ハードウェア & ポジショナー ナ ノ ム ー バ ー シ ス テ ム ナ ノ ポ ジ シ ョ ニ ン グ 技 術 Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 仕様：ピエゾコントロールモジュール ピエゾコントロールモジュール 17 MPZ 601コントローラは、サブミクロンの動作が必要と される精密なアライメントの用途向けに設計された製品です。 ピエゾへの出力 接続可能なピエゾのチャンネル数 コネクタのタイプ このモジュールは、モジュラーラックコントローラに差込み、 A P T シ ス テ ム 駆動電圧 直観的な操作が可能なグラフィックユーザーインターフェース 駆動電圧（外部入力による） （GUI）により操作を行ないます。全てのアクチュエータの動作 電流 は、コントローラに内蔵するソフトウェアにより決定されます。 安定性 ソフトウェアには、内部および外部トリガー、同期した動作、 外部入力の機能が含まれています。 ノイズ 17 MPZ 601コントローラの特長は、ソフトウェアとハード ピエゾの標準静電容量 バンド幅 ウェアの双方においてオープンアーキテクチャである点です。 ナ ノ ポ ジ シ ョ ニ ン グ ス テ ー ジ これは、将来の要求の変化に合わせてコントローラのアップグ 位置フィードバック レードが可能である事を意味します。 コネクタのタイプ 位置フィードバックの変換タイプ ■ 2軸のピエゾ駆動出力： 75 V、500 mA 検出方式 ■ 歪みゲージを用いたクローズループによるナノメータの 位置決め 標準分解能 ■ ピエゾの位置決めの高いバンド幅（10 kHz） ■ ActiveX プログラムインターフェースを含む メ カ ニ カ ル ア ク セ サ リ 2 SMC 雄コネクタ 0∼75 VDC /チャンネル −10∼90 VDC /チャンネル 500 mA（最大、連続） 100 ppm （24時間以上において、 ウォームアップ30分後から） ＜3 mV RMS 1∼10 μF 10 kHz（1 μF負荷、 1 VP-P において） Dサブ9ピン雌コネクタ 歪みゲージ AC ブリッジ回路 （18 kHz励起） 5 nm（17 PAZ 005のような 20 μm駆動のアクチュ エータにおいて) ソフトウェアが付属 ■ 17 MMR 601のラックを介するUSB通信ポート ピエゾコントロールモジュール、 USB モジュラーラックコントロールシステム用 製品番号 2チャンネルのピエゾコントロールモジュール 17 MPZ 601 コ ン ト ロ ー ラ リ ニ ア モ ー タ ー ス テ ー ジ R ActiveX は、マイクロソフト社の登録商標です。 w3-10 MPZ 17 MPZ Copyright C 2010 CVI Melles Griot. All right reserved. www.cvimgkk.com
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