WSSのウェーハ厚み（TTV）に関する測定技術

SEMI STANDARDS - JAPAN 3DS-IC TECHNICAL COMMITTEE – WORKSHOP 2016 年 1 月 12 日
新家俊輝（シンケトシキ）:
大塚電子株式会社
Biography:
大塚電子株式会社
関東・東北営業部
（兼）組込型膜厚計SF-3担当プロダクトマネージャー
2002 年 4 月
～2013 年
2013 年～
大塚電子株式会社入社
分光計測装置営業に従事
営業部（兼）組込型膜厚計プロダクト担当
Abstract:
テーマ：「WSSのウェーハ厚み（TTV）に関する測定技術」



分光干渉法によるTTV測定技術の紹介
WSSにおけるテンポラリーウェーハ厚み（TTV）の当社測定技術の紹介
WSSにおける各種プロセス、アプリケーションの当社測定技術の紹介

Download Report