分析機能付き各種電子顕微鏡の機能比較 2014.9.1 現在 電子銃 熱電子/ 熱電界 放射 X線分光 XEDS （検出立 体角度） 電子エネル ギー分光 EELS / GIF*⁴ STEM （最小プ ローブ径） HAADFSTEM ABF-STEM 3D トモグ ラフィ TEG 熱電子 放射型 LaB6 SDD*³ (0.07 sr) 有り ( 1.6 nm) なし なし 可能 ◎ △ 超高圧電顕 JEM-1300NEF ◎ （そのまま 撮れる） 収差補正電顕 JEM-ARM200F T-FEG *¹ SDD*³ (0.8 sr) GIF 有り ( 0.2 nm) 可能 可能 ◎ 不可 × 可能 ○ 有り ◎ 広電圧超高感度 原子分解能電顕 JEM-ARM200CF C-FEG *² SDD*³ (2.0 sr) GIF 有り ( 0.1 nm) 可能 可能 ◎ 不可 × 可能 ○ 有り ◎ ３次元観察用 電子分光型電顕 JEM-3200FSK T-FEG *¹ Si(Li) (0.22 sr) 有り ( 4 nm) 不可 × 可能 △ 可能 ◎ 可能 ○ 有り ○ ローレンツ電顕 TECNAI G2-F20 T-FEG *¹ Si(Li) (0.13 sr) なし 有り ( 0.3 nm) 可能 可能 △ 可能 ◎ 可能 ○ 有り ○ Si(Li) (0.13 sr) なし 有り ( 2 nm) 可能 △ （厳密な HAADF は撮れな い） 可能 △ （高分解能 の取得困難 なため実用 性はない） 可能 ○ 可能 ○ デジタル電顕 TECNAI G2-20 TEG 熱電子 放射型 LaB6 ○ （阻止棒 を使えば 撮れる） ナノプローブ 電子分光型電顕 JEM-2010FEF T-FEG *¹ Si(Li) (0.22 srad) 有り ( 2 nm) 可能 可能 △ 不可 × 可能 ◎ なし × 収束電 子回折 電子回折 用透過 ビーム阻 止棒*⁵ *¹ T-FEG：熱電界放射電子銃 Thermal Field Emission Gun (Schottky 型）、 *² C-FEG：冷電界放射電子銃 Cold Field Emission Gun *³ SDD：Si ドリフト型（液体窒素冷却不要)、*⁴ GIF：扇形電磁石外付け型 (Gatan Imaging Filter) *⁵ 透過ビームストッパーをうまく利用すれば、スロースキャンCCDで電子回折パターンの観察・撮影可能 電子顕微鏡一覧
© Copyright 2024 ExpyDoc
