レーザ干渉測長器／機器組込み対象製品等 〉〉〉 導体、半導体の変位を非接触で検出 ■ 特 長 静電容量式変位センサ ●金属、シリコンウェーハの測定 ●2台を接続してウェーハの厚さ測定可能 ●アナログ出力機能、応答速度4KHz ●DC24V電源入力 E-DT-CA21A E-CA-B01、E-CA-01、E-CA-11A 45 正面図 20 5 40 （51） （φ3.7） φ5.5 φ3 φ8h6 （110） センサケーブル（3m） （6） 65 φ10h6 φ5.5 （φ3.7） E-DT-CA24A センサケーブル（3m） ＜アプリケーション＞ 側面図 ø3.5 ø12 h6 E-DT-CA29B 150 5 ø5.5 1 20 25 （181） （18） 背面図 ウェーハ自動厚さ測定器 2 検出面 （テフロンテープ：厚0.09mm接着） 20 センサケーブル (1.5m) 25 端子盤 レ ー ザ 干 渉 測 長 器 ／ 機 器 組 込 み 対 象 製 品 等 5箇所測定例 仕様 E-DT-CA21A E-CA-01 E-DT-CA24A E-DT-CA29B 検出面φ3 検出面φ10 検出面φ12 取付部φ8 取付部φ10 アンプユニット 型式 センサヘッド センサヘッド形状 アンプ主要寸法 アナログ出力 0.01∼0.1mm 0.1∼1mm 応答周波数 4kHz（ー3dB） 出力電圧 ±0.3％F.S. +0.5∼+5V +0.5∼+5V 分解能 使用周囲温度 アンプユニット 0.1％F.S./゜ C 0.1％F.S./゜ C 0.05％F.S./゜ C DC24V±10% 許容リップル10％p-p以下 消費電流 200mA以下 アンプユニット 0∼40゜ C 0∼40゜ C アンプユニット 35∼80％R.H.（結露なき事） センサヘッド 35∼80％R.H.（結露なき事） 表示LED 電源（PWR…黄色）、検出距離（20、40、60、80、100％…緑色、OVER…赤色） 周囲雰囲気 センサヘッドに水や油などは付着させない様にご使用ください。 センサケーブル長 重量 1.5m 3m アンプユニット 約680g センサヘッド（ケーブル含む） 約115g ※：上記仕様は測定対象体が標準検出体の場合です。 ※：％F.S.は測定範囲上限値に対する百分率です。 ※：温度特性は100％F.S.の場合の値です。 ※1：スイッチングノイズ（250kHz以上の周波数成分） は除く X 0.1％F.S./℃ 電源電圧 センサヘッド 使用周囲湿度 +0.5∼+5V 0.2%F.S. ※1 センサヘッド 電源 0.1∼1mm ±0.5％F.S. 直線性 温度特性 取付部φ12 110（W） ×51（H） ×181（D） ゴム足、センサCNも含んだ最大外形 測定範囲 約105g 約80g ●電源ユニット E-DL-02 型式 電源 AC100V 寸法 110（W） ×150（D） ×45（H）mm ② ■ 正しくお使いください ■水、油、切削屑等があるところでは使用できません。 X ③ ■センサヘッドの測定面と測定対象の測定面が平行になるように取り付けてください。 ■周囲温度の変化の少ないところで使用してください。 ■センサヘッドに衝撃を与えたり、無理な力を加えないでください。また、センサヘッドの測定面には絶対に傷をつけないでください。 ■測定対象の材質の種類により、測定感度・直線性が異なりますので、金属の種類毎にアンプユニットの調整が必要です。 ■アンプユニットとセンサヘッドは1対1の組み合せにより調整出荷されます。同一シリアルNo.以外の組み合せではご使用になれません。 X ⑤ X ① ■アンプユニットの電源入力（DC24V）はお客さまでご準備頂くか、弊社製電源ユニット（E-DL-02）をご発注ください。 ■電源ユニットは、他の機器と共用しないで下さい。 X ■周囲温度の変化の少ないところでご使用ください。 ■センサケーブルの切り詰め、継ぎ足しは行わないで下さい。 ④ 測定条件 25回繰り返し×5回 測定環境温度変化：0.5℃以下 ＜ウェーハ厚さ測定結果例＞ 測定位置 商品コード 型 式 アンプユニットφ3用 E-CA-B01 0902451 アンプユニットφ10用 E-CA-01 4211639 アンプユニットφ12用 E-CA-11A ① ② ③ ④ ⑤ 0902452 センサヘッドφ3 E-DT-CA21A （P−P）max 0.20 0.20 0.30 0.20 0.20 0902453 センサヘッドφ10 E-DT-CA24A σ(n-1)max 0.06 0.06 0.07 0.07 0.06 0902454 センサヘッドφ12 E-DT-CA29A 6σ 0.37 0.35 0.45 0.40 0.36 電源ユニット E-DL-02 偏差（μｍ） オプション 0902411 114 品 名 4206044
© Copyright 2024 ExpyDoc
