各種電顕の性能・機能一覧 加速電圧 最低- 最高 (kV) 超高圧電顕 JEM-1300NEF 400-1300 TEG:LaB6 収差補正走査/ 透過電子顕微鏡 JEM-ARM200F 60,80, 120,200 T-FEG STEM 機能 HAADF -STEM 機能 × 0.12 粒子 0.10 格子 ○ ○ 0.11 粒子 0.10 格子 広電圧超高感度 30,60,80, 原子分解能電子 120,200 顕微鏡 C-FEG JEM-ARM200CF ○ ○ 0.11 粒子 0.10 格子 ３次元観察用 電子分光型電顕 JEM-3200FSK 100-300 T-FEG ○ × ローレンツ電顕 TECNAI G2-F20 100-200 T-FEG ○ デジタル電顕 TECNAI G2-20 100-200 TEG:LaB6 ナノプローブ電顕 JEM-2010FEF XEDS(mapping 機能)検出器型・ 立体角,分解能 SDD:Si, 0.07 sr ΔE 130 eV SDD:Si 0.8 sr ΔE 130 eV EELS 型 試料傾斜角 3Dトモ （度） グラフィ CCD カメラ 備 考 Ω型 X:±70 Y:±20 ○ ○ レーザーパルス 照射装置付き GIF X,Y:±25 × ○ 照射系＋結像系 二段収差補正 SDD:Si 2.0 sr ΔE 130 eV GIF X,Y:±25 × ○ 照射系＋結像系 二段収差補正 0.26 粒子 0.14 格子 SSD:Si(Li) 0.22 sr ΔE 140 eV Ω型 X:±70 Y:±30 ○ ○ SSD は液体窒素 必要 ○ 0.24 粒子 SSD:Si(Li) 0.13 sr × X:±80 Y:±30 ○ ○ 筑紫地区 ○ △ 0.24 粒子 × X:±80 Y:±25 ○ ○ SSD は液体窒素 必要 100-200 T-FEG ○ ○ 0.23 粒子 0.14 格子 Ω型 X,Y:±30 × ○ SSD は液体窒素 必要 HC補助電顕 JEM-2100HC 100-200 TEG:LaB6 × × 0.31 粒子 0.14 格子 × × X:±38 Y:±30 × × 補助電顕 JEM-2000EX 80-200 TEG:W × × 0.35 粒子 × × X:±45 Y:±30 × × 超伝導TES ΔE< 20 eV SDD 0.026 sr ΔE 130 eV × T:-3～70 R:360 × ○ マイクロカロリ メーター分析SEM 0.1-30 SI I-TES T-FEG +Zeiss ULTRA55 ○ TEM像分 解能(nm) 2014.9.1 現在 (1000 kV) 検出器４個 二次電子用:2 反射電子用:2 1.0-4.0 SEM像 SSD:Si(Li) 0.13 sr ΔE 140 eV SSD:Si(Li) 0.22 sr ΔE 140 eV SEM専用機 TES使用は液体He が必要 TEG: 熱電子放射型電子銃、T-FEG: 熱電界放射型電子銃、C-FEG:冷電界放射型電子銃, GIF: Gatan Imaging Filter（外付け型電子分光装置） SDD: Si Drift Detector （液体窒素不要）, SSD(Si(Li)): LiドープSi 半導体検出器Solid State Detector TES: Transition Edge Sensor （超伝導転移端センサー） 電子顕微鏡一覧
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