の薄膜 り 回 身の 光ディスク 膜 薄 る え 憶 概 要 コンピュータ用記録メディアとしての光ディスクは、光磁気ディスクと相変 化型の2タイプに大別されます。どちらの記録層にも薄膜が利用され、近 年、安価で大容量の書換え可能な記録メディアとして急成長しています。 関連商品 主な薄膜材料 CD-RW DVD-RW DVD-RAM MD-MO MOディスク 記録メディア TeFeCo系・CoCr系・SiN・Ta2O5・ Ge-Sb-Te・In-Sb-Te・ZnS・SiO2 光ディスク 原理図 光ディスク構造例 成膜方法（マグネトロンスパッタ） 印刷面 ガス導入バルブ Ar 保護層 基板電極（+） アルミ反射層 基板 上部保護層 e- Ar + Ar + e- 記録層 ターゲット電極（−） 下部保護層 直流または 高周波電源 基板 レーザー光 真空ポンプ 情報提供：芝浦メカトロニクス株式会社 の薄膜 り 回 身の 光 膜 デ 薄 ィ る スク え 憶 概 要 コンピュータ用記録メディアとしての光ディスクは、光磁気ディスクと相変 化型の2タイプに大別されます。どちらの記録層にも薄膜が利用され、近 年、安価で大容量の書換え可能な記録メディアとして急成長しています。 主な薄膜材料 関連商品 CD-RW、DVD-RW 、 DVD-RAM、MD-MO、 MOディスク、記録メディア TeFeCo系、CoCr系、SiN、Ta2O5、 Ge-Sb-Te、In-Sb-Te、ZnS、SiO2 光ディスク 原理図 光ディスク構造例 成膜方法（マグネトロンスパッタ） 印刷面 ガス導入バルブ Ar 保護層 基板電極（+） アルミ反射層 基板 上部保護層 e- Ar + Ar + e- 記録層 ターゲット電極（−） 下部保護層 直流または 高周波電源 基板 レーザー光 真空ポンプ 資料提供：芝浦メカトロニクス株式会社
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