出展者製品・技術特集（⼀部抜粋、法⼈格省略、五⼗⾳順）＞出展者⼀覧・情報はこちらから http://nanotech2016.icsbizmatch.jp/Info/jp/ExhibitorList?ies=0&e=E_10-&a=-1 ◆3D-17 / 3D-19 アルテック株式会社我々は、ナノテクノロジー、プリンテッドエレクトロニクス、有機エレクトロニクス、MEMS（微⼩デバイス）関連の最先端の技術を⽤いた機械装置を国内外からご提供しております。特に重要な成膜・塗布、硬化・焼結、検査・評価のプロセスに注⼒し、成膜・塗布⼯程としては、超⾳波スプレー、エアロゾルジェットといった２D/ ３D形状基板へ塗布、描画されたサンプルの展⽰。硬化・焼結⼯程には、フォトシンタリング（光焼結）・キュアリングを⾏った熱に弱い基材上の材料の硬化・焼結サンプルの展⽰。また、検査・評価⼯程に⾼速膜厚・⽋陥検査を同時に⾏う装置といった環境低負荷を実現する⾰新的な装置展⽰を⾏います。材料混合⼯程へのアプローチとして、品質向上、分散性向上、混合時間の短縮化の提案として⾳響共振エネルギーを利⽤した混合ミキサーを展⽰致します。応⽤分野は次世代の半導体、電⼦デバイス、⾃動⾞、ディスプレイ、太陽光発電、有機EL並びにライフサイエンス等多岐に亘り今後技術⾰新により新しい市場の創造が⼤いに期待されています。 ◆3G-14 株式会社⽯井表記・液晶ＴＶの配向膜塗布プロセスをインクジェット（以下：IJ）で量産できる画期的な装置を開発し製造/販売しています。従来のロールコーター塗布と⽐べて液使⽤効率、⾼⽣産性（版交換無し）が実現できています。（世界トップクラスの採⽤実績。）・同技術を展開し、半導体向けに世界初となる量産⽤IJ装置を納⼊しています。・プリンタブルエレクトロニクス分野へも展開中です。 ◆3B-17 株式会社ウィックス製品名真空中パーティクルモニタプロセスチャンバーに挿⼊、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測できます。フレキシブルデバイス⽤フィルムのキーとなるバリア性付与のための成膜等、真空プロセスにおいて歩留・品質に⼤きな影響を及ぼすパーティクル発⽣状況を監視することで、プロセスの改善・⼯程管理に活⽤頂けます。 ◆3G-25 ウシオ電機株式会社世界初の真空紫外ランプ⽅式により、微細な部分親撥処理が可能となりました。リソグラフィプロセスから脱却した、微細なプリンタブルパターニングを実現致します。低温にて処理が可能であり、かつ⼤気にて使⽤ができる為に、⾼⽣産性を期待できます。（⽤途）有機トランジスタ、センサ、機能材料、バイオチップ、SAM膜の分解除去・パターニング ◆3D-13 AgIC株式会社導電性銀インクを⽤いた電⼦回路製作技術を開発しています。厚さ0.1mmのPETフィルムに電⼦回路をインクジェット印刷することで薄くて軽い⼤型電⼦回路が実現しました。薄さ・軽さ・柔らかさを兼ね備えた「どこにでも使える電⼦回路」です。現在フレキシブルヒーター、LED電光掲⽰板、電⼦玩具、広告、照明、FPCの代替を含む、様々な回路を開発中。回路印刷の設計・試作から⼤量⽣産まで幅広く対応します。 ◆3H-19 株式会社エスケーエレクトロニクスフォトマスク製造で⻑年培ってきたパターン形成技術を応⽤した超⾼精細印刷版/モールドは⼤⾯積 (500×600mm)でありながら微細化(L/S=2μm〜)と⾼位置精度(座標位置精度±0.5μm)を実現。タッチパネル配線はもちろん、重ね合わせ精度が要求されるTFT回路などの積層印刷にも適⽤可能。各種印刷プロセスに最適化した印刷版/モールドでプロセスマージン拡⼤に貢献。 ◆3E-17 株式会社エムティーテックプリンタブルエレクトロニクス向け卓上型フレキソ印刷機は⼩型、⾼性能、カスタム対応とワンランク上の実験装置を⽬指して開発。１．量産機と同等の性能２．パッケージ化により購⼊後インクを⽤意するだけで即印刷３．仕様変更に柔軟に対応 ◆3G-13 国⽴⼤学法⼈⼤阪⼤学産業科学研究所私達は、幅15nmのセルロースナノファイバーを⽤いて、紙を再発明した。この紙は、ガラスのように⾼透明・低熱膨張であり、プラスチックよりも耐熱性が⾼く、紙のように軽く・折り畳める。そして、太陽電池・透明導電膜・不揮発性メモリ・トランジスタ・アンテナなど様々なペーパーデバイスも開発している。この紙は樹⽊のみで製造できるため、プリンタブルエレクトロニクスのみならず、低炭素・循環型社会の実現にも貢献しうる。 ◆3H-13 神奈川⼤学本技術は⻑波⻑UVに応答する光分解性基を有する光応答性表⾯修飾剤を⽤いた表⾯制御技術である。光応答性表⾯修飾剤により形成された単分⼦膜はUV照射により分解し、アミノ基を⽣じることで表⾯のぬれ性と反応性を制御できる。我々は露光前後の表⾯のぬれ性の変化を利⽤した導電性インクの選択的な塗布と有機半導体の配向性制御のための表⾯改質⼿段としてこの技術を開発した。 ◆3B-13 株式会社クォークテクノロジー印刷⼯程を⽔銀レスへ！疎⽔性材料を親⽔性へ表⾯改質するエキシマランプ、ＵＶインクを瞬時に硬化させるＵＶ－ＬＥＤ。低圧⽔銀ランプに対し5倍以上速く改質できるエキシマランプ、⾼圧⽔銀ランプに対し⻑寿命(20000h)、低消費電⼒(1/10)のUV-LED。印字前の表⾯改質から印字後ＵＶ硬化まで⽔銀フリーＵＶ光源をご提供しています。 ◆3D-14 株式会社コロイダル･インク DryCure Au-J 及びAg-J は、インクジェット印刷⽤に開発した導電性⾦属ナノインクです。弊社のインクジェット印刷⽤インクは、家庭⽤インクジェットプリンターを⽤いて電⼦回路を作製することができます。また、必要最⼩限の乾燥条件で、⾼品質な⾦属膜を形成することができ、従来のナノインクと同等の導電特性を発揮することができます。 ◆3B-20 株式会社サワーコーポレーションサワー・クリーン SC-SGA500は、⾼精細なグラビアシリンダー専⽤の超⾳波洗浄機です。電⼦部品の製造⼯程で使⽤されるフィルム印刷は、従来のスクリーンマスクの印刷⼯法から、⾼精細で量産性を⾼めたグラビアシリンダーでの印刷⼯法に推移しています。サワー・クリーン SC-SGA500は、独⾃の超⾳波洗浄技術により、業界最先端の微細なグラビアシリンダーを洗浄し、⾼品質なものづくりに貢献致します。 ◆3E-13 シーシーエス株式会社あらゆるUV照射器を「LED式」「ランプ式」でご提案いたします。硬化・接着・貼合せ・印刷・コーティングにUV-ED(365nm/385nm/405nm)を、表⾯処理・表⾯改質にエキシマランプ/低圧⽔銀ランプをご提案いたします。深紫外LED(265nm/285nm/300nm)による最新式UV-LED照射器も設計可能。バッチタイプ/コンベアタイプなどの装置化も、お気軽にご相談くださいませ。 ◆3L-16 J&L TECH CO., LTD グラビア印刷ロールの表⾯上に現れる様々な⽋陥を⾼速で検査するVISION検査装置です。 VISION SYSTEMの解像度を上げて検査の正確度及び信頼度を⾼め、表⾯⽋陥を⾃動で検出・記録し、その⽋陥の画像をディスプレイしますので、従来の⾁眼検視に⽐べ時間を1/10くらい短縮することができます。このように速くて正確な検査は、⼯程時間の短縮・印刷⼯程での不良発⽣率の削減を実現して⽣産収率を向上させます。 ◆3G-25 島根県産業技術センター地域産業の技術的な⽀援機関である島根県産業技術センターは⾼度かつ広範な測定・分析装置を保有し、種々の技術相談・依頼試験にあたるとともに、新技術の開発にも注⼒している。有機フレキシブルエレクトロニクス技術開発プロジェクトでは、（１）スクリーン印刷を中⼼としたPE 対応印刷技術の開発、（２）印刷技術を応⽤した各種センサ技術の開発、を推進し、⺠間企業と連携しながらPE分野における新技術の事業化を⽬指している。 ◆3B-14 株式会社SCREENホールディングスこれまで印刷・エレクトロニクス業界双⽅でリーディングカンパニーとして培ってきた経験を基に、微細化に対応するグラビアオフセット印刷技術で異なる線幅を⼀括で印刷できる製版HA-3000と、量産に不可⽋な機能を標準搭載した印刷装置UP-5000Sを開発しました。これまで量産適⽤に障壁となっていた課題を解決する製版技術と印刷装置技術です。プロセス評価も含めたトータルソリューションをご提供します。 ◆3E-20 スリーエムジャパン株式会社スーパーフォビック分離膜は中空⽷膜を使⽤した⼩型脱気膜です。中空⽷の外部をインクが流れる外圧型で低圧損、⼩容量のメリットがある。フッ素系以外の膜素材として、耐熱及耐薬品性にも優れ、UVインクや溶媒にも使⽤される。世界最⼩を誇る0.5x1インチサイズは、ワイドフォーマットのラインヘッド直近に使⽤可能、⼜⼩型産業⽤プリンタ（３D含む）の実績もある。多様な⽤途やプリンターの⼩型化に貢献している。 ◆3G-25 株式会社セリアコーポレーション・グラビアオフセット印刷により実現する、フレキシブルな全印刷タッチパネルメタルメッシュ（5μm)と引出配線（L/S=30μm/30μm)を⼀括で印刷形成。従来、X軸センサーとY軸センサー2枚のフィルムとを貼りあわせた構成で作成していたタッチパネルをフィルムの両⾯に印刷。1枚のフィルムでタッチセンサーを実現したことで、薄膜でフレキシブルなタッチパネルを全印刷法プロセスで実現し、動作展⽰する。 ◆3E-19 株式会社テクノサポートオーストラリアLAERLIFE社が開発、チタン粉末をロール表⾯にコールドスプレーシステムで噴射定着させ、その後レーザー彫刻機でチタン層の窒化による硬化とアニロックスなどの彫刻⼯程を同時に⾏う特許技術、ハードクロームメッキやセラミック製アニロックスで避けられない⼩孔やクラックが発⽣せず、インクなどの洗浄性の格段の向上、耐腐⾷性能と同時にHV換算1600という⾼い耐摩耗性を獲得した。 ◆3G-25 東洋紡株式会社ストレッチャブル銀ペーストと放熱材料の⼆開発品の展⽰を⾏います。ストレッチャブル銀ペーストは、昨年ポリイミドフィルムXENOMAX®と共にプリンタブルエレクトロニクス⼤賞アプリケーション部⾨賞を頂きましたが、本年はその技術進捗に加え、応⽤例として特別展⽰コーナーにスマートセンシングウェアの展⽰を⾏います。放熱材料は、電⼦機器の熱トラブル解消を志向した材料であり、弊社技術の⼀端として展⽰を⾏います。 ◆3G-25 ⽇油株式会社当社は、所有する⾦属酸化防⽌技術と機能材料複合化技術を駆使し、⾼い性能を有するスクリーン印刷⽤銅ペーストを開発した。この銅ペーストは銅の耐酸化性に優れ、銀ペーストと同等の導電性と印刷性を有し、そして銀ペーストよりも⼤幅に⾼い耐マイグレーション性をも兼ね備えている。この特徴から、この銅ペーストは、電⼦情報、⾃動⾞関連等様々な分野で⽤いられている銀ペーストの代替⽤導電ペーストとして、活⽤が期待されている。 ◆3L-13 ⽇本アグフアマテリアルズ株式会社透明導電性ポリマーPEDOT/PSSを使⽤したスクリーン印刷⽤インク通常は透明導電膜はITOが⼀般的に使⽤されますが、⼤掛かりな成膜装置が必要であり、パターニングはフォトリソによるプロセスが必要であり、プロセスの煩雑さ、コスト、環境への負荷が懸念されます。弊社インクはスクリーン印刷により簡単に、かつ低コストで透明導電膜を形成することができます。 ◆3G-25 ⽇本航空電⼦⼯業株式会社昨年、安⼼・安全社会の実現を⽀える⼩型機器内での実装⾯積の省スペース化と、柔軟な表⽰体やセンサ、バッテリーなどといった快適・省エネデバイス機器の実装への貢献を⽬指して、これまでのコネクタの概念とは異なる折り曲げ可能なフィルムベースの接続技術を紹介いたしました。本年度の展⽰では、印刷技術利⽤による製品範囲の拡張性（機能部品のフレキシブル基板への実装とフレキシブルセンサのタイリングによる⼤⾯積化）について、モデルサンプルを通じてご紹介いたします。 ◆3G-16 ⽇本電⼦精機株式会社エレクトロニクスデバイスを印刷形成するために、新規インク塗布技術を弊社スーパーフレキソ印刷装置に適⽤する事で数μmの細線パターンを線幅によらず⼀定の膜厚で形成する事に成功した。しかしながら、ブランケット・版はＰＤＭＳで形成されている為、膨潤して⼨法精度が担保できず連続的に⽣産する事が課題であった。そこで、ブランケット・版に膨潤したインクの溶剤を除去する再⽣機構を有する印刷装置及び⾼架橋密度のPDMS版の開発に着⼿し連続⽣産可能となる。 ◆3J-19 株式会社ノリタケカンパニーリミテド電⼦ペーストは各種粉末を有機溶媒に分散させた材料で、様々な電⼦部品の導電体や絶縁体、誘電体として使⽤されています。ノリタケは優れた分散技術を活かして⾼機能かつ多様な厚膜材料を開発しています。使⽤温度（100〜1300℃）や、⼯法（スクリーン印刷、ディップ、ディスペンサー、Roll to Roll等）に合わせたご提案をさせて頂きます。 ◆3F-20 富⼠フイルムグローバルグラフィックシステムズ株式会社研究開発⽤マテリアルプリンターＤＭＰ－２８３１は、標準的な研究⽤インクジェット装置としての実績で第⼀回⼤賞を受賞し、その後もプリンタブルエレクトロニクスをはじめ、世界の研究機関で新たなインクジェット応⽤開発に使⽤されています。量産⽤のＦＵＪＩＦＩＬＭＤｉｍａｔｉｘ産業⽤インクジェットヘッドとあわせて、最近の活⽤動向紹介を出展します。 ◆3J-14 ヘレウス株式会社 IRおよびXeフラッシュ技術による乾燥・焼結の⽐較を検証するため、100個のサンプルをPEN樹脂上に銀ナノインクを⽤いてIJ印刷した。テストには、異なるIRヒーターモジュールを3台、他社製Xeシステム1台及び弊社製Xeフラッシュランプモジュールを2台⽤意した。それらで20のIJサンプルを S2S⼜はR2Rで処理した。その結果、プレ乾燥としてIRシステム、焼結としてのXeランプシステムは、PEプロセスに適するオプションとなることを⽰した。 ◆3L-14 丸⽂株式会社 OmniCure AC450/AC475は、⼩⾯積から⼤⾯積まで⽤途に合わせた照射幅がご提供できるUV LED 光源です。365nm 395nm の波⻑域を⽤意しており、照射幅は最⼤で305×15mmとなっています。照射物に対してワーキングディスタンスが離れていたとしても、⾼出⼒で素早いキュアリングを可能にします。 ◆3G-25 株式会社ミノグループシリコーンブランケットを⽤いて微細形状の矩形性断⾯形成を可能にしたスクリーンオフセット技術を基に、三次曲⾯への応⽤を可能にしたスクリーンパッド（ＳＰＤ）は、従来技術のパッド印刷の⻑所を⽣かしながらその⽋点であった⽅向依存性や均⼀塗布を可能にし、凹⾯凸⾯に関わらず機能性物質や加飾インキの塗布を可能にした技術である。 ◆3E-14 ⼭形⼤学有機エレクトロニクスイノベーションセンター既存のシリコンデバイスでは実現できない薄く、軽く、割れないデバイスを印刷、塗布で実現する技術を⼤学と⺠間企業との連携により開発しました。ロールtoロールにより製造され、様々な使⽤シーンが期待されるITOに代わる安価な透明電極付フレキシブル基板、透明な有機ELや有機太陽電池、フレキシブルディスプレイなど、より特徴的で実⽤化に近づいた有機エレクトロニクスデバイスを開発しました。 ◆3E-16 ⼭形⼤学有機エレクトロニクス研究センター時任研究室〇　半導体プロセスや曲⾯電⼦回路に向けた新しい印刷プロセス技術の開発 ■⼤⾯積TFTアレイに向けたロールtoロール印刷技術：独⾃の低温焼結型ナノ粒⼦インクを⽤いて、90cm×60cmのPETフィルム上にインクジェット印刷で⼤⾯積電⼦回路を形成 ■ソフトブランケットを⽤いたグラビアオフセット曲⾯印刷技術：曲⾯を有する基板に対し、微細（最⼩線幅10mm）でありながら、⼤⾯積（最⼤120mm×120mm）に⾼速（最速100mm/s）で印刷可能な独⾃技術を開発 ■産業⽤ロボットを⽤いた全⽅向インクジェット（ＯＩＪ）印刷技術：全⽅向にインクを「⾶翔」させることで、⽴体物表⾯に⾼精細に印刷できる独創性の⾼いインクジェット技術を開発 ◆3B-16 株式会社レヨーン⼯業ワーク表⾯に残る⽪脂やオイル系の異物、インクや糊、粘性異物などの頑固な異物は⼤掛かりな⽔洗装置や⼈海戦術での拭き取り作業でクリーニングするしかありませんでした。弊社の拭き取り装置は、これまで難しいとされていた拭き取り作業の⾃動化しました。・⾼性能クリーニングワイパーにより頑固な汚れや液体を⾃動で拭き取ることが出来ます。・特殊バキュームステージ採⽤により、ワークをしっかり固定してクリーニング出来ます。・特殊洗浄剤を使ってクリーニング出来ますので、頑固な汚れも取り除く事が出来ます。 ◆3J-20 株式会社ワイ･ドライブ・業界で初めてインクジェット吐出量±１％を実現した「インクジェットDPN駆動制御技術機器」・従来、インクジェットヘッドは約３０％程度の吐出量バラツキがありましたが、弊社は「吐出量を±１％で計測できる超⾼精度インク⾶翔観測系」を業界で初めて実現し、更に、インクジェットヘッドのノズル毎に吐出量を制御するDPN技術と組合せ、インクジェトヘッドのノズル毎吐出量をキャリブレーションする系を構築しました。今後、有機TFTや有機ELディスプレー等のアプリケーションにて、５~１０層の５０nm以下の薄膜を塗布し、製品として実⽤可能な特性を実現するコア技術と考えています。 ◆3K-17 早稲⽥⼤学庄⼦研究室将来の電⼦デバイスの社会的需要に応えるためには、⼩型・低背の維持はもちろん、現在の各種デバイスの利点を損なうことなく、新たな特性・機能を発現し得る材料及びデバイスの作製が必要です。当研究室では、アドバンスドマテリアルという⾔葉をキーワードに、微⼩加⼯技術や表⾯処理技術、材料⾃体の構造を制御するデバイスサイエンスを基盤技術に、新たなデバイス作製⼿法の提案及び各種商品化に向けた研究を⾏っております。