スライド タイトルなし

誘導コイル
高周波電源
(高周波電流の磁界による
誘導電界で、電子を加速、
加熱する)
整合器
石英窓
酸素
プラズマ
処理ステージ
反応容器
加熱ヒータ
排気
排気
上下機構