パワー半導体テストシステム Keysight Technologies & 株式会社日本マイクロニクスシステム構成 Keysight パワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサシステム概要 MCSMU B1505A Keysight 超大電流エクスパンダ／フィクスチャ N1265A UHC MJC ウェーハプローバ PW-8000 MJC プローブブロック HC-04 ※MCSMU ：Medium Current Source Measurement Unit ※UHC ：Keysight Ultra High Current Prober Extended Cable 大電流／高耐圧に対応した、ウェーハプローバ「 PW-8000 」とプローブブロック「 HC-04」の2製品を用意いたしました。 Keysight B1505Aパワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサと超大電流エクスパンダ／フィクスチャN1265A（ 500A/1500A・超大電流エクスパンダ）との組合せにより、安定かつ高精度な測定を実現します。EasyEXPERT 対応ドライバソフトも標準装備しております。最大3,000Vまでの高耐圧評価 1,000Aクラスの大電流・動特性評価を実現 100nH以下の低インダクタンス従来実装後に行っていた大電流特性検査を、ウェーハ検査工程で実行可能にしたシステムです。 MJC ウェーハプローバ Model PW-8000 対応ウェーハサイズ：最大8インチ最大測定電流：1,200Ａ（Pulse） ※ MJC 製コンタクタ（ HC-04 ）使用の場合最大電圧：3,000V 残留抵抗：0.1ｍΩ以下残留インダクタンス：100ｎＨ以下オプション：極薄・TAIKOウェーハ搬送システム、温度コントローラ等 MJC大電流用プローブブロック Model HC-04 パッドサイズ：5ｍｍ×5ｍｍで、 1,200A以上の通電が可能。最小ピッチ：0.4ｍｍ最大電圧：3,000V 最大電流：10A/1pin パワー半導体テストシステム Test System for Power Device テスタの高速パルスを忠実に伝送するテストシステムお問い合せ ID VDS 500 0.5 400 0.4 300 0.2 200 0 100 −0.2 0 −0.4 −10 −0.6 −40 −20 0 20 40 80 60 100 120 140 VDS［ V ］ ID［ A ］ 400A［ Pulse 100µS ］〒 180-8508 東京都武蔵野市吉祥寺本町 2-6-8 TEL ：0422-21-0201 FAX ：0422-21-3810 E-mail：[email protected] URL ：http://www.mjc.co.jp 160 TIME［ µS ］発熱を抑える高速パルス測定に対応した低インダクタンス機構 4.0 Rds［ mΩ ］株式会社日本マイクロニクス装置事業部営業統括部 Keysight & Solutions Partners 3.5 200uS 100uS 50uS 3.0 2.5 2.0 Extending our solutions to meet your needs 1.5 1.0 −200 0 200 400 600 800 1000 1200 ID［ A ］ ※ MJC PW-8000 と、Keysight B1505A、N1265A による測定事例 MJC PW-8000ウェーハプローバは、低インダクタンス設計により、Keysight B1505Aパワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサの高速パルスを忠実に伝送可能なため、デバイス自身やコンタクト接続部に発生する熱影響を極限まで軽減します。 MJC製品ラインナップ PW-8000 パワーデバイス測定用オートプローバ HC-04 大電流用プローブブロックキーサイト製品 B1505A パワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサ B1510A ハイパワー SMU B1511A ミディアム・パワー SMU B1513B 高電圧 SMU （3000V） B1514A 中電流 SMU N1265A 500A/1500A 超大電流エクスパンダキーサイト・テクノロジー合同会社本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1 受付時間 9：00-18：00（土・日・祭日を除く） TEL 0120-421-345 (042-656-7832) FAX 0120-421-678 (042-656-7840) Email [email protected] www.keysight.co.jp © Keysight Technologies, 2014 Published in Japan, October 15, 2014 5991-1487JAJP 0000-08cS