X軸ロングアルミクロスローラステージ XY軸ロングアルミクロスローラ

Manual Positioners
X軸ロングアルミクロスローラステージ
XY軸ロングアルミクロスローラステージ
TAM-10161
TAM-10162
アルミ製のステージ本体にクロスローラガイドを使用した軽量で高精度な直動ステージです。
アプリケーション
システム
◦ステージ本体が長方形で、長い移動量を確保したい時に有効です。
◦DMタイプは、移動量70mm
(±35mm)
確保できます。5mmリードのネジを採用しており長い移動量を短時間で動かすことが可能です。
また、微動用のマイクロメータヘッドで微小調整が可能です。
光学素子
ホルダー
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
注意
光源
▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が
確保できない場合がありますのでご注意ください。
索引
ガイダンス
X軸
XY軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ
傾斜
真空
仕様
品番
(勝手違い)
METRIC
TAM-10161C
TAM-10161SDM
TAM-10161S
TAM-10162C
TAM-10162S
METRIC
−
−
TAM-10161SR
−
TAM-10162SR
価格
〔¥〕
59,000
62,000
59,000
118,000
118,000
100×160
100×160
100×160
100×160
100×160
センター
サイド
サイド
センター
サイド
±25
粗:±35
微:±3
±25
±25
±25
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
0.5
粗:5
微:0.5
0.5
0.5
0.5
マイクロメータ最小読取
〔mm〕
0.01
0.01
0.01
0.01
0.01
588
(60.0kgf)
テーブル面サイズ
〔mm〕
軸タイプ
X軸
マイクロ操作位置
ボールガイド
クロスローラ
アリ溝
すり合わせ
移動量
〔mm〕
移動ガイド
XY軸
クロスローラ
主要材質
アルミ
ネジ式V溝
表面処理
黒アルマイト
その他
耐荷重
〔N〕
□15mm
移動精度
588
(60.0kgf)
588
(60.0kgf)
588
(60.0kgf)
588
(60.0kgf)
真直度
〔μm〕
2
2
2
2
2
ピッチング
〔″〕
40
40
40
40
40
□25mm
ヨーイング
〔″〕
□40mm
ピッチング
〔N・m〕
□60mm
許容モーメント荷重
□65mm
□80mm
□100mm
モーメント剛性
25
25
25
25
25
62.8
62.8
62.8
60.8
60.8
ローリング
〔N・m〕
60.8
60.8
60.8
60.8
60.8
ヨーイング
〔N・m〕
58.9
58.8
58.9
58.9
58.9
ピッチング
〔″/N・cm〕
0.046
0.046
0.046
0.087
0.087
ローリング
〔″/N・cm〕
0.04
0.04
0.04
0.087
0.087
200
□120mm
平行度
〔μm〕
100
100
100
200
その他
移動平行度
〔μm〕
15
20
15
30
30
質量
〔kg〕
1.3
1.4
1.4
2.5
2.7
E062
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
カタログ
コード
W7016
W7037
外形図
TAM-10161SDM
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
MAX204
クランプ
(32.5)
光学素子
4-φ8
(固定ネジ挿入穴) クランプ
ホルダー
ベース
粗動ネジ
粗微動切替え
177.5
25
25
14
15
M16 P1 深6
18-M4 深8
18-M4 深6
160
90
25 25 25 25
M16 P1 深6
90
100 (14)
90
25 25
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
100 (14)
90
25 25
160
90
25 25 25 25
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M4×6…4本
90
TAM-10161C
TAM-10161SR
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
100 (14)
90
25 25
18-M4 深8
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
160
90
25 25 25 25
クランプ
100 (14)
90
25 25
160
90
25 25 25 25
18-M4 深8
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
25
M16 P1 深6
光源
TAM-10162C
90
150
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
2.5
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
25
13.5
2.5
25
90
150
索引
MAX239
13.5
MAX239
ガイダンス
X軸
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
160
MAX204
XY軸
100
Z軸
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
X軸クランプ
XZ軸
XYZ軸
90
90
25 25 25 25
160
90
25 25
アクチュエータ
自動ステージ
クランプ
25
90
M16 P1 深6
手動ステージ
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
90
2.5
TAM-10161S
150
2.5
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
90
150
回転
M16 P1 深6
ゴニオ
18-M4 深8
MAX204
傾斜
真空
Y軸クランプ
ボールガイド
90
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
160
13.5
Y軸クランプ
MAX239
M16 P1 深6
18-M4 深8
□15mm
□25mm
□65mm
13.5
□80mm
50
□100mm
2.5
□120mm
38.5
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
その他
□60mm
MAX239
38.5
2.5
50
X軸クランプ
90
すり合わせ
□40mm
18-M4 深8
MAX239
アリ溝
ネジ式V溝
90
25 25 25 25
25 25
90
MAX239
90
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
Y軸クランプ
160
90
25 25 25 25
90
25 25
100
160
M16 P1 深6
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
150
160
4-φ8
(固定ネジ挿入穴)
TAM-10162SR
六角穴付ボルト M4×8…4本、
スプリングワッシャー
100
TAM-10162S
クロスローラ
90
150
150
2.5
50
14
39
X軸クランプ
90
8-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
その他
E063