Manual Positioners XYZ軸フラットスチールステージ XYZ軸フラットスチールステージ TSD-255　ステージサイズ□25mm TSD-405　ステージサイズ□40mm ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。アプリケーションシステムご案内 ▶真空用途にお使いいただけるステンレスタイプ（TSDS-255/405）もご用意 E210 しています。　光学素子注意ホルダー ▶Z軸は構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。 ▶Z軸はテコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対するベース送り量にズレ（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm 程度）が生じます。手動ステージアクチュエータ自動ステージ光源索引仕様 TSD-255C TSD-255S TSD-405C TSD-405S INCH − − TSD-405CUU TSD-405SUU METRIC − TSD-255SR − TSD-405SR INCH − − − TSD-405SRUU 価格〔￥〕 80,000 80,000 88,000 88,000 テーブル面サイズ〔mm〕 25×25 25×25 40×40 40×40 METRIC 品番ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ傾斜真空（勝手違い）軸タイプ XYZ軸マイクロ操作位置移動量〔mm〕アリ溝センターサイド XY軸±6.5　Z軸±3 XY軸±6.5　Z軸±3 移動量/1回転〔mm/1回転〕 0.5 0.5 0.5 0.5 0.01 0.01 0.01 0.01 移動ガイドボールガイド主要材質鉄表面処理スーパーブラッククロム＋黒つや消し耐荷重〔N〕移動精度モーメント剛性クロスローラサイド XY軸±3　Z軸±3 マイクロメータ最小読取〔mm〕 29.4 （3.0ｋｇｆ） 29.4 （3.0ｋｇｆ） 88.3 （9.0ｋｇｆ） 88.3 （9.0ｋｇｆ） 5 5 2.5 2.5 ピッチング〔N・m〕 1.0 1.0 3.9 3.9 ローリング〔N・m〕 1.0 1.0 3.9 3.9 ピッチング〔″/N・cm〕 10.55 10.55 2.34 2.34 ローリング〔″/N・cm〕真直度〔μm〕許容モーメント荷重ボールガイドセンター XY軸±3　Z軸±3 10.55 10.55 2.34 2.34 平行度〔μm〕 130 130 130 130 オプション FP FP FP FP 質量〔kg〕 0.2 0.2 0.55 0.55 すり合わせネジ式V溝その他 □15mm □25オプション　注）オプション費用は、1軸分の金額となります。オプションコード FP 適応機種品名品番ファインピッチスクリューアジャスター FPSA-42525 移動量/1回転〔mm/1回転〕マイクロ最小読取〔mm〕オプション費用オプション解説ページ 0.25 − −￥3,000 E008 移動量/1回転〔mm/1回転〕マイクロ最小読取〔mm〕オプション費用オプション解説ページ 0.25 − −￥3,000 E008 □25mm □40mm □60mm □65mm □40オプション　注）オプション費用は、1軸分の金額となります。オプションコード □80mm □100mm □120mm その他 E136 FP 適応機種品名ファインピッチスクリューアジャスター品番 XY軸：FPSA-62540 Z軸：FPSA-42525 ※品番末尾にオプションコードを追加し、各種オプション仕様をご指示ください。 ※□40サイズのFPタイプの耐荷重は、39.2N （4.0kgf）となります。 ※FPタイプは、駆動操作用として六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ（KCL）が必要となります。　F010 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログコードカタログコード W7071 W7072 外形図 MAX41 TSD-255C アプリケーションシステム 25 1010 六角穴付ボルト M2×4…4本 Y軸クランプ 7-M2 深4 20 25 MAX41 10 10 光学素子（3）ホルダー 9.5 Z軸クランプベース 24 TSD-255SR 六角穴付ボルト M2×4…4本 7 自動ステージ 1010 25 Y軸クランプ光源 MAX38 MAX38 20 アクチュエータ六角穴付ボルト M2×4…4本 MAX49 （7） 25 7-M2 深4 10 10 Y軸クランプ 10 10 10 10 （7） 7-M2 深4 MAX49 25 MAX49 12 25 手動ステージ X軸クランプ 4-φ2.4取付穴 φ4ザグリ 20 20 1.5 20 17.5 TSD-255S 44±3 27 7 TSD-405C/405CUU MAX66 A 40 A ガイダンス X軸クランプ 4-φ2.4取付穴 φ4ザグリ X軸 XY軸 Y軸クランプ X軸クランプ Z軸 XZ軸 A B 40 A 六角穴付ボルト M3×6…4本スプリングワッシャー六角穴付ボルト（黒） 6/32UNC×3/16…4本（UU）索引 1.5 20 24 44±3 15 20 4-φ2.4取付穴 φ4ザグリ（9.5） 1.5 X軸クランプ 20 27 Z軸クランプ 27 15 44±3 20 24 Z軸クランプ XYZ軸 MAX66 7-C 深5 回転ゴニオ 10.5 37 A Y軸クランプアリ溝 X軸クランプすり合わせ 40 ネジ式V溝 A その他 MAX32 MAX74 37 9 MAX74 □15mm 37 Z軸クランプ □25mm 品番 TSD-405S TSD-405SUU □40mm 34 61±3 34 A （mm） 16 15.875 B （mm） 32 31.75 C M3 6-32UNC D （mm） 3.5 4 E （mm） 6 6.5 □65mm 27 4-φD取付穴 φEザグリ 1.5 B □60mm 品番 TSD-405SR TSD-405SRUU B □80mm 1.5 20 20 27 61±3 Z軸クランプ 4-φD取付穴 φEザグリ A （mm） 16 15.875 ボールガイドクロスローラ 9 A MAX74 B 40 真空 E （mm） 6 6.5 六角穴付ボルト M3×6…4本、スプリングワッシャー六角穴付ボルト（黒）6/32UNC×3/16…4本（UU）（9.5） 7-C 深5 X軸クランプ A MAX74 A D （mm） 3.5 4 B Y軸クランプ M3 6-32UNC TSD-405SR/405SRUU A A C （9.5） 1.5 40 A B （mm） 32 31.75 40 （9.5） 18 A （mm） 16 15.875 TSD-405C TSD-405CUU 六角穴付ボルト M3×6…4本、スプリングワッシャー六角穴付ボルト（黒）6/32UNC×3/16…4本（UU） TSD-405S/405SUU 7-C 深5 4-φD取付穴 φEザグリ B 傾斜品番 27 21.5 34 61±3 Z軸クランプ □100mm B （mm） 32 31.75 C M3 6-32UNC D （mm） 3.5 4 E （mm） 6 6.5 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 □120mm その他 E137