H THD Aperture Plate 15.75 mm 2 x 5.08 mm M4 x 17.78 mm Aperture Plate Ø 25.25 mm Ø 10.5 mm 調整可能 200.15 mm ∼ 117.60 mm 調整可能 189.99 mm ∼ 107.44 mm 品名 76.20 mm 76.20 mm 50.80 mm 50.80 mm J-10MT-10KHZ ※性能を維持するために、 レーザパワー／エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に１回の校正をお奨めいたします。 58 本仕様は予告なく変更される場合がございます。 ご購入時必ずご確認ください。 ・ TEL 03-5635-8680 ・ www.coherent.co.jp エネルギーセンサー MaxUVエネルギーセンサー パワー パワー パワーセンサー エネルギー測定 エネルギーメータ Energy Max RoHS UV高損傷閾値 & ● 248 nmか193 nmで校正 ISO/IEC 17025:2005 ● 最大平均パワー：5W ∼ 43W ● エネルギー範囲：50 µJ ∼ 1J AC-1630 & ● 繰返しレート：400 pps ● 損傷閾値：520 mJ/cm2 @ 248 nm、10 nsec ● 波長範囲：190 nm ∼ 2.1 µm ● 波長補正＆温度補正機能付 エネルギー センサー UVに耐性の高いMaxUVコーティングの採用により、高い損傷閾値、長期間にわたる紫外線の露光に対する耐性と早い繰返しを 実現しました。KrFおよびArFエキシマレーザの248 nmおよび193 nmで校正されており、400 mJ/cm2 @ 193 nmという高い損傷閾値 を実現します。 エネルギー範囲 J-50MUV-248＊1 J-50MUV-193＊1 J-50MUV-193 （ディフューザなし） J-25MUV-193＊1 （ディフューザなし） （ディフューザなし） （ディフューザなし） 500 µJ ∼ 1J 125 µJ ∼ 250 mJ 125 µJ ∼ 250 mJ 50 µJ ∼ 100 mJ ＜16 µJ ＜4 µJ ＜4 µJ ＜2 µJ ノイズ等価エネルギー 190 nm ∼ 266 nm 190 nm ∼ 2.1 µm 190 nm ∼ 266 nm 190 nm ∼ 2.1 µm 波長範囲 50 mm センサー径 10W 36W 25W 520 mJ/cm2 260 mJ/cm2 ヒートシンク装着時 86 µs 最大パルス幅 18W 25 mm 10W 最大エネルギー密度 5W 43W 30W 16W 400 mJ/cm2 200 mJ/cm2 260 mJ/cm2 200 pps 最大繰返しレート & O E M 190 nm ∼ 2.1 µm 15W ビーム診断 波長分析 15W 最大平均パワー 200 mJ/cm2 & 43 µs 400 pps @ 248 nm, 10 ns @ 193 nm, 10 ns DUV なし DUV センサーコーティング @ 193 nm, 10 ns @ 248 nm, 10 ns @ 193 nm, 10 ns ビーム診断 @ 248 nm, 10 ns MaxUV ディフューザ 248 nm 校正波長 なし なし 193 nm 校正確度 ±3% エネルギーリニアリティ ±3% 248 nm 193 nm コネクタタイプ 波長分析 2.5 m ケーブル長 J DB-25 1110572 品番 258,000円 標準価格（税別） ＊1 J-25MUV-248＊1 カスタム J-50MUV-248 仕様 1146243 228,000円 1110575 258,000円 1146237 1110745 228,000円 1110741 218,000円 218,000円 ダメージテストスライド（0011-4313）1枚標準添付。 索 引 21.56 mm 2 x 5.08 mm Ø 76.20 mm Ø 50.80 mm M6-6H THD 16.54 mm 2 x 5.84 mm M6-6H THD Aperture Plate Ø 25.25 mm Ø 51.00 mm 調整可能 225.55 mm ∼ 143.00 mm 調整可能 200.15 mm ∼ 117.60 mm 76.20 mm 50.80 mm 76.20 mm 50.80 mm 品名 品名 J-50MUV-248& -193 J-25MUV-248& -193 ※性能を維持するために、 レーザパワー／エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に１回の校正をお奨めいたします。 www.coherent.co.jp ・ TEL 03-5635-8680 ・ 本仕様は予告なく変更される場合がございます。 ご購入時必ずご確認ください。 59
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