第30回プラズマプロセシング研究会（SPP-30）講演 - 静岡大学工学部

第30回プラズマプロセシング研究会（SPP-30）　講演日程
1月21日（月）
オープニング
10:00-10:10 S会場
プラズマ医療・
バイオ応用1
（A1: 4件）
10:20-11:40 S会場
プラズマによるエッチング
（B1: 4件）
10:20-11:40 B会場
昼食　11:40-13:00
1月22日（火）
プラズマ医療・
バイオ応用2
（A3: 4件）
9:00-10:20 A会場
ナノテクノロジー
（B3: 4件）
9:00-10:20 B会場
特別講演
水野　彰　（豊橋技術科学大学）
10:40-11:40 S会場
指定テーマ講演
原　勉　（浜松ホトニクス中央研究所）
10:40-11:40 S会場
昼食　11:40-13:00
昼食　11:40-13:00
プロセシングプラズマの大気圧・マイクロプラズマ
診断・計測・モニタリング2
の基礎と応用
（A6: 4件）
（B6: 4件）
13:00-14:20 A会場
13:00-14:20 B会場
指定テーマ講演
堀　勝　（名古屋大学）
13:00-14:00 S会場
休憩　14:00-14:20
休憩　14:00-14:20
ポスター 1
16:00-18:00 S会場
懇親会
18:30-20:30 ホテルクラウンパレス
プラズマによる表面改質
（B5: 4件）
9:00-10:20 B会場
休憩　10:20-10:40
特別講演
プラズマの発生と制御
（B2: 4件）
14:20-15:40 B会場
エネルギー環境応用
（A5: 4件）
9:00-10:20 A会場
休憩　10:20-10:40
藤山　寛　（長崎大学）
13:00-14:00 S会場
液相及び気液界面
プラズマの基礎と応用
（A2: 4件）
14:20-15:40 A会場
1月23日（水）
プロセシングプラズマの
プラズマによる薄膜形成1
診断・計測・モニタリング1
（B4: 4件）
（A4: 4件）
14:20-15:40 B会場
14:20-15:40 A会場
ポスター 2
16:00-18:00 S会場
休憩　14:20-14:40
プラズマ医療・
バイオ応用3
（A7: 4件）
14:40-16:00 A会場
プラズマによる薄膜形成2
（B7: 4件）
14:40-16:00 B会場
クロージング
16:00－16:10 A会場
S会場：浜松研修交流センター2階音楽工房ホール
A会場：浜松研修交流センター6階 62研修交流室
B会場：浜松研修交流センター5階 51研修交流室
目
次
会場
S 会場
（浜松研修交流センター２階音楽ホール）
A 会場
（浜松研修交流センター６階６２研修交流室）
B 会場
（浜松研修交流センター５階５１研修交流室）
1 月 21 日
：特別講演，指定テーマ講演，
一般講演（A1），ポスター発表（P1, P２）
：一般講演（A2-A7）
：一般講演（B1-B7）
特別講演
S 会場
13:00-14:00 プラズマ技術の課題と将来展望
S-01
長崎大学大学院工学研究科
藤山寛
1 月 22 日
1
特別講演
S 会場
10:40-11:40 低温プラズマバイオプロセッシングの応用と影響評価
S-02
豊橋技術科学大学環境・生命工学系
水野彰
1 月 22 日
指定テーマ講演
3
S 会場
13:00-14:00 プラズマ医療科学の創成とその展望
1
T-01
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻, 2 名古屋大学大学院医学系研究科健康社会
医学専攻, 3NU エコ・エンジニアリング（株）
○
堀勝1, 井関紗千子1, 田中昌弘1, 石川健治1, 近藤博基1, 竹田圭吾1, 関根誠1, 中村香江2,
林萌美2, 梶山広明2, 加納浩之3, 吉川史隆2
1 月 23 日
指定テーマ講演
S 会場
10:40-11:40 光技術による未知未踏への挑戦
T-02
浜松ホトニクス株式会社中央研究所
原勉
1 月 21 日
5
7
プラズマ医療・バイオ応用 1
S 会場
10:20-10:40 低温プラズマジェットの殺菌効果の解析
A1-01
豊橋技術科学大学大学院
○
中島知子, 安田八郎, 栗田弘史, 高島和則, 水野彰
9
10:40-11:00 大気圧マイクロプラズマ照射による微生物殺菌の研究
A1-02
静岡大学イノベーション社会連携推進機
○
立松成基, マリウスブラジャン, 清水一男
11
11:00-11:20 O(3Pj)とO2(1Δg)密度測定によるミドリカビ胞子の殺菌因子の評価
1
A1-03
名城大学理工学部, 2名古屋大学大学院工学研究科
○
橋爪博司1, 太田貴之1, 賈鳳東2, 竹田圭吾2, 石川健治2, 堀勝2, 伊藤昌文1
13
(1)
11:20-11:40 大気圧プラズマにより誘起される水中における活性酸素・活性窒素種の生成
A1-04
大阪大学大学院工学研究科
○
金澤龍也, 浜口智志
1 月 21 日
プラズマによるエッチング
15
B 会場
10:20-10:40 塩素ガスプラズマによる窒化ガリウムの高温エッチング
B1-01
名古屋大学大学院工学研究科
米谷亮祐, 陳尚, 曹佳棟, 劉沢铖, 石川健治, 竹田圭吾, 近藤博基, ○関根誠, 天野浩, 堀勝
17
10:40-11:00 分子動力学法による Si/Cl，Si/Br プラズマエッチングの解析：表面反応層内の原子分布と結合状態
B1-02
京都大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻
○
中崎暢也，津田博隆，鷹尾祥典，江利口浩二，斧髙一
19
11:00-11:20 誘導結合型低圧マイクロプラズマジェットとシリコンエッチングへの応用
B1-03
東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻
○
陳強, 土屋章一, 一木隆範
21
11:20-11:40 CHF3, CH2F2分子の電子励起解離過程
B1-04
名古屋大学, プラズマナノ工学研究センター
○
林俊雄, 石川健治, 関根誠, 堀勝
23
1 月 2１日
液相及び気液界面プラズマの基礎と応用
A 会場
14:20-14:40 大気圧グロー放電から照射される電子またはイオンによって誘起される液中反応
A2-01
首都大学東京大学院理工学研究科
○
杤久保文嘉, 白井直機, 内田諭
25
14:40-15:00 臨界点近傍を含む高密度環境下における He クライオプラズマの発生プロセス
A2-02
東京大学大学院新領域創成科学研究科
○
宗岡均, 占部継一郎, 寺嶋和夫
27
15:00-15:20 気液界面プラズマ利用ナノ粒子合成に対するイオン照射エネルギーの効果
A2-03
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
○
高橋祥平, 金子俊郎
29
15:20-15:40 パンチングメタルを有するソノプラズマ生成装置におけるシャドウグラフイメージング
1
A2-04
北海道大学大学院工学研究院量子理工学部, 2名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専
攻
○
岩田悠史1, 西山修輔1, 富岡智1 , 高田昇治2, 佐々木浩一1
31
プラズマの発生・制御
1 月 21 日
B 会場
14:20-14:40 915 MHz UHF 波励起大面積表面波プラズマ装置におけるアンテナ構造の最適化
B2-01
静岡大学創造科学技術大学院
○
昌錫江, 永津雅章
14:40-15:00
B2-02
プラズマ−壁相互作用によるナノ粒子生成に対する壁へのプラズマ流入角度の効果
九州大学, 2 Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, 3Institute for
Experimental and Applied Physics, Christian-Albrechts-University Kiel
○
古閑一憲 1, 西山雄士 1, 立石瑞樹 1, 白谷正治 1, Harm Wulff2, Sven Bornholdt3, Holger Kersten3
1
(2)
33
35
15:00-15:20 高集束・高電流密度を有した低エネルギー多種イオンビームシステムの開発に関する研究
B2-03
産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門
○
榊田創, 小口治久, 木山學, 平野洋一, 島田壽男, 佐藤康宏
37
15:20-15:40
B2-04
磁場中多相交流放電プラズマによる新規紫外線源の開発とその応用
富山県立大学工学部, 2 立山マシン株式, 3 コーセル株, 4MRC ポリサッカライド株式富山工場, 5 ダイヤ
ニトリックス株式富山工場, 6 三菱化学エンジニアリング゛株式富山事業所
○
松本和憲 1, 織田誠二 1, 清水弘慈 2, 内山英史 2, 白石信行 3, 二宮弘文 4, 渡辺幹治 5,
永越茂治 6
1 月 22 日
プラズマ医療・バイオ応用 2
39
1
A 会場
9:00-9:20
A3-01
41
GFPをコートタンパク質に発現する枯草菌胞子を用いた大気圧放電プラズマによる不活化過程の解析
1
豊橋技術科学大学大学院環境・生命工学系, 2岡山大学大学院医歯薬学総合研究科, 3摂南大学薬学
部
○
谷友樹 1, 安田八郎 1, 今村大輔 2, 栗田弘史 1, 高島和則 1, 渡部一仁 3, 水野彰 1
9:20-9:40
A3-02
大気圧プラズマ照射による RNA ファージ不活化のメカニズム
豊橋技術科学大学大学院工学研究科
○
中小原千喜憲, 安田八郎, 栗田弘史, 高島和則, 水野彰
43
9:40-10:00 質量分析法による表面波励起窒素プラズマを用いたシステイン修飾に関する研究
1
A3-03
静岡大学電子工学研究所, 2静岡大学創造科学技術大学院
○
モトレスクイウリアナ1, 永津雅章2
45
10:00-10:20 大気圧プラズマを照射した脂質二重膜の蛍光退色回復の観察
1
A3-04
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学専攻, 2 豊橋技術科学大学エレクトロニクス先端融合研究所
○
加藤諒 1, 須田善行 1, 田上英人 1, 滝川浩史 1, 手老龍吾 2
47
1 月 22 日
ナノテクノロジー
B 会場
9:00-9:20
B3-01
金属ナノ粒子表面の局在プラズマ(表面プラズモン)共鳴による光学応答増強とバイオセンシング応用
産総研健康工学研究部門
○
山本裕子, 伊藤民武
49
9:20-9:40
B3-02
プラズマ CVD による Cu 上グラフェンの成長
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
○
宮脇芳博, 林康明
51
9:40-10:00 拡散プラズマCVDによるカイラリティ分布の狭い単層カーボンナノチューブの多量合成
B3-03
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
○
村越幸史, 加藤俊顕, 畠山力三, 金子俊郎
53
10:00-10:20 ダイヤモンド膜の RF 酸素プラズマエッチングによる高密度ナノウィスカーの形成
1
B3-04
高知工科大, 2 高知工科大ナノテク研
○
角田拓也 1, 中村有希 1, 陰山和臣 1, 針谷達 1, 古田寛 1,2, 八田章光 1,2
55
1 月 22 日
プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング 1
14:20-14:40 反応性プラズマ中の微粒子成長速度の時空間相関
A4-01
九州大学
○
白谷正治, 鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 徐鉉雄
(3)
A 会場
57
14:40-15:00 高精度なその場プラズマインピーダスモニタリグ手法の開発
1
A4-02
独立行政法人産業技術総合研究所生産計測技術研究センター, 2 株式会社アドバンテスト
○
本村大成 1, 笠嶋悠司 1, 上杉文彦 1, 栗田裕之 2, 木村直也 2
59
15:00-15:20 窒素‐水素プラズマにおける発光の圧力依存性
1
A4-03
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門, 2 島根県産業技術センター浜田技術センター
○
鈴木淳 1, 朝比奈秀一 2
61
15:20-15:40 微粒子プラズマにおける微粒子表面とガス分子の温度の測定
A4-04
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科電子システム工学部門
○
高橋和生
63
1 月 22 日
プラズマによる薄膜形成 1
B 会場
14:20-14:40 斜め堆積反応性スパッタリングにより作製した微絨毛構造化窒化スズ薄膜の特性
1
B4-01
千葉工業大学工学部, 2 関東学院大学材料・表面工学研究所
○
井上泰志 1, 大川修平 2, 佐藤怜 2, 荻島大樹 2, 高井治 2
65
14:40-15:00 窒素雰囲気下で RF 駆動大気圧プラズマジェットにより堆積した銅薄膜の特性
1
B4-02
静岡大学創造科学技術大学院, 2 矢崎総業株式会社
○
趙鵬 1，鄭偉 2，永津雅章 1
67
15:00-15:20 マイクロ波プラズマ CVD 法を用いたダイヤモンド成長におけるメタンパルス導入の効果
1
B4-03
高知工科大, 2 高知工科大ナノテク研
○
中村有希1, 角田拓也1, 陰山和臣1, 針谷達1, 古田寛1,2, 八田章光1,2
69
15:20-15:40 プラズマ励起ミスト化学気相成長法を用いた絶縁膜合成
1
B4-04
名古屋大学大学院工学研究科, 2 東京エレクトロン株式会社
○
孫昿達1, 竹田圭吾1, 近藤博基1, 田嶋聡美1, 石川健治1, 関根誠1, 堀勝1, 伊藤仁1,2
71
1 月 23 日
エネルギー環境応用
A 会場
9:00-9:20
A5-01
レーザープラズマを用いたアルミナ還元の実験的検討
1
静岡大学, 2東京大学, 3都立産業技術高専, 4日本エクス・クロン株式会社
○
福路直大１, 米田進吾２, 松井信１, 中野正勝３, 山極芳樹１, 小紫公也２, 荒川義博２, 後藤徹也４,
白形弘文４
73
9:20-9:40
A5-02
パルス放電プラズマを用いた水汚染物質の除去およびナノ粒子生成
1
名古屋大学工学部, 2名古屋大学大学院工学研究科
○
林祐衣1, ワーユディオノ2, シティマームダー2, 後藤元信2
75
9:40-10:00 多孔質誘電体内の水溶液中プラズマの水処理効率の改善
A5-03
大阪市立大学工学研究科電子情報系専攻
○
姫野勇大, 白藤立
77
10:00-10:20 キャビティーリングダウン吸収分光法によるプラズマ支援バーナー火炎中のOH密度測定におけるミラー
A5-04
径の影響
1
北海道大学大学院工学院量子理工学専攻, 2 北海道大学大学院工学研究院量子理工学部門
○
財満和典 1, 富岡智 2, 佐々木浩一 2
79
(4)
1 月 23 日
プラズマによる表面改質
B 会場
9:00-9:20
B5-01
大気圧マイクロプラズマを用いた GaN 基板表面改質の検討
1
静岡大学イノベーション社会連携推進機構, 2 名城大学理工学部材料機能工学科
○
野間悠太 1, マリウスブラジャン 1, 成塚重弥 2, 清水一男 1
81
9:20-9:40
B5-02
医療用高分子薄膜に与える大気圧マイクロプラズマの影響
静岡大学イノベーション社会連携推進機構
○
福永穂高, マリウスブラジャン, 清水一男
83
9:40-10:00 ZnO ナノ微粒子のフォトルミネセンス特性と結晶特性におけるアンモニアプラズマ処理の効果
1
B5-03
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学電子工学研究所, 3 アレクサンドルイワンクザ大学物理学
科
○
チョランミハイアレクサンドル 1,3, モトレスクイウリアナ 2, ルカドミトル 3, 永津雅章 1
85
10:00-10:20 大気圧窒素プラズマジェットによる低合金綱の高速硬化法
1
B5-04
大分大学工学部, 2 静岡理工科大学理工学部
○
市來龍大 1, 永松寛和 1, 井上貴史 1, 吉光祐樹 1, 吉田昌史 2, 赤峰修一 1, 金澤誠司 1
87
1 月 23 日
プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング 2
A 会場
13:00-13:20 マイクロ波リモート窒素プラズマダウンストリームにおける活性種密度
1
A6-01
北海道大学大学院工学研究科量子理工学専攻, 2名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工
学研究センター, 3北海道大学大学院工学研究院量子理工学部門
○
堀川佳峰1, 林俊雄2, 佐々木浩一3
89
13:20-13:40 プラズマCVDおよび壁面クリーニングにおけるカーリングプローブによる電子密度測定
A6-02
中部大学工学部
○
パンデイアニル, 加藤公孝, 池澤俊治郎, 中村圭二, 菅井秀郎
91
13:40-14:00 吸収分光法を用いた基底原子数密度測定法の開発
1
A6-03
静岡大学大学院工学研究科, 2静岡大学工学部
○
桑原彬1, 福路直大1, 森田陵2, 松井信2, 山極芳樹2
93
95
14:00-14:20 フーリエ変換赤外吸収分光法を用いた Cl2 プラズマによる Si エッチングの反応解析
A6-04
京都大学
○
福島大介, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一
1 月 23 日
大気圧・マイクロプラズマの基礎と応用
B 会場
13:00-13:20 大気圧プラズマにより合成されたヒドラジンによるフラクタル状金属ナノネットワーク構造の作製
1
B6-01
京都大学工学研究科電子工学専攻, 2東京大学新領域創成科学研究科物質系専攻, 3東京工業大学
総合理工学研究科物質電子化学専攻
平岡悠 1, 占部継一郎 1,2, 田中正信 3, ○酒井道 1
97
13:20-13:40 マイクロ熱プラズマジェットを用いたアモルファスシリコン細線の結晶成長制御および薄膜トランジスタ特
B6-02
性ばらつきの改善
広島大学大学院先端物質科学研究科
○
森崎誠司, 林将平, 藤田悠二, 東清一郎
99
13:40-14:00 中高圧力におけるマイクロホローカソード放電中の粒子の挙動
1
B6-03
和歌山大学システム工学部, 2名城大学理工学部, 3名古屋大学大学院工学研究科
井上真里1, ○太田貴之2, 伊藤昌文2, 堀勝3
101
(5)
14:00-14:20 MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工
1
B6-04
豊田工業大学大学院工学研究科, 2名城大学理工学部, 3名古屋大学大学院工学研究科
○
島根竜太郎1, 熊谷慎也1, 太田貴之2, 伊藤昌文2, 堀勝3, 佐々木実1
1 月 23 日
プラズマ医療・バイオ応用 3
103
A 会場
14:40-15:00 窒素ガスプラズマによるアスペルギルス不活化のメカニズム
1
A7-01
琉球大学医学部, 2 日本ガイシ株式会社
○
大城佑馬 1, 上原匠平 1, 清水尚博 2, 今西雄一郎 2, 作道章一 1
15:00-15:20
A7-02
105
静電誘導(SI)サイリスタ電源を用いた窒素ガスプラズマのアスペルギルスに与える影響の解析
琉球大学医学部, 2 日本ガイシ株式会社
○
上原匠平 1, 大城佑馬 1, 岸本英樹 1, 清水尚博 2, 今西雄一郎 2, 作道章一 1
107
1
15:20-15:40 大気圧酸素ラジカル源によって処理された微生物のラマン分光
1
A7-03
名城大学大学院理工学研究科, 2 名古屋大学大学院工学研究科
○
加藤寛人 1, 橋爪博司 1，太田貴之 1, 平松美根男 1, 堀勝 2, 伊藤昌文 1
109
15:40-16:00 歯科ならび外科消毒を目指した低 pH 法とプラズマ処理水を用いた殺菌技術
1
A7-04
大阪大学工学研究科原子分子イオン制御理工学センター, 2 大阪府立産業技術総合研究所, 3 大阪
大学理学研究科, 4 鶴見大学歯学部, 5 国立がん研究センター東病院
○
北野勝久 1, 井川聡 2, 谷篤史 3, 山崎弘光 4, 大島朋子 4, 金子和弘 5, 伊藤雅昭 5, 桑田健 5,
柳下淳 5
111
1 月 23 日
プラズマによる薄膜形成 2
B 会場
14:40-15:00 次世代フレキシブルデバイス創成に向けた誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリングによる半導体薄 113
B7-01
膜の低温形成
1
大阪大学接合科学研究所, 2株式会社イー・エム・ディー
○
節原裕一1, 竹中弘祐１, 大谷浩史1, 江部明憲2
15:00-15:20 CZTS ターゲット RF マグネトロンスパッタリングによる CZTS 成膜特性
B7-02
北海道大学大学院工学院量子理工学部門
○
菊地瞬也, 佐々木浩一
115
15:20-15:40 粗大化した結晶単位胞をもつ sp3-結合性 BN 多形のレーザプラズマ複合化 CVD による形成
B7-03
物質・材料研究機構
小松正二郎
117
15:40-16:00 マイクロ波励起表面波プラズマCVD法でシリコン基板上に直接グラフェン膜の成長
B7-04
中部大学工学電子情報工学科
○
アディカリスディープ, 内田秀雄, 脇田紘一, 梅野正義
119
1 月 21 日
ポスター 1
S 会場
16:00-18:00
P1-01
グリッドケージ高周波放電による新規低電子温度プラズマ生成法
東北大学大学院工学研究科
加藤公義, ○合田巧真, 飯塚哲
(6)
121
P1-02
平行平板型水中バブル放電特性における多孔金属電極構造の効果
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学工学部
○
ソニアムラディア 1, 岡田直也 2, 永津雅章 1,2
123
P1-03
シャンティングアークプラズマによる炭素・チタン混合プラズマの生成およびプローブ計測
1
岩手大学工学部電気電子・情報システム工学科，2 岩手大学工学部付属ソフトパス工学総合研究セン
ター
三河遼太 1, 高橋和貴 1,2, 向川政治 1,2, ○高木浩一 1,2
125
P1-04
対向型平板状ランチャーを用いた大容量マイクロ波プラズマ装置の滅菌特性
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
三井登志樹 1, 永津雅章 2
127
P1-05
小型マイクロ波光源を用いた真空紫外吸収分光法による滅菌用窒素/酸素表面波プラズマの酸素原子 129
密度測定
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学工学部, 3 北海道大学大学院工学研究院
○
昌錫江 1, 天川雅貴 2, 佐々木浩一 3, 永津雅章 1,2
P1-06
低圧マイクロ波放電水素プラズマの水素分子回転温度の発光分光計測とガス温度推定
1
東京工業大学大学院理工学研究科, 2 東京工業大学原子炉工学研究所
清水良浩 1, 根津篤 2, 松浦治明 2, ○赤塚洋 1,2
131
P1-07
大気圧空気プラズマによるアミノ基で終端された自己組織化膜の反応解析
長崎大学大学院工学研究科
○
天野勝裕, 深江陽大, 篠原正典, 藤山寛
133
P1-08
多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマプロセシング診断
長崎大学大学院工学研究科
○
天野勝裕, 八木翔平, 高木雄也, 深江陽大, 高見佳生, 津村高成, 篠原正典, 松田良信,
藤山寛
135
P1-09
飽和吸収分光法によるアルゴン準安定原子吸収スペクトルの均一広がり幅の測定
1
北海道大学大学院工学研究院量子理工学部門, 2 核融合科学研究所
○
西山修輔 1, 後藤基志 2, 佐々木浩一 1
137
P1-10
プラズマ中にある窒化ガリウム薄膜のフォトルミネッセンスその場モニタリング
中部大学工学部
○
中村圭二, 陳苗根, 中野由崇, 菅井秀郎
139
P1-11
シュタルク分光を用いた Ar 及び N2 添加大気圧マイクロ波プラズマの時分解計測
1
名古屋大学電子情報システム専攻, 2 プラズマナノ工学研究センター
○
江頭一輝 1, 村瀬卓也 1, 豊田浩孝 1,2
141
P1-12
アクチノメトリ法による酸素原子密度の高感度計測
三井造船（株）玉野技術開発センター
○
滝澤一樹
143
P1-13
エンジン内プラズマ支援燃焼のためのマイクロ波プラズマの発光分光計測
1
北海道大学大学院工学研究院量子理工学部門, 2 イマジニアリング（株）
○
相馬俊太郎 1, 寉岡亮治 2, 池田裕二 2, 佐々木浩一 1
145
(7)
P1-14
147
AE センサ内蔵ウエハステージによる異常放電の検出
1
2
3
産総研生産計測技術研究センター, 株式会社クリエイティブテクノロジー R＆D センター, 崇城大学
工学部,4 ルネサスセミコンダクタ九州・山口株式会社
○
笠嶋悠司 1, 田原竜夫 1, 小林由和 2, 八坂三夫 3, 山口信介 4, 秋山守人 1, 上杉文彦 1
P1-15
大気圧プラズマ照射された溶液の温度モニター
大阪府立大学放射線研究センター
○
松浦寛人, サンティ・コンメイ, 奥田修一
149
P1-16
低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布の研究
1
東京工業大学大学院総合理工学研究科, 2 東京工業大学原子炉工学研究所
○
今野潤哉 1, 根津篤 2, 松浦治明 2, 赤塚洋 2
151
P1-17
二電子ビーム法を用いた CH2F2 への電子衝突による CH2F ラジカル生成断面積測定
1
名古屋大学工学研究科電子情報システム専攻, 2 名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
○
小川勇人 1, 豊田浩孝 1,2
153
P1-18
電子スオーム法による CF3I の電子衝突断面積セットの推定
室蘭工業大学
○
川口悟, 李偉娜, 佐藤孝紀, 伊藤秀範
155
P1-19
誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れ
京都大学大学院工学研究科
○
鈴木惇也, 出口雅則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一
157
P1-20
X バンドマイクロ波励起マイクロプラズマスラスタ
京都大学大学院工学研究科
○
森大輔, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧髙一
159
P1-21
水－誘電体多層電極を用いた大気圧放電の水温度依存性
佐賀大学大学院工学系研究科電気電子工学専攻
○
三沢達也, 綾部孝之, 秋吉雄介
161
P1-22
反応拡散モデルによるマイクロギャップＤＢＤのシミュレーションと六角パターンの制御
岩手大学工学部
○
小田桐諒, 佐藤友彦, 藤原一延, 久保田悠揮, 多田静香, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也
163
P1-23
高気圧マイクロプラズマの発光分析
静岡大学イノベーション連携推進機構
○
マリウスブラジャン, 清水一男
165
P1-24
液中分散粒子のプラズマ処理のための大気圧プラズマ照射装置の作製とリン酸塩蛍光体を用いた評価 167
1
長岡技術科学大学工学部電気系, 2 長岡技術科学大学工学研究科原子力安全系
○
加藤有行 1, 山上紘平 1, 岩崎孝太郎 1, 佐々木徹 1, 菊池崇志 1,2, 阿蘇司 1, 原田信弘 1
P1-25
液体電極を用いた大気圧グロー放電の自己組織化における負性ガスの効果
首都大学東京大学院理工学研究科
白井直機, ○平原洋行, 内田諭, 杤久保文嘉
(8)
169
P1-26
円筒気中パルス放電装置の評価および水中有機物分解
群馬大学大学院工学研究科
○
谷野孝徳, 田村亨浩, 大嶋孝之
171
P1-27
パルスパワーを用いた有機染料の脱色におけるパルス幅の影響
1
岩手大学工学部, 2 岩手大学農学部, 3 シシド静電気株式会社
川野修太 1, ○高木浩一 1, 颯田尚哉 2, 高橋克幸 3
173
P1-28
プラズマシースと接する液面下の電気二重層の時空間挙動
大阪市立大学大学院工学研究科
中村明寛, ○白藤立
175
P1-29
大気圧プラズマガスのバブリングによる水処理の研究
鶴岡工業高等専門学校電気電子工学科
○
吉木宏之, 佐藤航平, シャフィック
177
P1-30
179
マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜高速除去プロセスの開発
1
2
3
金沢大学理工研究域, 金沢大学サステナブルエネルギー研究センター, 金沢工業大学応用化学科
○
野阪幸平 1, 石島達夫 2, 後藤洋介 3, 堀邊英夫 3, 田中康規 1,2, 上杉喜彦 1,2
P1-31
古典分子動力学シミュレーションによるプラズマから液体表面へのイオン照射に関する研究
首都大学東京大学院
○
皆川優大, 白井直機, 内田諭, 杤久保文嘉
181
P1-32
液中に設置されたチタンターゲットへのレーザー照射によるブルッカイト型 TiO2 の合成特性
1
北海道大学大学院工学研究院, 2 名古屋大学大学院工学研究科, 3 産業技術総合研究所ナノシステ
ム研究部門
○
竹内将人 1, 高田昇治 2, 越崎直人 3, 佐々木浩一 1
183
P1-33
マイクロ波液中プラズマ生成における超音波波動の影響
1
名古屋大学工学部電気電子・情報工学科, 2 名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
○
高橋朋大 1, 高田昇治 1, 豊田浩孝 1,2
185
P1-34
大気圧マイクロプラズマによる汚水浄化の研究
静岡大学イノベーション社会連携推進機構
○
正村直人, マリウスブラジャン, 清水一男
187
P1-35
液体電極を用いた大気圧グロー放電の電解反応による金属ナノ粒子の生成
首都大学東京大学院理工学研究科
○
白井直機, 内田諭, 杤久保文嘉
189
P1-36
ホール型 ESP におけるイオン風の影響
東京都市大学工学部
○
佐藤毅, 落合亮, 江原由泰
191
P1-37
タンデム型光電気化学セル実現へ向けた紫外光吸収層の高周波マグネトロン成膜
京都大学工学研究科電気電子工学専攻
秋山智英, 中村敏浩, ○酒井道
193
(9)
P1-38
195
ペストコントロール用ポータブルオゾンミストシステムの製作と殺虫圃場試験
2
3
熊本大学大学院自然科学研究科, 環境エネルギーラボ, 株式会社サンワハイテック
○
瀧川馨亮 1, 上野兼二 1, 長友拓也 1, 光木文秋 1, 池上知顯 1, 蛯原健治 2, 中村憲仁 3, 橋本幸
雄 3, 山下義隆 3
1
P1-39
ペストコントロール用ポータブルオゾンミストシステムにおける沿面放電電力及びオゾン溶解度の圧力依 197
存性
1
熊本大学大学院自然科学研究科, 2 環境エネルギーラボ, 3 株式会社サンワハイテック
○
上野兼二 1, 瀧川馨亮 1, 長友拓也 1, 光木文秋 1, 池上知顯 1, 蛯原健治 2, 中村憲仁 3,
橋本幸雄 3, 山下義隆 3
P1-40
電気二重層キャパシタに用いるカーボンナノウォール電極の電気化学評価
1
名城大学大学院工学研究科電気電子専攻, 2 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
○
吉田圭佑 1, 平松美根男 1, 近藤博基 2, 堀勝 2
199
P1-41
超臨界流体を用いた 2 段階担持法によるカーボンナノウォールへの超高密度 Pt-Au ナノ微粒子担持
1
名古屋大学工学研究科, 2NU エコ・エンジニアリング, 3 名城大学理工学部
○
堀部剛良 1, 近藤博基 1, 加納浩之 2, 石川健治 1, 平松美根男 3, 関根誠 1, 堀勝 1
201
P1-42
低圧パルス放電による二酸化炭素のメタンへの変換
東北大学大学院工学研究科
○
有田圭佑, 飯塚哲
203
P1-43
パルス放電プラズマによるバイオマスモデル化合物の分解
1
名古屋大学工学研究科, 2 スラバヤ工科大学工学部
○
ワーユディオノ 1, 林祐衣 1, シティマームダー1,2, 後藤元信 1
205
P1-44
半導体電子放出源を用いた光支援熱電子発電器の開発
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学工学部, 3 プラズマアプリケーションズ
○
荻野明久 1, 説田貴仁 2, 鈴木宥哉 2, 木村景亮 2, 永津雅章 1, 神藤正士 3
207
P1-45
大流量大気圧マイクロ波プラズマを用いた CO2 の削減
1
中部大学, 2 長瀬鉄工所
○
丹羽駿太 1, 森井良成 1, アニル・パンディ 1, 菅井秀郎 1, 池澤俊治郎 1, 長瀬典男 2
209
P1-46
パルスレーザーアブレーションを用いた超臨界二酸化炭素中での光発光強度の観察
1
名古屋大学工学研究科, 2 スラバヤ工科大学工学部, 3 名古屋大学大学院工学研究科, 4 北海道大学
大学院工学研究院
○
シティマームダー1,2, ワーユディオノ 1, 高田昇治 3, 佐々木浩一 4, 後藤元信 1
211
P1-47
円筒状微粒子プラズマにおけるクーロン結晶の構造
1
京都工芸繊維大学大学院電子システム工学専攻, 2 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所
○
斗内愛美 1, 高橋和生 1, 東辻浩夫 2, 足立聡 2
213
P1-48
ヘキサン・フェロセン同時入射による多層カーボンナノチューブの化学気相合成
静岡大学理学部物理学科
○
竹内啓太, 三重野哲
215
P1-49
低電力マイクロ波点灯高圧キセノンランプからのＶＵＶ放射
1
(株)プラズマアプリケーションズ, 2(株)ヒメジ理化
○
クラールマーチン 1, フサリクヤン 1, 森井克之 2, 赤錆充 2, 幡中久男 2, 神藤正士 1
217
(10)
1 月 22 日
ポスター 2
S 会場
16:00-18:00
P2-01
Ar プラズマにより処理した Pr1-xCaxMnO3 薄膜の表面構造及び電気的特性
1
京都工芸繊維大学大学院電子システム工学専攻, 2 京都大学大学院電子工学専攻
〇
石田拓也 1, 高橋和生 1, 中村敏浩 2
219
P2-02
ハイドロフルオロカーボンガスプラズマによる ArF フォトレジストの低ラフネスエッチング機構
1
名古屋大学, 2 日本ゼオン
○
浅野高平 1, 宮脇雄大 1, 石川健治 1, 関根誠 1, 伊東安曇 2, 松本裕一 2, 竹田圭吾 1,
近藤博樹 1, 堀勝 1
221
P2-03
ゲートエッチングプロセスにおけるハロゲン化シリコンイオン(SiFx+, SiClx+ )による表面反応
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
○
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
223
P2-04
Si ナノ粒子/PEDOT:PSS を用いた量子ドット太陽電池の作製
1
九州大学工学部, 2 九州大学大学院システム情報科学府, 3 九州大学基幹教育院, 4 科学技術振興機
構
○
市田大樹 1, 王玉亭 2, 徐鉉雄 2, 内田儀一郎 2, 鎌滝晋礼 3, 板垣奈穂 2,4, 古閑一憲 2,
白谷正治 2
225
P2-05
シリコン量子ドットの薄膜化および太陽電池への応用
東京工業大学大学院理工学研究科機械物理工学専攻
○
野崎智洋, 山田陸, Ryan Gresback, 丁毅, 前園圭佑, 岡崎健
227
P2-06
ナノ構造ワイドギャップ材料のプラズマ CVD 合成と電子デバイス応用
1
九州大学大学院総合理工学研究院, 2 物質・材料研究機構
○
河本真介 1, 片山直輝 1, 堤井君元 1, 松本精一郎 1,2
229
P2-07
プラズマ処理によるナノ構造ダイヤモンド状膜の親水性発現メカニズム
九州大学大学院総合理工学研究院
○
ヤンジェイソン, 山口亮太, 堤井君元
231
P2-08
プラズマ化学気相堆積法を用いたナノグラフェンの核発生によるカーボンナノウォールの選択成長
1
名城大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻, 2 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システ
ム専攻
○
塚田僚介 1, 平松美根男 1, 近藤博基 2, 堀勝 2
233
P2-09
マイクロ波励起表面波プラズマＣＶＤ法を用いたカーボン膜の作製
1
名城大学大学院理工学研究科電気電子専攻, 2 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専
攻
○
加島洋平 1, 平松美根男 1, 近藤博基 2, 堀勝 2
235
P2-10
大気圧・準大気圧グロー放電プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜実験
1
兵庫県立大学工学研究科, 2（株）栗田製作所
○
菊池祐介 1, 福井経太 1, 松尾吉晃 1, 堀口恭光 2, 西村芳実 2, 永田正義 1, 八束充保 1
237
P2-11
プラズマ支援ミスト CVD による酸化亜鉛薄膜の表面構造制御
大阪大学接合科学研究所
○
竹中弘祐, 節原裕一
239
(11)
P2-12
グラフェン上への HfO2 膜のプラズマ支援原子層堆積
防衛大学校電気電子工学科
○
北嶋武, 中野俊樹
241
P2-13
酢酸亜鉛ミストと酸素負イオンプラズマを用いた ZnO 薄膜の室温下生成装置の検討
京都工芸繊維大学電子システム工学専攻
○
廣田聖典, 比村治彦, 水池成弘, 岡本崇, 清原彰, 山本昌良, 三瓶明希夫, 政宗貞男
243
P2-14
酸化亜鉛薄膜の室温生成に用いる酸素負イオン源の開発
京都工芸繊維大学電子システム工学専攻
○
岡本崇, 比村治彦, 山本昌良, 清原彰, 廣田聖典, 水池成弘, 三瓶明希夫, 政宗貞男
245
P2-15
ダイヤモンドライクカ－ボン形成向け高電力パルスマグネトロンスパッタ放電
名古屋工業大学大学院工学研究科
○
木村高志, 西村亮太郎
247
P2-16
コンパクトマイクロ波アンテナを用いた微結晶シリコン薄膜の生成
1
名古屋大学工学研究科, 2 プラズマナノ工学研究センター
○
近藤将吾 1, 中野優 1, 豊田浩孝 1,2
249
P2-17
パルス変調高周波スーパーマグネトロンプラズマによる a-CNx:H/p-Si 太陽電池用 a-CNx:H 膜の CVD
静岡大学電子工学研究所
○
木下治久, 鈴木寛之
251
P2-18
粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる多元素薄膜作製の試み
佐世保工業高等専門学校
○
川崎仁晴, 荒舩健人, 谷山大地, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭
253
P2-19
湿度制御環境における高周波大気圧プラズマによる高分子表面の OH 終端
岩手大学工学部
○
佐藤拓也, 金谷淳史, 山下寛人, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也
255
P2-20
プラズマ電解酸化法により形成される酸化アルミニウム皮膜構造の調査
1
豊橋技術科学大学大学院機械工学専攻, 2 豊橋技術科学大学機械工学系
○
廣永光希 1, 安井利明 2, 福本昌宏 2
257
P2-21
Particle In-flight Diagnostics in Reactive Thermal Plasma
Toyohashi University of Technology
○
Mohammed Shahien, Motohiro Yamada, Toshiaki Yasui, Masahiro Fukumoto
259
P2-22
大気圧プラズマジェトを用いたアルミ表面処理による樹脂密着性の向上
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
伊藤康介 1, 荻野明久 2, 永津雅章 1,2
261
P2-23
低温プラズマ滅菌における触媒の効果に関する研究
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学大学院工学研究科
○
楊小麗 1, 三井登志樹 2, 永津雅章 1,2
263
(12)
P2-24
プラズマ CVD を用いて作製したカーボンナノウォールのバイオセンサ特性
1
名城大学大学院理工学研究科電気電子専攻, 2 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専
攻
○
永島三千弥 1, 渡邊均 2, 平松美根男 1, 近藤博基 2, 堀勝 2
265
P2-25
活性酸素を使ったジピコリン酸分解特性と好熱菌芽胞の不活化
九州大学大学院総合理工学府
○
吉田裕貴, 米谷怜, 林信哉
267
P2-26
LF-マイクロ波ハイブリッドプラズマを用いた大気圧下での滅菌
1
琉球大学工学部, 2 九州大学大学院総合理工学府
○
米須章 1, 米山直巳 1, 相良俊紀 1, 林信哉 2
269
P2-27
細胞応用のためのカーボンナノチューブ電極を用いたマイクロプラズマの発生
九州大学システム情報科学研究院
○
中野道彦, 末廣純也
271
P2-28
プラズマ医療の基礎過程としての液体中有機物とプラズマとの相互作用
大阪大学接合科学研究所
○
竹中弘祐, 阿部浩也, 節原裕一
273
P2-29
大気圧窒素プラズマが好熱性細菌に与える影響
京都工芸繊維大学大学院電子システム工学専攻
○
間野純平, 高橋和生
275
P2-30
プラズマ中の活性酸素種による農産物の殺菌特性
1
九州大学大学院総合理工学研究院, 2 佐世保工業高等専門学校, 3 琉球大学工学部, 4 九州大学大
学院システム情報科学研究院
○
林信哉 1, 柳生義人 2, 米須章 3, 白谷正治 4
277
P2-31
低圧プラズマ照射による稲の成長促進
1
九州大学システム情報科学府, 2 九州大学大学院総合理工学府
○
サリノントタパナット 1, 北崎訓 1, 内田儀一郎 1, 古閑一憲 1, 白谷正治 1, 林信哉 2
279
P2-32
水中放電を用いた植物の成長促進
1
岩手大学工学部, 2 岩手大学農学部, 3 岩手農業研究センター
髙畑純一郎 1, 渡邊翔太 1, ○高木浩一 1, 颯田尚哉 2, 山田修 3, 藤尾拓也 3, 佐々木裕二 3
281
P2-33
きのこ増収用高電圧刺激装置の開発
1
岩手大学工学部, 2 盛岡市森林組合, 3 友信工機株式会社
齋藤達也 1, 日下智博 1, ○高木浩一 1, 高橋久佑 2, 川元敦史 3, 永井公好 3
283
P2-34
大気圧プラズマジェットを用いたカーボンナノチューブドットアレイの選択的官能基修飾
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
望月遥平 1, 永津雅章 1,2
285
P2-35
コンパクトマイクロ波プラズマ装置の滅菌特性
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
鄭霊東 1, 永津雅章 1,2
287
(13)
P2-36
Er:YAG レーザを用いた液中プラズマ生成の可能性と低侵襲プラズマ滅菌
1
大阪市立大学大学院工学研究科, 2 けやき通り歯科, 3 金沢大学大学院自然科学研究科, 4 ホワイトネ
ット
上田淳 1, ○白藤立 1, 上林英夫 2, 高橋憲司 3, 後藤哲男 4
289
P2-37
メートルサイズ大気圧プラズマによる手術室壁面の一括滅菌処理
神戸高専
○
赤松浩
291
P2-38
グラファイト外包磁性体微粒子を触媒として用いた表面波プラズマ CVD によるカーボンナノ構造材料
低温成長における表面化学修飾の効果
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
三浦彰太 1, ラマンべカレビッチ 2, 永津雅章 1,2
293
P2-39
マルチホロー放電プラズマ CVD で堆積した Si ナノ粒子含有膜のバンドギャップ制御
1
九州大学工学部, 2九州大学大学院システム情報科学研究院, 3九州大学基幹教育院, 4科学技術振興機
構
○
金光善徳 1, 内田儀一郎 2, 市田大樹 1, 王玉亭 2, 波戸崎浩介 2, 徐鉉雄 2, 鎌滝晋礼 3,
板垣奈穂 2,4, 古閑一憲 2, 白谷正治 2
295
P2-40
ダブルマルチホロープラズマ CVD を用いたリチウムイオン電池用 SiC ナノ粒子膜のコンビナトリアル生
成
1
九州大学大学院システム情報科学府, 2 九州大学工学研究院, 3JST さきがけ
○
森田康彦1, 鎌滝晋礼1, 内田儀一郎1, 金淵元1, 徐鉉雄1, 山下大輔1, 板垣奈穂1,3, 古閑一憲1,
白谷正治1, 永野裕己2, 石原達己2
297
P2-41
分散性改善のためのプラズマ修飾多層カーボンナノチューブ表面のポリマリゼーションとコバルト除去
への応用
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 中国科学院・プラズマ物理研究所
○
楊樹斌 1,2, 邵大冬 2, 王祥科 2, 永津雅章 1
299
P2-42
RF 励起 Ar/水蒸気プラズマを用いた磁気ナノ微粒子へのカルボキシル基修飾の向上
1
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
河邑功祐 1, 荻野明久 2, 永津雅章 2
301
P2-43
C4F8 添加 CH4/H2 プラズマ中の金属微粒子表面におけるカーボンナノチューブの成長
1
京都工芸繊維大学大学院電子システム工学専攻, 2 京都工芸繊維大学大学院数理・自然部門
○
黒田将成 1, 伊勢村友哉 1, 高橋和生 1,西尾弘司 2
303
P2-44
グラフェン外包磁気ナノ微粒子を用いたプラズマ表面官能基修飾における粒子サイズ効果
１
静岡大学大学院工学研究科, 2 静岡大学創造科学技術大学院
○
津村駿１, 楊恩波 2, 永津雅章 2
305
P2-45
液中レーザーアブレーションによる YAG:Ce ナノ粒子の作製
東京工業大学
○
鶴岡仙之, 片桐隆雄, 笹川崇男, 小田原修, 和田裕之
307
P2-46
高密度媒質レーザーアブレーションにおける生成ナノ粒子の雰囲気依存性
１
大阪大学工学研究科原子分子イオン制御理工学センター, 2 産業技術総合研究所ナノシステム研究
部門
○
小泉仁人１, クリニッチセルゲイ１, 近藤祟博１, 清水禎樹 2, 伊藤剛仁１
309
(14)
P2-47
医療応用のためのカーボン－金ナノカプセルの合成とプラズマ表面修飾
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学工学研究科
○
楊恩波 1, 津村駿 2, 河邑功祐 2, 永津雅章 1,2
311
P2-48
表面波マイクロ波プラズマによるカーボンナノ材料の低温成長におけるイオンエネルギーの効果
1
静岡大学創造科学技術大学院, 2 静岡大学大学院工学研究科, 3Francisk Skarina Homel State
University
○
ラマンベカレビッチ 1,3, 三浦翔太 2, アリャクサンダーラハチョウ 3, 永津雅章 1,2
313
P2-49
散乱分光法を用いた単層カーボンナノチューブ合成アークプラズマ中の微粒子計測
1
名城大学理工学部, 2 名古屋大学大学院工学研究科
○
安藤睦 1, 竹田圭吾 2, 太田貴之 1, 伊藤昌文 1, 平松美根男 1, 鈴木智子 1, 井上栄 1,
安藤義則 1,堀勝 2
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