Advanced Optowave C o r p o r a t i o n ALTA series. impact through innovation. ピコ秒パルスレーザー Industrial Lasers アプリケーション 樹脂加⼯/マシニング ⾼速・⾼精度 微細加⼯ 半導体/太陽電池/ウェハースクライブ サファイアスクライブ/ドリル/ダイシング マイクロ流体デバイス パルスレーザー堆積 インジェクタノズル⽳あけ 薄膜/太陽電池ストラクチャリング ガラス溶接/内部マーキング ⾦属加⼯ セラミック微細加⼯ マイクロ-VIA ⽳あけ 医療デバイス製造 標準スペック 532 BEAM PROFILE∗ 1 Wavelength 2 Average Power 3 Pulse Repetition Rate 2 Beam Quality (M ) Circularity Beam Diameter Beam Divergence Point Stability Pulse Width (ps) 4 Pulse-to-Pulse Stability 4 Average Power Stability 5 Communication Protocol コンプライアンス: CDRH, ROHS, CE 1064 BEAM PROFILE∗ 国内総代理店 サンインスツルメント株式会社 [email protected] 03-5436-9361 特徴 & 効果 基本波、グリーン、UV波⻑ 最⼤10W 平均出⼒ ∗ ∗ ⾼品質ビーム M 2 <1.3 ⾼信頼性能設計 簡単な操作性 柔軟な出⼒オプション バーストモード対応可能 低所有コスト PS 1064-10W 1064 nm 10W 2 ± 0.2 mm <1 mrad <2% <1% PS 532-5W PS 355-3W 532 nm 5W 100 - 1000 kHz <1.3 >0.9 1.4 ± 0.2 mm <0.8 mrad 20 urad/ºC 7±2 <2% <2% RS-232 355 nm 3W 1 ± 0.2 mm <0.8 mrad <3% <2% Note: 1. Contact AOC for 266 nm wavelength. 2. Contact AOC for higher power lasers. 3. Contact AOC for high frequency. 4. Deined as standard deviation/average. 5. Contact AOC for USB II & E thernet. 105 Comac Street Ronkonkoma, NY 11779 USA www.a-optowave.com 001-631-750-6035 ナノ秒 パルス DPSS Awave シリーズ AWAVEシリーズはQスイッチナノ秒パルスTEM00モードレーザーです。 波長は1064/1053 nm, 532/527 nm, 355/351 nm, 266/261 nm,平均出力は 最大40W、繰り返し周波数レンジは1-1000kHz、パルスエネルギーは 10mJ以上まで幅広くラインアップが揃っています。生産ラインでの24時 間運転を前提に設計・製造されたレーザー装置です。ご希望のスペック での製作、またはアプリケーションに最適なレーザーをご提案すること も可能です。 ND:YVO4 / ND:YAG DUV Laser Systems Laser Models Parameters AWAVE-266 AWAVE-266 AWAVE-266 AWAVE-266 1W-6K 3W-6K 1W-20K 3W-20K Wavelength (nm) 266 1W 3W Average Power (W) 1W 3W Single Shot to 200 kHz Single Shot to ５0 kHz Pulse Repetition Rate M2 <1.2 <10ns @20K <10ns @20K <30ns @1K <30ns @1K Pulse Width (ns) <40ns @100K <40ns @100K <60ns @10K <60ns @10K >50uJ >150uJ >400uJ >600uJ Pulse Energy (uJ) ND:YV04 / ND:YAG Parameters Wavelength (nm) Average Power(W) Pulse Repetition Rate M2 Pulse Width (ns) Pulse Energy (uJ) UV Laser Systems Laser Models AWAVE-355 AWAVE-355 AWAVE-355 AWAVE-355 15W-30K ８W-１0K 12W-１0K 10W-30K 355 ８W 12W 10W 15W Single Shot to 300 kHz Single Shot to ５0 kHz <1.2 <15ns @20K <15ns @20K <30ns @１K <30ns @5K <35ns @100K <50ns @100K <60ns @10K <50ns @10K >1mJ >800uJ >400uJ >450uJ ND:YV04 / ND:YAG Green Laser Systems Parameters Wavelen gt h (nm) Average Pow e r (W) Pulse Repetition Rate M2 Pulse Width (ns) Pulse Energy (uJ) Laser Models AWAVE-532 30W-50K 532 20W 30W Single Shot to 300 kHz <1.2 <10ns @20K <20ns @20K <40ns @100K <60ns @100K >400uJ >1mJ AWAVE-532 15W-50K AWAVE-532 15W-20K 15W Single Shot to 50 kHz <30ns @1K <70ns @10K >4mJ
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