冷凍式 ドライヤ 乾燥剤式 ドライヤ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） ワークに優しい、 ハイクリーン＆高精密吸着｡ PVP Series CKD独自の気孔率40％フッ素樹脂焼結多孔質を採用。 ファインプロセスの、 高精度・高難度工程に威力を発揮。 吸着面にフッ素樹脂焼結多孔質体を採用した精密吸着プレートPVPシリーズ｡ 極薄材料や軟材質でも､ワークを傷めず､吸着による歪みや変形も解消｡ 高精度な各種ワーク処理を可能にします｡ 冷凍式 ドライヤ 乾燥剤式 ドライヤ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 高精度なワーク処理 F.R.L （モジュラー） F.R.L （セパレート） F.R.L （セパレート） 吸着面の平面度：2μm、平行度：5μm。 小形F・R ワーク固定精度が高く、高精度なワーク処理が可能です。 (R-36-18, C-50, S-50-50の仕様値です) 小形F・R 精密R 精密R 吸着力が大きい F.R.L （関連機器） クリーン F・R F.R.L （関連機器） クリーン F・R 気孔率が40％もあり、大きい吸着力で全面吸着が可能。 大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形がありません。 電空R 電空R フッ素樹脂多孔質 エア ブースタ エア ブースタ フッ素樹脂多孔質 スピード コントローラ 多孔質含浸エポキシシール スピード コントローラ サイレンサ サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ 継手・ チューブ 真空ポート 真空F アルミベース 真空F 真空R 真空R 吸着 プレート ワークを傷めない 吸着 プレート ファイン バッファ 吸着面の硬度はショアD60。ソフトな接触でワークを傷つけません。 ファイン バッファ 機械式 圧力SW ボード フィルム基板 電子式 圧力SW 軽い フィルム液晶 着座・密着 確認SW LSI IC回路基盤 シリコンウェハ エアセンサ ガラス基盤 磁気ディスク 小形流量 センサ 電子式 圧力SW フッ素樹脂多孔質（見かけ比重1.3）とアルミベース（比重：2.7）から構成。 軽いので、駆動力が小さくできます。 着座・密着 確認SW 帯電防止 （オプション対応） クーラント用 圧力SW エアセンサ 液晶ガラス クーラント用 圧力SW 機械式 圧力SW 小形流量 センサ 静電気防止剤をフッ素樹脂多孔質にコーティング。 静電気発生を抑え、ワークを傷つけません。 小形流量 コントローラ 小形流量 コントローラ 気体用 流量センサ 気体用 流量センサ 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） プレート形状は思いのまま 平行度：5μm 平面度：2μm 液晶ディスプレイ 比重：2.7以下 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） プレート形状は標準3タイプをご用意。さらにお客様のご要望に合わせて 思いのままの形状にカスタマイズいたします。 全空圧システム （ガンマ） 気孔率：40％ 巻末 巻末 ●標準タイプ 硬度：ショアD60 用途例 ●光､磁気ディスクの搬送､ 貼り合わせなど ●液晶ガラス､フィルム基板 の貼り合わせ､搬送など ●ウエハのスピンナー､ ポリッシング､搬送など ●上記吸着用途以外にも 浮上用途を受注生産します。 1032 ●形状特注タイプ例 PVP-R PVP-C PVP-S ①ドーナツ形 ②丸形 ③四角形 ディスク等 半導体､シリコンウエハー等 プラスチック基板等 精真 密空 吸機 着器 プ レ ー ト ウエハ型 ロボットハンド用途 多点吸着型 ・形状特注タイプにつきましては弊社までお問い合せください。 1033 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 冷凍式 ドライヤ 乾燥剤式 ドライヤ 設計時・選定時 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） F.R.L （セパレート） 警告 ■製品、配管、ワークの種類、使用環境により吸着条件 ■精密吸着プレートを組み込んだシステムで、 吸着され たワーク（被吸着物）が落下することにより危険と考 えられる場合は、安全の為に必ず機械的な落下防止 装置を設けてください。 ■エアパージする場合、乾燥した清浄な圧縮空気 「等級 小形F・R ■腐食性ガス・可燃性ガスのある場所では使用しないで 精密R F.R.L （関連機器） クリーン F・R 電空R エア ブースタ スピード コントローラ サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ は変わります。 到達真空度、吸引流量、応答時間を十分に考慮のうえ 真空発生器を選定してください。 ください。 また、絶対に吸い込ませないでください。 ■非 常 停 止 時 の 挙 動 を 考 慮 し て く だ さ い 。 非常停止時、またはシステム異常時に安全装置が働き、動力 源・機械などが停止する場合、人体およびワーク・機器・装 置への損傷を与えないような設計をしてください。 ■必ず製品仕様範囲 （5∼40℃、0.2MPa以下） で使用し てください。 仕様範囲外の圧力や温度での使用では多孔質はがれ、 腐食性ガス発生の原因になりますので使用しないで ください。 1.6.2」 （固形粒子 0.1μ m、圧力露点 10℃、油分濃度 0.1mg/m3）をお使いください。 （等級は JIS B 8392-1：2000 による圧縮空気品質等級 に基づきます。） ＜ CKD スーパードライヤ D シリーズ、CKD インライン形ク リーンフィルタ FCS シリーズのご使用を推奨します。＞ 〈推奨回路〉 フィルタ 空気圧源 エアードライヤ オイルミストフィルタ レギュレータ FCSシリーズ ■スパイラル（螺旋）状のホースは使用しないでくださ い。 配管抵抗が大きくなり真空到達時間の遅れ、吸着力の低下など の不具合が発生します。 真空F ■ 非常停止・異常停止後に再起動する場合の挙動を考 ■真空発生器 1 個に対し精密吸着プレートを 2 個以上 真空R 慮してください。 吸着 プレート 接続する場合は、以下の点に注意してください。 再起動により、人体およびワーク・機器・装置への損傷を与え ないような設計をしてください。 ●精密吸着プレート1個にエア漏れがあれば真空度が低下し、 吸着ミスの原因になります。 ファイン バッファ 機械式 圧力SW 電子式 圧力SW 着座・密着 確認SW エアセンサ クーラント用 圧力SW 小形流量 センサ 小形流量 コントローラ 注意 ■製品が使用環境に耐えることを確認して使用してくだ さい。 粉塵の多い雰囲気、粉塵が発生する工程、薬液雰囲気、薬品、 振動、湿気、水滴、ガス雰囲気、オゾン発生環境など、機能的 障害を受ける環境。 ■仕様湿度範囲 （65％RH 以下）で使用してください。 仕様範囲外の使用では吸着面精度が悪くなる可能性 があります。 ●真空発生器からの分岐箇所間の配管は、分岐箇所から吸着 パット間の配管よりも太くしてください。 ■寒冷地使用の場合、適切な凍結対策をしてください。 圧縮空気中の異物や油分などは多孔質を詰まらせ、故障・誤作 動の原因になります。 ■周囲に熱源がある場合は遮断してください。 輻射熱により製品の温度が上昇して使用温度範囲を超える場合 がありますので、カバーなどで遮断してください。 ■振動または衝撃が起こる場所では使用しないでくだ 気体用 流量センサ さい。 水用流量 センサ 故障・誤作動の原因になります。 全空圧システム （トータルエア） 取付・据付・調整時 全空圧システム （ガンマ） 注意 巻末 ■多孔質全面でワークが吸引できない時は吸着力が低下 しますのでご相談ください。 ■製品の装置等への取付けは M4 の六角穴付きボルト をご使用ください。締めつけトルクは 0 . 6 2 ∼ 0.75N･m で締めつけて固定してください。 ■端部のネジ、 側面の穴、ボディ下の隙間から異物が入 らないように保管してください。その為に、装置への 据付け・配管実施寸前まで、包装袋から出さないでく ださい。 異物が入ると、故障・誤作動の原因になります。 ■ポートシール （保護シール）は配管直前まで外さない でください。 ■装置側取付面はエタノール拭き、 エアブロー等により 異物を除去してください。 1034 PVPSeries 形番表示方法・内部構造および部品リスト 取付・据付・調整時 冷凍式 ドライヤ 注意 乾燥剤式 ドライヤ ■長時間使用しない場合は、 乾燥した清浄な環境にてポ リエチレン袋などに入れて保管してください。再度 使用する場合、装置への据付け・配管実施寸前まで、 包装袋から出さないでください。 異物が入ると、故障・誤作動の原因になります。 ■運転前に、 負荷や継手締結部の緩み、異常がないこと ■取扱説明書は必ず読んでください。 高分子膜式 ドライヤ 内容を理解した上で製品をご使用ください。 エア フィルタ ■機器が適正に作動することを確認してから使用してく ださい。 取付、修理、改造後に、適正な機能検査を行って正しい取付が なされていることを確認してください。 ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） F.R.L （セパレート） 小形F・R を確認してください。 精密R F.R.L （関連機器） 使用・メンテナンス時 注意 ■屋外および粉塵の多い環境をさけて設置してください。 直射日光により材質が劣化する恐れがあります。 粉塵により多孔質の目づまりとなり吸着力が低下し ます。 ■多孔質面に面圧1.0MPa以上の押圧を加える用途で は使用しないでください。 ■多孔質面に部分荷重、 衝撃を加える用途では使用しな いでください。 ■製品を設置させる面はそりがなく平面精度が出ている ●多孔質面に切削油、粉塵等をかけないようにしてください （多孔質材料は汚れが非常に落ちにくい素材です。一度汚れ ると除去できません。） ■製品の取付け・取り外し時には必ず残圧を排出してか ら作業してください。 クリーン F・R 電空R エア ブースタ スピード コントローラ サイレンサ ■長時間放置した後にシステムを起動する場合には、 正 常作動の確認運転を行ってから本稼動に移ってくだ さい。 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ 真空F 真空R ■本製品を最適機能でご使用いただくために1∼2回/ 年、下記定期点検を行ってください。 吸着 プレート ことを確認してください。 ①外部への漏れの有無の確認 ファイン バッファ 平面精度が出ていないと製品固定の際、そり、たわみ等の不具 合が発生します。 ②吸着性能の低下 機械式 圧力SW ■製品に追加工を行わないでください。 加工歪みなどにより精度が劣化します。 ■取付けの際、本品の精度劣化、永久変形を防ぐ為に、 下記項目を守ってください。 ●点で支持しない、壁へ立てかけないでください （自重による歪み、たわみを避ける為、定盤等の平面に置い てください。） ●引き摺らない、衝撃を加えないでください （本品は擦り傷がつきやすいので、持ち上げて動かしてくだ さい。） ③外観不良（キズ、多孔質の欠け、表面の汚れ）の確認 電子式 圧力SW ■真空発生器は、 ワークが多孔質面に触れてから作動さ せるようにしてください。 エアセンサ （多孔質材料が周囲の粉塵を吸い込むことを低減、汚れ防止に なります。） ●着荷後すぐに取付けないでください （熱平衡になる前に取付けますと、熱膨張、収縮により形状 精度が劣化する可能性があります。使用雰囲気に 24時間さ らしてください。） クーラント用 圧力SW 小形流量 センサ ■帯電防止効果は製品の洗浄、 ワークの吸着頻度等の使 用環境により低下します。効果の低下が見られた場 合、再度のコーティングをお勧めします。 小形流量 コントローラ 気体用 流量センサ 水用流量 センサ ■メンテナンス管理が正しく実施されるように日常点 検、定期点検を計画的に実施してください。 メンテナンス不十分の場合、製品機能が著しく低下し短寿命、 ●衝撃を加えないでください （打痕傷は平面精度悪化の原因となります。取り付け・搬送 時には多孔質平面・側面ともに保護してください。） 着座・密着 確認SW 破損、誤作動などの不具合を招きます。 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） 巻末 精真 密空 吸機 使用しないでください。 着器 取付、修理、改造後に、適正な機能検査を行って正しい取付が プ レ なされていることかを確認してください。 ー ト ■漏れ量が増大したり機器が適正に作動しない場合は、 1035 精密吸着プレート PVP Series 冷凍式 ドライヤ 乾燥剤式 ドライヤ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） 仕様 PVP-R-36-18 F.R.L （セパレート） PVP-C-50 小形F・R 項 目 精密R PVP-S-50-50 F.R.L （関連機器） PVP-R-85-27 PVP-R-118-18 PVP-C-75 PVP-C-100 PVP-C-113 PVP-C-138 PVP-S-100-100 PVP-C-187 PVP-S-150-150 PVP-S-200-250 4 クリーン F・R 吸着面 平面度 2 3 μm（注1） 平行度 5 10 15 電空R 基準面平面度 10 10 10 エア ブースタ エアリーク量 0.6 1 製 品 スピード コントローラ μm /min（ANR） kPa（注2） 真空差圧 MPa 使用加圧力 サイレンサ 使用温度範囲 逆止め弁・ チェック弁他 使用湿度範囲 ℃ ％RH（注3） 材質 継手・ チューブ 多孔質部 ベース部 真空R 40以上 0.2以下（清浄空気） 5∼40 65以下 3フッ化塩化エチレン樹脂 ％ 気孔率 ショアD硬度 真空F 0.4 度 材質 40±5 60±15 耐食アルミ合金 （注4） 表面処理 吸着 プレート なし 注1：この精度は23℃の恒温室内に24時間放置した時の測定値です。 23℃から外れる温度雰囲気では精度は変化し、仕様値を外れる可能性があります。 ファイン 測定方法は製品を定盤上に無負荷で置いた時の真直度（2方向以上）を測定し、その最大値をもって規定しています。 バッファ 本来の平面度の測定方法ではありませんが、多孔質の窪みがある為、このような測定方法をとっています。 機械式 圧力SW 注2：ワークを多孔質全面で真空吸着した時の真空源の圧力降下値をあらわします。 注3：65％RHをこえる湿度雰囲気では、吸着面精度が劣化し、仕様値を外れる可能性があります。 電子式 圧力SW 注4：本製品のボディ材質は耐食アルミ合金の生材となります。 表面処理（アルマイト処理、無電解ニッケルめっきなど）の指定がある場合は受注生産対応となります。 着座・密着 確認SW エアセンサ クーラント用 圧力SW 小形流量 センサ 小形流量 コントローラ 気体用 流量センサ 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） 巻末 吸着面積・質量表 形 番 PVP-R-36-18 PVP-R-85-27 PVP-R-118-18 PVP-C-50 PVP-C-75 PVP-C-100 PVP-C-113 PVP-C-138 PVP-C-187 PVP-S-50 -50 PVP-S-100 -100 PVP-S-150 -150 PVP-S-200 -250 1036 吸着面積（cm2） 8 51 107 20 44 79 100 149 275 25 100 225 500 質量（g） 80 290 520 140 250 390 490 680 1,170 160 490 980 2,030 PVPSeries 形番表示方法・内部構造および部品リスト 形番表示方法 冷凍式 ドライヤ ●丸形吸着プレート形番表示方法 C 50 CP A 丸形 イ ロ ハ PVP 乾燥剤式 ドライヤ ●四角形吸着プレート形番表示方法 PVP S 50-50 四角形 イ CP A ロ ハ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） イ 多孔質外径寸法 ロ 真空ポート位置 ハ オプション 50 75 100 113 138 187 無記号 側面ポート CP 裏面ポート 無記号 なし A 帯電防止処理 多孔質短辺寸法 多孔質長辺寸法 イ 50-50 100-100 150-150 200-250 F.R.L （セパレート） ロ 真空ポート位置 ハ オプション 無記号 側面ポート CP 裏面ポート 無記号 なし A 帯電防止処理 小形F・R 精密R F.R.L （関連機器） クリーン F・R 電空R エア ブースタ スピード コントローラ ●ドーナツ形吸着プレート形番表示方法 PVP R 36-18 ドーナツ形 イ サイレンサ CP A 逆止め弁・ チェック弁他 ロ ハ 継手・ チューブ 真空F 真空R 多孔質外径寸法イ 多孔質内径寸法 36-18 85-27 118-18 ロ 真空ポート位置 ハ オプション 無記号 側面ポート CP 裏面ポート 無記号 なし A 帯電防止処理 吸着 プレート ファイン バッファ 機械式 圧力SW 電子式 圧力SW 着座・密着 確認SW エアセンサ 内部構造および部品リスト クーラント用 圧力SW 小形流量 センサ 小形流量 コントローラ 2 気体用 流量センサ 1 エポキシ樹脂 接着 エポキシ樹脂含浸 多孔質外周シール 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） 巻末 精真 密空 吸機 着器 プ レ ー ト 真空ポート ●部品リスト 品番 1 2 部品名称 多孔質 ベース 材 質 三フッ化塩化エチレン樹脂 耐食アルミ合金 1037 PVPSeries 乾燥剤式 ドライヤ 高分子膜式 ドライヤ 外形寸法図 ●PVP-C-※ 15 +0.2 0 13 エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） D C 8 45 ﾟ F.R.L （関連機器） φA 精密R φB 20ﾟ 小形F・R クリーン F・R ﾟ 45 φ4深さ6 設置時補助穴 ﾟ 45 F.R.L （セパレート） 45 ﾟ 冷凍式 ドライヤ Ｍ5 深さ5、 φ9座ぐり深さ1 真空ポート 電空R 7 エア ブースタ 4−Ｍ4 深さ6、 φ8座ぐり深さ0.5 取付け穴 4−φ4.5、 φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴 スピード コントローラ サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ 真空F 真空R 形番 PVP-C-50 PVP-C-75 PVP-C-100 PVP-C-113 PVP-C-138 Ａ 50 75 100 113 138 Ｂ 72 97 122 135 160 Ｃ 62 87 112 125 150 Ｄ 30 50 70 70 90 吸着 プレート ファイン バッファ 機械式 圧力SW ●PVP-C-187 着座・密着 確認SW 15 +0.2 0 エアセンサ 13 クーラント用 圧力SW 8 19 9 小形流量 コントローラ ﾟ 気体用 流量センサ 45 45 φ4深さ6 設置時補助穴 Ｍ5 深さ5、 φ9座ぐり深さ1 真空ポート φ187 全空圧システム （ガンマ） φ209 全空圧システム （トータルエア） ﾟ 35ﾟ 22.5ﾟ 水用流量 センサ 45 ﾟ 110 巻末 ﾟ 小形流量 センサ 45 電子式 圧力SW 7 8−φ4.5、φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴 1038 8−M4 深さ6、 φ8座ぐり深さ0.5 取付け穴 PVPSeries 外形寸法図 外形寸法図 冷凍式 ドライヤ 乾燥剤式 ドライヤ ●PVP-S-※ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ E 15 +0.2 0 C 13 8 A 4−Ｒ 3以下 多孔質角部 ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） G F.R.L （セパレート） φ4 深さ6 設置時補助穴 小形F・R 精密R F.R.L （関連機器） H 15 B D F Ｍ5 深さ5 真空ポート クリーン F・R 電空R エア ブースタ スピード 4−φ4.5、 φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴 4−Ｍ4 深さ6、φ8座ぐり深さ0.5 コントローラ 取付け穴 7 サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ 形番 PVP-S-50-50 PVP-S-100-100 PVP-S-150-150 Ａ 50 100 150 Ｂ 50 100 150 Ｃ 58 108 158 Ｄ 58 108 158 Ｅ 70 120 170 Ｆ 70 120 170 Ｇ 40 80 120 Ｈ 40 80 120 真空F 真空R 吸着 プレート ファイン バッファ 機械式 圧力SW 電子式 圧力SW ●PVP-S-200-250 着座・密着 確認SW エアセンサ 15+0.2 0 13 226 4−Ｒ 3以下 多孔質角部 106 クーラント用 圧力SW 106 8 90 200 90 小形流量 コントローラ φ4深さ6 水用流量 センサ 65 81 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） 100 巻末 65 15 Ｍ5 深さ5 真空ポート 100 250 276 気体用 流量センサ 設置時補助穴 精真 密空 吸機 着器 プ レ ー ト 7 81 小形流量 センサ 10−φ4.5、 φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴 10−Ｍ4 ねじ深さ6、 φ8座ぐり深さ0.5 取付け穴 1039 PVPSeries 乾燥剤式 ドライヤ 高分子膜式 ドライヤ 外形寸法図 ●PVP-R-※ エア フィルタ 15 +0.2 0 13 8 E F.R.L （モジュラー） F ドレン 排出器他 F.R.L （セパレート） Ｍ5 深さ5、 φ9座ぐり深さ1 真空ポート 45 ﾟ φB φA 20ﾟ φC φD ﾟ F.R.L （関連機器） ﾟ 45 45 小形F・R 精密R φ4深さ6 設置時補助穴 クリーン F・R 45 ﾟ 冷凍式 ドライヤ 電空R 4−φ4.5、 φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴 エア ブースタ スピード コントローラ 7 4−Ｍ4 深さ6、 φ8座ぐり深さ0.5 取付け穴 サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ 真空F 真空R 形番 PVP-R-36-18 PVP-R-85-27 PVP-R-118-18 Ａ 36 85 118 B 18 27 18 Ｃ 58 107 140 Ｄ 16 25 16 吸着 プレート ファイン バッファ 機械式 圧力SW 真 空 ポ ー ト 位 置 裏 面 ポ ー ト（ C P ） 電子式 圧力SW 着座・密着 確認SW ●PVP-C-※ ●PVP-C-187 エアセンサ クーラント用 圧力SW 小形流量 センサ 小形流量 コントローラ 気体用 流量センサ 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） 全空圧システム （ガンマ） 巻末 Ｍ5 深さ5 真空ポート Ｍ5 深さ5 真空ポート 1040 Ｅ 48 97 130 Ｆ 30 60 90 PVPSeries 外形寸法図・技術資料 外形寸法図 冷凍式 ドライヤ 真空ポート位置 裏面ポート（ CP） 乾燥剤式 ドライヤ ●PVP-S-200-250 ●PVP-S-※ 高分子膜式 ドライヤ エア フィルタ ドレン 排出器他 F.R.L （モジュラー） F.R.L （セパレート） 小形F・R 精密R F.R.L （関連機器） クリーン F・R 電空R エア ブースタ スピード コントローラ Ｍ5 深さ5 真空ポート Ｍ5 深さ5 真空ポート サイレンサ 逆止め弁・ チェック弁他 継手・ チューブ ●PVP-R-※-18 ●PVP-R-85-27 真空F 真空R 吸着 プレート ファイン バッファ 機械式 圧力SW 電子式 圧力SW 着座・密着 確認SW Ｍ5 深さ5 真空ポート Ｍ5 深さ5 エアセンサ 30 クーラント用 圧力SW 15 真空ポート 小形流量 センサ 小形流量 コントローラ 気体用 流量センサ 技術資料 水用流量 センサ 全空圧システム （トータルエア） ●垂直方向吸着力（参考データ） 全空圧システム （ガンマ） 10.0 ※アルミ合金条件 吸着面平面度 1um以下 面粗 Ry0.1以下 PVP(気孔率40％)の吸着力 気孔率100％の吸着力 9.0 吸着力（N/cm2） 精真 密空 吸機 着器 プ レ ー ト F 8.0 7.0 φ6長さ100 +φ8長さ500 6.0 5.0 Vacuum 4.0 巻末 ｝ アルミ合金板 ｝PVP 3.0 2.0 1.0 0.0 0 -20 -40 -60 到達真空度 （kPa） -80 -100 本データは上記（PVP-S-50-50）で測定された参考データです。 真空到達度の下限がゼロでないのは多孔質、配管による配管抵抗があるためです。 上記以外では、配管抵抗、被吸着物の形状、面粗等により、吸着力が変わる可能性 があります。 1041
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