カタログ製品リスト （ナノインプリント用モールド・スケール・Ｘ線光学部品・メンブレン） 1/2 ■ナノインプリント用モールド タイプ 標準タイプ 高解像タイプ 極微細タイプ 単一タイプ Ni電鋳モールド マイクロレンズアレイ 反射防止体パタン 型式 材質 パタン種 ライン、ドット、 ホール（混載） NIM-PH350 石英 NIM-PHL45 石英 ライン凹 石英 石英 石英 石英 Si Si Si Si Si 石英 石英 石英 石英 石英 Si Si Si Si Ni電鋳 石英 石英 Si Si ライン凹 ホール凹 ドット凸 ライン凸 ライン凹 ドット凸 ホール凹 ライン凸 ライン凸 ライン凹 ホール凹 ドット凸 ライン凹 ライン凹 ライン凹 ホール凹 ドット凸 ライン凹 ライン凸 凹型 凹型 円錐状、凸型 円錐状、凸型 NIM-PHL80 NIM-PHH100 NIM-100D RESO NIM-100L RESO凸 NIM-80L RESO (Si) NIM-100D RESO (Si) NIM-100H RESO (Si) NIM-100L RESO凸 (Si) NIM-25L/100 NIM-100UL NIM-100UH NIM-100UD NIM-150UL NIM-1000UL NIM-100UL (Si) NIM-100UH (Si) NIM-100UD (Si) NIM-150UL (Si) NIM-100L RESO （Ni） MLA-P20S08 MLA-P01S003 MES-P270H350 MES-P270H350/C 2014年8月 パタン寸法（Duty比）等 ライン：350nm～10µm／10水準、ホール・ドット： 500nm ～10µm／8水準、（1:1、1:2、1:5） 基板外形等 高さ（深さ） 350nm 外形： 10mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 9mm□ 45、60、80、100nm／4水準（1:1、1:5） 100nm 外形： 10mm□、厚さ： 1mm、 パタン領域： 2mmx3mm（500nmL&S(1:5） 7mm□） 80nm～3µm／11水準 （1:1、1:2、1:3、1:10） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3、1:10） 80nm～3µm／11水準 （1:1、1:2、1:3、1:10） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3） 100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3、1:10） 25nm～200nm／9水準、(1:1) 100nm（1:1) 100nm（1:1)、正方配列 100nm（1:1)、正方配列 150nm、200nm（1:1) 1、2、4、8µm／4水準、(1:1) 100nm（1:1) 100nm（1:1)、正方配列 100nm（1:1)、正方配列 150nm、200nm（1:1) 100nm～3µm／9水準（1:1、1:2、1:3、1:10） ピッチ20µm、正方配列 ピッチ1µm、正方配列 ピッチ270nm 、正三角形配列 ピッチ270nm 、正三角形配列 200nm 200nm 100nm 200nm 200nm 100nm 200nm 200nm 100nm 200nm 200nm 100nm 200nm 1µm 200nm 200nm 100nm 200nm 200nm 8µm 300nm 350nm 350nm パタン種・パタン寸法等 基板材質 外形： 10mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 9mm□ 外形： 10mm□、厚さ： 0.525mm、パタン領域： 2mm□ 外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、 パタン領域： 8mm□×1 (-150UL除く） 8mm□×2（-150UL） 外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 6mm□×4 外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、 パタン領域： 8mm□×1(-150UL除く） 8mm□×2（-150UL） 外形： 10mm□、厚さ： 0.3mm、パタン領域： 9mm□ 外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 10mm□ 外形： 15mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 5mm□ 外形： 100mmφ、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 15mm□ 外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 10mm□ ■測長スケール タイプ 型式 用途 AS100P-D 長さ校正、 プローブ形状 評価 AS100P-U/T 長さ校正、 プローブ形状 評価 傾斜角 90度 パタン種類： １：１ ライン＆スペース凸タイプ ライン（凸部）幅： 50nm～250nm パタン深さ： 125nm±20% パタン領域： 200µm□ 90度 パタン種類： １：１ ライン＆スペース凸タイプ ピッチ幅 ： 100nm（校正証明書添付) パタン深さ： 100nm±20% パタン領域： 250µm□ 垂直タイプ 傾斜タイプ AS200P-A 角度校正 54.7度 Si 基板外形等 外形：10mm□、厚さ：0.525mm パタン種類： 400nm、200nm、100nmライン＆スペース、400nmグリッド ライン（凸部）幅： 100nm～400nm パタン深さ ： 100nm～200nm パタン領域： 184µm□×４種 ■段差スケール 品名 段差スケール 型式 HS-05 HS-10 HS-40 名目段差 50nm 1µm 4µm 段差領域 100µm×1mm 段差チップ 材質： Si、チップサイズ： 10mm□、厚さ： 0.525mm 注意： 本表に記載された仕様等は代表値であり、保証することを意味するものではありません。 また、仕様等は製品改良のため、お断りなく変更することがありますのでご了承下さい。 一部の商品については受注生産で対応しておりますので、納期は弊社担当までお問い合わせください。 サポート基板 材質： ガラス、外形： 30mm×50mm、厚さ：3mm カタログ製品リスト （ナノインプリント用モールド・スケール・Ｘ線光学部品・メンブレン） 2/2 2014年8月 ■Ta製フレネルゾーンプレート 品名 Ta製フレネルゾーンプレート 型式 FZP-S38/84 FZP-S50/80 FZP-S40/155 FZP-S50/330 FZP-S86/416 FZP-100/155 FZP-173/208 FZP-200/206 FZP-C234/2500 最外周 パタン幅（nm) 38 50 40 50 86 100 173 200 234 直径 （µm） 84 80 155 330 416 155 208 206 2500 パタン 材質 ゾーン数 550 400 968 1650 1200 388 300 255 2670 Ｔａ膜厚 （nm) 160 250 200 400 700 800 1000 1600 150 Ｔａ メンブレン構造 基板外形等 基板材質 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 0.15µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 0.2µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 1µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm） 単層構造（SiN 2µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm） 2層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm） 外形： 5mm□、厚さ： 0.625mm Si 外形： 10mm□、厚さ： 1mm ■FZP用センタービームストップ 品名 FZP用センタービームストップ 型式 CS–100/30-3.0W CS–75/30-3.0W CS–50/30-3.0W CS–40/30-3.0W CS–100/50-3.0W CS–75/50-3.0W 最小パタン 寸法 100µmφ 75µmφ 50µmφ 40µmφ 100µmφ 75µmφ ストッパ 材質 Au厚さ 30µm Au 50µm メンブレン 基板材質 サイズ メンブレン構造 2層構造（SiC 2層構造（SiC 2層構造（SiC 2層構造（SiC 2層構造（SiC 2層構造（SiC 2µm/SiN 0.3µm） 2µm/SiN 0.3µm） 2µm/SiN 0.3µm） 2µm/SiN 0.3µm） 2µm/SiN 0.3µm） 2µm/SiN 0.3µm） 3mm□ Si 基板外形等 外形： 10mm□、厚さ： 1mm ■X線チャート タイプ 標準タイプ 厚膜高解像タイプ 超高解像度タイプ 型式 XRESO-100 XRESO-50HC XRESO-20 最小 パタン寸法 100nm 放射状、L&S 50nm 放射状、L&S、 ホール 20nm パタン種 パタン 材質 Ta膜厚 Ｔａ 1µm 0.5µm 0.1µm メンブレン構造 2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm） 3層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm/SiN 0.05µm） 3層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm/SiN 0.05µm） パタン領域 メンブレン サイズ 基板 材質 250µm×300µm 300µm×300µm 300µm×300µm 1mm□ Si 基板外形等 外形： 10mm□、厚さ： 1mm 外形： 10mm□、厚さ： 0 625mm ■メンブレン 品名 SiNメンブレン SiCメンブレン 型式 MEM-N008001/2.6M MEM-N03001/7.5M MEM-N03002/7.5M MEM-N02001/10M MEM-N03002/10M MEM-N020027/10M MEM-N0302/10M MEM-N0301/10M MEM-C03003/10M MEM-C0301/10M メンブレン 材質 SiN SiC メンブレン サイズ(mm) 0.8×0.8 3×3 3×3 2×2 3×3 2×2 3×3 3×3 3×3 3×3 メンブレン 膜厚（nm) 100 100 200 100 200 270 2000 1000 300 1000 基板材質 外形 (mm) 2.6×2.6 * 基板厚 （mm) 0.2 7.5×7.5 ●お問い合わせ先 NTTアドバンステクノロジ株式会社 Si 0.625 10×10 * 2.6mm角の四隅を切り落とした八角形（対角で3mmφ以内） 注意： 本表に記載された仕様等は代表値であり、保証することを意味するものではありません。 また、仕様等は製品改良のため、お断りなく変更することがありますのでご了承下さい。 一部の商品については受注生産で対応しておりますので、納期は弊社担当までお問い合わせください。 先端プロダクツ事業本部 ナノテクビジネスユニット Tel: 046-247-0852 Fax: 046-270-2077 〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1 ＮＴＴ厚木研究開発センタ内
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