CONTOUR MEASURING INSTRUMENT MITUTOYO CO., LTD. 形状測定機 （株） ミツトヨ CONTRACER 超高精度輪郭形状測定機 6 形 状 、 座 標 測 定 機 CV-H628 ■仕様 符 ●CV-H628は、X軸（横）/Z軸（縦）の検出に狭・広範囲に優 れた超高精度レーザホロスケールを搭載した超高精度輪郭測定 機です。選択範囲全域で測定倍率に依存することなくX： 6.25nm，Z:12.5nmの高分解能で測定面を検出します。 ●操作性に優れる輪郭解析プログラムFORMPAK-1000により、 測定からプリンタ出力までの一連作業が行えます。 角度などの形状解析はもちろん、理論形状と測定データとの偏 差を評価する輪郭照合機能も標準搭載し、高解析力と高い操作 性をも両立させています。 ●X軸駆動部にはセラミックガイドを採用しています。 CV-H628 号 X軸（横方向） 200mm 測 定 範 囲 Z軸（縦方向） 25mm （0.3+0.002L）μm L＝駆動長さ（mm） X軸駆動部運動の真直度 250mm 駆 動 部 上 下 移 動 量 上 り 60° スタイラス追従角度 下 り 60° （標準付属のスタイラス） 測 定 時 0.02∼2mm/s（7段階） 駆 動 速 度 リターン時 4mm/s 30mN 測 定 力 押し/引き両方向 測 定 送 り 方 向 下向き 測 定 姿 勢 X軸（横方向） レーザホロスケール 検 出 方 式 Z軸（縦方向） レーザホロスケール X軸（横方向） 0.00625μm 分 解 能 Z軸（縦方向） 0.0125μm X軸（横方向） （0.5+0.003L）μm L＝駆動長さ（mm） 指 示 精 度 ( 2 0 ℃ ） Z軸（縦方向） ±（0.5+Ι0.02HΙ）μm H＝測定高さ（mm） AC100∼240V 電 源 150W（max） （データ処理装置は含みません） 消 費 電 力 10∼30℃ 使 用 温 度 範 囲 1130×630×1583 外 観 寸 法 本 体 部 （専用防振台含む、データ処理装置は含みません） （ W×D×H ） 本 体 部 270kg（専用防振台含む） 質 量 257
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