NT-MDT社製SPMプローブ価格表 2014.05.01 ティップ tipless / bare 種類 数量 コーティング 15 50 Au 15 Au 50 ノンコンタクト・ ※1 NSG01 (150kHz, 5.1N/m) PtIr 15 セミコンタクト用 NSG03 (90kHz, 1.74N/m) PtIr 50 TiN 15 NSG10 (240kHz, 11.8N/m) (コンタクト用として TiN 50 NSG30 (320kHz, 40N/m) も使用できます) tipless 15 tipless 50 bare 15 bare 50 15 50 Au 15 Au 50 PtIr 15 スタンダード フォース PtIr 50 FMG01 (60kHz, 3N/m) TiN 15 プローブ モジュレーション用 TiN 50 tipless 15 tipless 50 bare 15 bare 50 15 50 コンタクト用 Au 15 Au 50 PtIr 15 CSG01 (9.8kHz, 0.03N/m) (ノンコンタクト用、 PtIr 50 CSG10 (22kHz, 0.11N/m) セミコンタクト用 TiN 15 CSG30 (48kHz, 0.6N/m) としても使用でき TiN 50 ます) tipless 15 tipless 50 bare 15 bare 50 MFM01 (70kHz, 3N/m) CoCr 15 磁気プローブ CoCr 50 MFM10 (150kHz, 5.1N/m) 5 10 NSC05 (255kHz, 11.5N/m) ナローギャップ用プローブ 15 (窪み、壁面構造を持つサンプル用) CSC05 (20kHz, 0.1N/m) Pt 15 Pt 50 NSG01_DLC (150kHz, 5.1N/m) 10 高分解能プローブ 50 (ティップ曲率半径1∼3nm) NSG10_DLC (255kHz, 11.5N/m) 15 50 VIT_P (300kHz、50N/m) トップビジュアルプローブ Pt 15 Pt 25 DCP01 (150kHz, 5.5N/m) 15 ダイアモンド 50 ダイアモンド DCP10 (255kHz, 11.5N/m) ダイアモンドコート導電性プローブ 15 ダイアモンド DCP20 (420kHz, 48N/m) 50 ダイアモンド ※1 表にある括弧内の数値はtypicalの共振周波数および力定数の値です。 ※tiplessは先端針のないカンチレバーだけのもの、bareは裏面のAuコートがないものになります。 ※より数量の多いものをご希望の際は、お問い合わせ下さい。 ※本価格は予告なく変更される場合があります。 価格 (税抜) ¥78,000 ¥186,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥78,000 ¥186,000 ¥78,000 ¥186,000 ¥78,000 ¥186,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥78,000 ¥186,000 ¥78,000 ¥186,000 ¥78,000 ¥186000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥90,000 ¥205,000 ¥78,000 ¥186000 ¥78,000 ¥186000 ¥129,000 ¥330,000 ¥98,000 ¥166,000 ¥215,000 ¥372,000 ¥1,017,000 ¥137,000 ¥508,000 ¥99,000 ¥252,000 ¥127,000 ¥185,000 ¥102,000 ¥252,000 ¥108,000 ¥264,000 ティップ コーティング 種類 tipless / bare CPC_SiO2/Au (21kHz, 0.14N/m) CPC_BSG/Au (21kHz, 0.14N/m) CPFM_SiO2/Au (62kHz, 1.6N/m) ティップレス CPFM_BSG/Au (62kHz, 1.6N/m) プローブ CPN_SiO2/Au (300kHz, 37N/m) NEW CPN_BSG/Au (300kHz, 37N/m) コロイダル CSG30_Bio270/Au (48kHz, 0.6N/m) CSG30_Bio650/Au (48kHz, 0.6N/m) プローブ CSG30_Bio900/Au (48kHz, 0.6N/m) FMG01_Bio270/Au (60kHz, 3N/m) スタンダード FMG10_Bio650/Au (60kHz, 3N/m) プローブ FMG10_Bio900/Au (60kHz, 3N/m) NSG01_Bio270/Au (150kHz, 5.1N/m) NSG01_Bio650/Au (150kHz, 5.1N/m) NSG01_Bio900/Au (150kHz, 5.1N/m) ※表にある括弧内の数値はtypicalの共振周波数および力定数の値です。 ※tiplessは先端針のないカンチレバーだけのもの、bareは裏面のAuコートがないものになります。 ※より数量の多いものをご希望の際は、お問い合わせ下さい。 ※本価格は予告なく変更される場合があります。 数量 価格 (税抜) 5 ¥147,000 5 ¥127,000 プローブの型番について 例:NSG01/15 X/X/X CSG/TiN/50 プローブ種類 ティップコーティング/tipless/bare 数量 NSG01 / NSG03 / NSG10 / NSG30 Au / PtIr / TiN 5 / 10 / 15 / 50 等 FM01 / CSG01 / CSG10 / HA_AC tipless / bare スタンダードプローブ トップビジュアルプローブ ナローギャップ用プローブ ダイアモンドコート 導電性プローブ NEW 高分解能プローブ コロイダルプローブ NEW ほとんどの市販SPMに対応するSPMプローブです。 チップ裏面にAuコーティングを施し、信号強度および 化学安定性を増している他、ティップ曲率半径が 6nm(代表値)と非常に鋭く加工されており、高分解能 のデータを得ることができます。 導電性および磁気コートされたもの、ベアプローブお よびティップレスプローブもご提供しております。 図:チップおよびカンチレバーの形状 チップ仕様 図:カンチレバーの形状 材質 単結晶シリコン、Nタイプ、0.01∼ 0.025ohm-cm、アンチモニードープ チップサイズ 3.4×1.6×0.3 mm 反射側コート Au ティップ仕様 形状 四面体 (ティップ先端から500nmは円筒形) ティップ高 14∼16 µm ティップ曲率半径 6nm (typical)、10nm (guaranteed) ティップオフセット 5∼20µm ティップアスペクト比 3:1 ∼ 7:1 前面角 10±2° 後面角 30±2° 側面角 18±2° 先端の円錐角 7∼10° プローブ種類 導電性:PtIr、TiN、Au 磁気性:CoCr 利用可能なプローブ ベア、ティップレス ※ティップコーティング無しの際の仕様です。 図:ティップの形状 カンチレバー 種類 利用可能なコーティング 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 長さ±5 (µm) 幅±3 (µm) 厚み±0.5 (µm) Min Typ Max Min Typ Max CSG01 350 30 1 4 9.8 17 0.003 0.03 0.13 CSG10 225 30 1 8 22 39 0.01 0.11 0.5 CSG30 190 30 1.5 26 48 76 0.13 0.6 2 FMG01 225 32 2.5 40 60 96 1 3 5 NSG01 125 30 2 87 150 230 1.45 5.1 15.1 NSG10 95 30 2 140 240 390 3.1 11.8 37.6 NSG03 135 30 1.5 47 90 150 0.35 1.74 6.1 NSG30 125 40 4 240 320 440 22 40 100 10 nm FEB ティップ仕様 図:傾斜角α 材質 carbin アスペクト比 10:1以上 角度φ ≦10° 曲率半径 10nm (typical) 傾斜角α 20±1°、10±1°(選択) ※チップおよびティップの仕様は使用しているスタンダー ドプローブと同じになります。 スタンダードプローブ Whiskerプローブ 図:サンプルのSEMイメージ 黒い部分は穴に対応します。 170 nm 530 nm 左図 : スタンダードプローブによるイメージ。深さは170nmまでしか到達せず。 右図 : Whiskerプローブによるイメージ。深さは530nmまで達し、均一な分布を示す。 カンチレバー 種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 長さ±5 (µm) 幅±3 (µm) 厚み±0.3 (µm) Min Typ Max Min Typ Max NSC05 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 CSC05 250 35 1 14 20 28 0.03 0.1 0.2 SPMプローブのシリコンティップ上に炭素結晶DLCを成長させ、曲率半径 1∼3 nmという非常に鋭いエスストラティップを作製し、高分解能イメージ の取得を可能にしました。 数nmサイズの物体を高分解能で取得する場合に非常に有効です。DLC ティップはTEMで20 nm以上の長さのものを選別しています。 また、高耐 摩耗性を持つので、長い間ご使用頂けます。 仕様 図:プローブNSG01シリーズ上のDLC tipのSEMイメージ チップサイズ (mm) 3.4×1.6×0.4 裏面コーティング Au エクストラティップ材質 DLC エクストラティップ曲率半径 (nm) 1∼3 エクストラティップ作動長 (mm) > 20 カンチレバー 種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 長さ±5 (µm) 幅±3 (µm) 厚み±0.3 (µm) Min Typ Max Min Typ Max NSG01_DLC 130 35 2 115 150 190 2.5 5.5 10 NSG10_DLC 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 本プローブは、ティップ部分がカンチレバーの先端よりも突出しており、 興味のあるポイントへの正確な位置決め、サンプルスキャンやモディ フィケーション(ナノマニピュレーション)処理のダイレクトリアルタイム観 察用に最適です。ティップ先端の曲率半径は6nm(typical)と鋭く処理さ れています。 TERSやTEFS、s-SNOMのようなティップ-サンプル間の光学的効果の 観察用にもご使用頂けます。 仕様 チップサイズ (mm) 3.4×1.6×0.3 裏面コーティング なし ティップ曲率半径 (nm) 6 (typical)、10 (guaranteed) ティップ高さ (mm) 14∼16 ※光学顕微鏡上のイメージ。 従来のプローブよりも位置決めが容易。 カンチレバー 種類 VIT_P 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 長さ±5 (µm) 幅±5 (µm) 厚み±0.3 (µm) Min Typ Max Min Typ Max 140 50 5 200 300 400 25 50 95 NEW ティップをダイアモンドコートすることにより、高い耐久性・耐摩耗性を 備えたSPMプローブです。ダイアモンドは窒素ドープが施されており、 導電性を持ちます。 電気モードおよびナノリソグラフィー用にご使用頂けます。 仕様 チップサイズ (mm) 裏面コーティング アスペクト比 円錐角 (°) ティップ曲率半径 (mm) ティップ高さ (µm) ダイアモンドコート厚 (nm) 膜抵抗率 (Ohm*cm) 3.4×1.6×0.4 Au 3:1 ≦ 22 100 (typical) 10∼15 100 0.5∼1 カンチレバー 種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 長さ±5 (µm) 幅±3 (µm) 厚み±0.3 (µm) Min Typ Max Min Typ Max DCP01 130 35 2 115 150 190 2.5 5.5 10 DCP10 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 DCP20 90 60 2 260 420 630 28 48 91 NEW カンチレバー先端にコロイド粒子を付着させたコロイダ ルプローブです。粒子間、および粒子−表面間の力測 定、摩擦力や接着力の測定に有効です。コロイド粒子 の種類およびサイズを複数用意しておりますので、測定 に適したものをお選び頂けます。 仕様 チップサイズ (mm) 3.4×1.6×0.4 裏面コーティング Au 材質 単結晶シリコン、Nタイプ 0.01∼0.025 ohm-cm アンチモニードープ スタンダードプローブタイプ: シリコンティップ先端にサブミクロンサイズのコロイド粒子を付着したプローブ。 種類 CSG30_Bio270/Au CSG30_Bio650/Au CSG30_Bio900/Au FMG01_Bio270/Au FMG01_Bio650/Au FMG01_Bio900/Au NSG01_Bio270/Au NSG01_Bio650/Au NSG01_Bio900/Au コロイド 材質 SiO2 コロイド サイズ (nm) 270 650 900 270 650 900 270 650 900 長さ±5 (µm) カンチレバー 幅±3 厚み±0.5 (µm) (µm) 共振周波数(kHz) Min Typ 力定数(N/m) Max Min Typ Max 190 30 1.5 26 48 76 0.1 0.6 2 225 32 2.5 50 60 70 1 3 5 125 30 2 87 150 230 1.45 5.1 15.1 ティップレスプローブタイプ: ティップレスプローブの先端にミクロンサイズのコロイド粒子を付着したプローブ。 種類 CPC_SiO2-A/Au CPC_BSG-A/Au CPC_BSG-B/Au CPC_BSG-C/Au CPC_BSG-D/Au CPFM_Au-A/Au CPFM_BSG-A/Au CPFM_BSG-B/Au CPFM_BSG-C/Au CPFM_BSG-D/Au CPN_Au-A/Au CPN_BSG-A/Au CPN_BSG-B/Au CPN_BSG-C/Au CPN_BSG-D/Au コロイド 材質 SiO2 BSG SiO2 BSG SiO2 BSG コロイド サイズ (µm) A : 5∼9 A : 5∼9 B : 10∼14 C : 15∼19 D : 20∼ A : 5∼9 A : 5∼9 B : 10∼14 C : 15∼19 D : 20∼ A : 5∼9 A : 5∼9 B : 10∼14 C : 15∼19 D : 20∼ 長さ±10 (µm) カンチレバー 幅±6 厚み±0.5 (µm) (µm) 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) Min Typ Max Min Typ Max 225 46 1 8 21 37 0.01 0.14 0.6 225 27 2.7 43 62 81 0.6 1.6 3.7 125 30 4 200 300 400 13 37 77
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