NT-MDT社製SPMプローブ価格表

NT-MDT社製SPMプローブ価格表
2014.05.01
ティップ
tipless / bare
種類
数量
コーティング
15
50
Au
15
Au
50
ノンコンタクト・
※1
NSG01 (150kHz, 5.1N/m)
PtIr
15
セミコンタクト用
NSG03 (90kHz, 1.74N/m)
PtIr
50
TiN
15
NSG10 (240kHz, 11.8N/m)
(コンタクト用として
TiN
50
NSG30 (320kHz, 40N/m)
も使用できます)
tipless
15
tipless
50
bare
15
bare
50
15
50
Au
15
Au
50
PtIr
15
スタンダード
フォース
PtIr
50
FMG01 (60kHz, 3N/m)
TiN
15
プローブ
モジュレーション用
TiN
50
tipless
15
tipless
50
bare
15
bare
50
15
50
コンタクト用
Au
15
Au
50
PtIr
15
CSG01 (9.8kHz, 0.03N/m)
(ノンコンタクト用、
PtIr
50
CSG10 (22kHz, 0.11N/m)
セミコンタクト用
TiN
15
CSG30 (48kHz, 0.6N/m)
としても使用でき
TiN
50
ます)
tipless
15
tipless
50
bare
15
bare
50
MFM01 (70kHz, 3N/m)
CoCr
15
磁気プローブ
CoCr
50
MFM10 (150kHz, 5.1N/m)
5
10
NSC05 (255kHz, 11.5N/m)
ナローギャップ用プローブ
15
(窪み、壁面構造を持つサンプル用)
CSC05 (20kHz, 0.1N/m)
Pt
15
Pt
50
NSG01_DLC (150kHz, 5.1N/m)
10
高分解能プローブ
50
(ティップ曲率半径1∼3nm)
NSG10_DLC (255kHz, 11.5N/m)
15
50
VIT_P (300ｋHz、50N/ｍ)
トップビジュアルプローブ
Pt
15
Pt
25
DCP01 (150kHz, 5.5N/m)
15
ダイアモンド
50
ダイアモンド
DCP10 (255kHz, 11.5N/m)
ダイアモンドコート導電性プローブ
15
ダイアモンド
DCP20 (420kHz, 48N/m)
50
ダイアモンド
※1 表にある括弧内の数値はtypicalの共振周波数および力定数の値です。
※tiplessは先端針のないカンチレバーだけのもの、bareは裏面のAuコートがないものになります。
※より数量の多いものをご希望の際は、お問い合わせ下さい。 ※本価格は予告なく変更される場合があります。
価格 (税抜)
¥78,000
¥186,000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥78,000
¥186,000
¥78,000
¥186,000
¥78,000
¥186,000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥78,000
¥186,000
¥78,000
¥186,000
¥78,000
¥186000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥90,000
¥205,000
¥78,000
¥186000
¥78,000
¥186000
¥129,000
¥330,000
¥98,000
¥166,000
¥215,000
¥372,000
¥1,017,000
¥137,000
¥508,000
¥99,000
¥252,000
¥127,000
¥185,000
¥102,000
¥252,000
¥108,000
¥264,000
ティップ
コーティング
種類
tipless /
bare
CPC_SiO2/Au (21kHz, 0.14N/m)
CPC_BSG/Au (21kHz, 0.14N/m)
CPFM_SiO2/Au (62kHz, 1.6N/m)
ティップレス
CPFM_BSG/Au (62kHz, 1.6N/m)
プローブ
CPN_SiO2/Au (300kHz, 37N/m)
NEW
CPN_BSG/Au (300kHz, 37N/m)
コロイダル
CSG30_Bio270/Au (48kHz, 0.6N/m)
CSG30_Bio650/Au (48kHz, 0.6N/m)
プローブ
CSG30_Bio900/Au (48kHz, 0.6N/m)
FMG01_Bio270/Au (60kHz, 3N/m)
スタンダード
FMG10_Bio650/Au (60kHz, 3N/m)
プローブ
FMG10_Bio900/Au (60kHz, 3N/m)
NSG01_Bio270/Au (150kHz, 5.1N/m)
NSG01_Bio650/Au (150kHz, 5.1N/m)
NSG01_Bio900/Au (150kHz, 5.1N/m)
※表にある括弧内の数値はtypicalの共振周波数および力定数の値です。
※tiplessは先端針のないカンチレバーだけのもの、bareは裏面のAuコートがないものになります。
※より数量の多いものをご希望の際は、お問い合わせ下さい。 ※本価格は予告なく変更される場合があります。
数量
価格 (税抜)
5
¥147,000
5
¥127,000
プローブの型番について
例：NSG01/15
X/X/X
CSG/TiN/50
プローブ種類
ティップコーティング/tipless/bare
数量
NSG01 / NSG03 / NSG10 / NSG30
Au / PtIr / TiN
5 / 10 / 15 / 50 等
FM01 / CSG01 / CSG10 / HA_AC
tipless / bare
スタンダードプローブ
トップビジュアルプローブ
ナローギャップ用プローブ
ダイアモンドコート
導電性プローブ
NEW
高分解能プローブ
コロイダルプローブ
NEW
ほとんどの市販SPMに対応するSPMプローブです。
チップ裏面にAuコーティングを施し、信号強度および
化学安定性を増している他、ティップ曲率半径が
6nm(代表値)と非常に鋭く加工されており、高分解能
のデータを得ることができます。
導電性および磁気コートされたもの、ベアプローブお
よびティップレスプローブもご提供しております。
図：チップおよびカンチレバーの形状
チップ仕様
図：カンチレバーの形状
材質
単結晶シリコン、Nタイプ、0.01∼
0.025ohm-cm、アンチモニードープ
チップサイズ
3.4×1.6×0.3 mm
反射側コート
Au
ティップ仕様
形状
四面体
（ティップ先端から500nmは円筒形）
ティップ高
14∼16 µm
ティップ曲率半径
6nm (typical)、10nm (guaranteed)
ティップオフセット
5∼20µm
ティップアスペクト比
3：1 ∼ 7：1
前面角
10±2°
後面角
30±2°
側面角
18±2°
先端の円錐角
7∼10°
プローブ種類
導電性：PtIr、TiN、Au
磁気性：CoCr
利用可能なプローブ
ベア、ティップレス
※ティップコーティング無しの際の仕様です。
図：ティップの形状
カンチレバー
種類
利用可能なコーティング
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
長さ±5
(µm)
幅±3
(µm)
厚み±0.5
(µm)
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
CSG01
350
30
1
4
9.8
17
0.003
0.03
0.13
CSG10
225
30
1
8
22
39
0.01
0.11
0.5
CSG30
190
30
1.5
26
48
76
0.13
0.6
2
FMG01
225
32
2.5
40
60
96
1
3
5
NSG01
125
30
2
87
150
230
1.45
5.1
15.1
NSG10
95
30
2
140
240
390
3.1
11.8
37.6
NSG03
135
30
1.5
47
90
150
0.35
1.74
6.1
NSG30
125
40
4
240
320
440
22
40
100
10 nm
FEB ティップ仕様
図：傾斜角α
材質
carbin
アスペクト比
10：1以上
角度φ
≦10°
曲率半径
10nm (typical)
傾斜角α
20±1°、10±1°（選択）
※チップおよびティップの仕様は使用しているスタンダー
ドプローブと同じになります。
スタンダードプローブ
Whiskerプローブ
図：サンプルのSEMイメージ
黒い部分は穴に対応します。
170 nm
530 nm
左図：スタンダードプローブによるイメージ。深さは170nmまでしか到達せず。
右図： Whiskerプローブによるイメージ。深さは530nmまで達し、均一な分布を示す。
カンチレバー
種類
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
長さ±5
(µm)
幅±3
(µm)
厚み±0.3
(µm)
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
NSC05
100
35
2
190
255
325
5.5
11.5
22.5
CSC05
250
35
1
14
20
28
0.03
0.1
0.2
SPMプローブのシリコンティップ上に炭素結晶DLCを成長させ、曲率半径
1∼3 nmという非常に鋭いエスストラティップを作製し、高分解能イメージ
の取得を可能にしました。
数nmサイズの物体を高分解能で取得する場合に非常に有効です。DLC
ティップはTEMで20 nm以上の長さのものを選別しています。また、高耐
摩耗性を持つので、長い間ご使用頂けます。
仕様
図：プローブNSG01シリーズ上のDLC
tipのSEMイメージ
チップサイズ (mm)
3.4×1.6×0.4
裏面コーティング
Au
エクストラティップ材質
DLC
エクストラティップ曲率半径 (nm)
1∼3
エクストラティップ作動長 (mm)
＞ 20
カンチレバー
種類
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
長さ±5
(µm)
幅±3
(µm)
厚み±0.3
(µm)
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
NSG01_DLC
130
35
2
115
150
190
2.5
5.5
10
NSG10_DLC
100
35
2
190
255
325
5.5
11.5
22.5
本プローブは、ティップ部分がカンチレバーの先端よりも突出しており、
興味のあるポイントへの正確な位置決め、サンプルスキャンやモディ
フィケーション(ナノマニピュレーション)処理のダイレクトリアルタイム観
察用に最適です。ティップ先端の曲率半径は6nm(typical)と鋭く処理さ
れています。
TERSやTEFS、s-SNOMのようなティップ-サンプル間の光学的効果の
観察用にもご使用頂けます。
仕様
チップサイズ (mm)
3.4×1.6×0.3
裏面コーティング
なし
ティップ曲率半径 (nm)
6 (typical)、10 (guaranteed)
ティップ高さ (mm)
14∼16
※光学顕微鏡上のイメージ。
従来のプローブよりも位置決めが容易。
カンチレバー
種類
VIT_P
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
長さ±5
(µm)
幅±5
(µm)
厚み±0.3
(µm)
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
140
50
5
200
300
400
25
50
95
NEW
ティップをダイアモンドコートすることにより、高い耐久性・耐摩耗性を
備えたSPMプローブです。ダイアモンドは窒素ドープが施されており、
導電性を持ちます。
電気モードおよびナノリソグラフィー用にご使用頂けます。
仕様
チップサイズ (mm)
裏面コーティング
アスペクト比
円錐角 (°)
ティップ曲率半径 (mm)
ティップ高さ (µm)
ダイアモンドコート厚 (nm)
膜抵抗率 (Ohm*cm)
3.4×1.6×0.4
Au
3：1
≦ 22
100 (typical)
10∼15
100
0.5∼1
カンチレバー
種類
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
長さ±5
(µm)
幅±3
(µm)
厚み±0.3
(µm)
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
DCP01
130
35
2
115
150
190
2.5
5.5
10
DCP10
100
35
2
190
255
325
5.5
11.5
22.5
DCP20
90
60
2
260
420
630
28
48
91
NEW
カンチレバー先端にコロイド粒子を付着させたコロイダ
ルプローブです。粒子間、および粒子−表面間の力測
定、摩擦力や接着力の測定に有効です。コロイド粒子
の種類およびサイズを複数用意しておりますので、測定
に適したものをお選び頂けます。
仕様
チップサイズ (mm)
3.4×1.6×0.4
裏面コーティング
Au
材質
単結晶シリコン、Nタイプ
0.01∼0.025 ohm-cm
アンチモニードープ
スタンダードプローブタイプ：
シリコンティップ先端にサブミクロンサイズのコロイド粒子を付着したプローブ。
種類
CSG30_Bio270/Au
CSG30_Bio650/Au
CSG30_Bio900/Au
FMG01_Bio270/Au
FMG01_Bio650/Au
FMG01_Bio900/Au
NSG01_Bio270/Au
NSG01_Bio650/Au
NSG01_Bio900/Au
コロイド
材質
SiO2
コロイド
サイズ
(nm)
270
650
900
270
650
900
270
650
900
長さ±5
(µm)
カンチレバー
幅±3
厚み±0.5
(µm)
(µm)
共振周波数（ｋHz）
Min
Typ
力定数（N/m）
Max Min
Typ
Max
190
30
1.5
26
48
76
0.1
0.6
2
225
32
2.5
50
60
70
1
3
5
125
30
2
87
150
230
1.45
5.1
15.1
ティップレスプローブタイプ：
ティップレスプローブの先端にミクロンサイズのコロイド粒子を付着したプローブ。
種類
CPC_SiO2-A/Au
CPC_BSG-A/Au
CPC_BSG-B/Au
CPC_BSG-C/Au
CPC_BSG-D/Au
CPFM_Au-A/Au
CPFM_BSG-A/Au
CPFM_BSG-B/Au
CPFM_BSG-C/Au
CPFM_BSG-D/Au
CPN_Au-A/Au
CPN_BSG-A/Au
CPN_BSG-B/Au
CPN_BSG-C/Au
CPN_BSG-D/Au
コロイド
材質
SiO2
BSG
SiO2
BSG
SiO2
BSG
コロイド
サイズ
(µm)
A : 5∼9
A : 5∼9
B : 10∼14
C : 15∼19
D : 20∼
A : 5∼9
A : 5∼9
B : 10∼14
C : 15∼19
D : 20∼
A : 5∼9
A : 5∼9
B : 10∼14
C : 15∼19
D : 20∼
長さ±10
(µm)
カンチレバー
幅±6
厚み±0.5
(µm)
(µm)
共振周波数（ｋHz）
力定数（N/m）
Min
Typ
Max
Min
Typ
Max
225
46
1
8
21
37
0.01
0.14
0.6
225
27
2.7
43
62
81
0.6
1.6
3.7
125
30
4
200
300
400
13
37
77

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