ナノ・マイクロ ビジネス展 ロボテック 次世代ロボット製造技術展 世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、 ナノテク、 バイオと 応用システム、 ロボット技術を産業に結びつける国際見本市 オフィシャルフェアガイド Official fair guide 2013年7月3日（水）−5日（金） 東京ビッグサイト 東2ホール 10:00–17:00 主催 （一財） マイクロマシンセンター 共催 技術研究組合NMEMS技術研究機構 オーガナイザー メサゴ・メッセフランクフルト （株） 3−5 July 2013 Tokyo Big Sight, East hall 2 Sponsor Micromachine Center Co-Sponsor NMEMS Technology Research Organization Organiser Mesago Messe Frankfurt Corp. 同時開催見本市 Concurrent fair 第6回国際工業炉・関連機器展 東京ビッグサイト 東4ホール / East hall 4 ※ナノ・マイクロ ビジネス展／ROBOTECHの来場登録にてご入場が可能です ナノ・マイクロ ビジネス展 ロボテック 次世代ロボット製造技術展 主催 （一財）マイクロマシンセンター オーガナイザー メサゴ・メッセフランクフルト（株） 後援 経済産業省 （独）新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） （独）日本貿易振興機構（JETRO） 2013年7月3日（水）–5日（金） 東京ビッグサイト 東2ホール 10:00–17:00 3 – 5 July 2013 Tokyo Big Sight, East hall 2 10:00–17:00 Micromachine Center NMEMS Technology Research Organization Mesago Messe Frankfurt Corporation Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) / New Energy and Industrial Technology Development Organization (NEDO) / Japan External Trade Organization (JETRO) In cooperation with:The Japan Machinery Federation / Japan Robot Association / Japan Analytical Instruments Manufactures Association / The Robotics Society of Japan / Robot Promotion Council / Information and Robot Technology Research Initiative (IRT), The University of Tokyo / The Japan Machinery Federation / Japan Vacuum Industry Association / Nanotechnology Business Creation Initiative (NBCI) Sponsor: Co-Sponsor: Organiser: Supported by: 共催 技術研究組合NMEMS技術研究機構 協賛 （一社）日本機械工業連合会 /（一社）日本ロボット工業会 /（一社）日本分析機器工業会 （一社）日本ロボット学会 / ロボットビジネス推進協議会 / 東京大学IRT研究機構 日本真空工業会 /（一社）ナノテクノロジービジネス推進協議会 会場での撮影はご遠慮ください No photography ホール内は禁煙です No smoking 会場案内図 Floor layout 2013年6月18日現在 東2ホール East hall 2 A-58 A-59 B-33 B-34 B-35 B-36 B-37 B-38 B-39 B-40 理化学研究所 光量子工学研究領域 光量子制御技術開発チーム 理化学研究所 イノベーション推進センター 光熱エネルギー電力化研究チーム 理化学研究所 大森素形材工学研究室 東京都市大学 工学部 機械工学科 表面加工研究室 ／東海大学 梅津研究室 茨城大学 工学部 機械工学科 伊藤研究室 祥衛工業 ／沼田光機製作所 未来生産システム学協会 ／ネクシー キヤノンマーケティングジャパン ナノ・マイクロ・ソリューションゾーン （トライアル） A-46 A-47 A-48 A-49 A-50 A-51 メムス・コア 日本シュネーベルガー サイエンスラボラトリーズ 菱光産業 伯東 科学技術交流財団（知の拠点あいち） A-29 B-36 B-37 B-38 B-39 B-40 A-46 A-47 A-48 A-49 A-50 A-27 A-25 YOLE 大平 日本 エクシード DEVELOPPEMENT 技研 C-33 C-34 D-33 D-34 オプトロ パール光学 TRONICS MICROSYSTEMS ニクス社 工業 B-31 B-32 C-31 C-32 D-31 D-32 フラウンホーファー IPMS 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム （フォトニック・マイクロシステム研究所） ナノ加工・超精密・微細加工 A-24 A-33 ビュージックス コーポレーション A-09 セールス・ オンデマンド A-08 A-07 エーシング テクノロジーズ ティ・ディ・ シー B-28 2 フラウンホーファー ENAS （エレクトロ・ナノシステム研究所） C-29 ショット日本 ワークス ／ SCHOTT C-27 C-28 D-27 B-21 B-24 C-23 ケイ・エス・ B-22 C-21 C-22 東京応化 NTTアドバンス ティ・ワールド テクノロジ 工業 ナノシステムソリューションズ ／ピーエムティー D-28 信栄テクノ 東邦化研 フォーラム B-18 C-17 エイト B-15 B-16 エヌ・ティー・エス イクシス SIJ リサーチ テクノロジ B-11 B-12 B-09 B-10 アルデバラン・ 清和光学 ロボティクス 製作所 C-13 D-22 C-14 三菱重工業 ／双日マシナリー 日本レーザー 田口電機 ／たけびし C-11 工業 C-09 D-09 C-10 ナノ・マイクロ 製造装置 C-05 C-06 D-05 オックスフォード・ タツタ電線 インストゥルメンツ A-03 ランテクニカル 産業 ステイシフト タイムズ社 サービス A-02 C-03 ピーアイ・ B-03 アシスト コスモ DMカード ジャパン ナビ 電波新聞社 ジャパン サウンド A-01 B-01 B-02 C-01 C-02 SPP テクノロジーズ D-01 設計ツール 見本市事務局 Organiser office 出入口 ラウンジ 第19回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム 「社会課題対応センサーシステム（インフラ・医療・農業）が拓く安全・安心社会」 7月4日（木） 日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム 富士電機 E-21 F-21 三明 ／ナノテック F-22 伊藤忠 ミツトヨ マシン テクノス G-21 G-22 サートン ブルカー・エイ ワークス エックスエス 電子技研工業 SCIVAX F-17 E-09 アクテス E-10 E-05 菱化 フクダ システム F-09 F-10 エム・アイ・エス テクノロジー E-06 E-02 7月5日（金） G-12 G-09 G-10 ジェー・エー・ ソフト ウーラム・ジャパン ワークス ニコン エンジニアリング F-08 F-05 G-11 ナノテックス F-06 出展者専用 商談コーナー コバレント G-08 マテリアル ナノコント ロール G-06 F-01 F-02 G-01 G-02 MEMS協議会フォーラム MEMSビジネスの新展開を目指して NEDO 共同研究事業 Seminar room's program プレゼンテーションルームプログラム ユーロテクノ ／アリコナイメージング G-05 TIA N-MEMS シンポジウム 「社会課題対応センサーシステム開発プロジェクト」 （平成23 ∼26 年度） グリーンセンサ・ネットワーク プロジェクトセミナー （GSN ） デジタルサーフ 三友製作所 内閣府 最先端研究開発支援プログラム マイクロシステム融合研究開発 ／東北大学 マイクロシステム融合研究開発 センター（μSIC） ／産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター Entrance/Exit H-21 H-19 ハイテック・システムズ ／ウルトラテック／ケンブリッジナノテク社 ／マイクロシステムズ社 サカセ 関東航空計器 ウシオ電機 化学工業 ／ ACUTRONIC G-04 コヒレント・ 清川 F-04 ビーム USA ジャパン メッキ工業 SPI マツボー エンジニアリング E-01 「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクトの成果が新規ビジネスを強力に後押し」 電子ジャーナル G-17 G-18 レーザー ミカド機器 シンフォニー テック パーク・システムズ・ 丸紅情報 販売 東京精密 マーケティング ジャパン システムズ E-16 F-15 F-16 G-15 G-16 アルバック ケイ・エム 技研 テクノ E-13 E-14 F-13 F-14 E-18 BEANSプロジェクトセミナー 三菱電機 ナノ・マイクロデバイス 応用システム リソテック ズース・ ジャパン マイクロテック ファナック 「要素技術からアプリケーションへ」 ファンドリ・ 受託加工 光 P4-5 へ 第5 回 MEMS実装パッケージング・フォーラム マイクロマシン センター F-27 E-27 特設会場プログラム 7月3日（水） Lounge ユーテック ダブル 技研 計測エンジニア C-07 リングシステム B-06 D-21 D-15 D-16 みずほ コシブ 精密 情報総研 D-13 D-14 日刊工業 新聞社 B-05 技術研究組合NMEMS 技術研究機構 ／新エネルギー・産業技術 総合開発機構（NEDO） オムロン エリオ サムコ ニクス C-15 東ソー・ クォーツ ディスコ ナノインプリント ROBOTECH ROBOTECH フィールド ※プログラムは 本誌P4-5参照 X-FAB MEMS D-process FOUNDRY アダマンド工業 ／マイクラライン ナノ・マイクロ材料 ／プレサイスリー マイクロテクノロジー 協同インターナショナル シリコンセンシング ／ SILEX MICROSYSTEMS システムズジャパン フコク物産 ／ TRIサイタマ アサンテ A-12 クレアクト・ インターナショナル B-30 A-32 かわさきコアテクノロジー＆ソリューションズ ／かわさき新産業創造センター（KBIC） ／テクノロード ／メカノトランスフォーマ ／かながわサイエンスパーク（KSP） ／ V-net リバスト SCHAFT A-11 IVAM MICROTECHNOLOGY NETWORK B-33 B-34B-35 青梅商工会議所 A-23 （ロボット産業活性化推進機構） ／エルグデザイン A-22 ／ハイピーテック ／ベクトル A-21 ／南デザイン A-13 ナノ・マイクロ・ソリューション ゾーン（トライアル） 特設会場 Seminar room ▼ A-51 A-52 A-53 A-54 A-55 ナノ・マイクロ・ C-23 Lounge A-36 A-37 A-38 A-39 A-40 プレゼンテーションルーム ※プレスルームは東2ホール2Fにご用意しております Press room is located on the 2nd floor of East hall 2. ラウンジ A-30 A-28 マニュファクチャリングゾーン 明治大学 理工学部 機械工学科 ロボット研究室 A-59 アカデミックパビリオン／団体 A-31 A-10 ナノ・マイクロ・ マニュファクチャリングゾーン A-58 エイチ・ティー・ エル H-09 ヒキフネ H-07 野村マイクロ・ サイエンス H-05 立山科学グループ ／立山マシン H-03 ムサシノ エンジニアリング H-01 P10 ▼ A-23 A-24 A-25 A-27 A-28 A-29 A-30 A-31 A-32 A-33 A-36 A-37 A-38 A-39 A-40 A-41 A-42 A-43 A-44 A-45 A-52 A-53 A-54 A-55 A-56 信州大学 中山研究室 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 新井研究室 立命館大学 先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター 東京大学 先端科学技術研究センター 生田研究室 芝浦工業大学 先端工学研究機構 フレキシブル実装工学研究センター 岡山大学 鈴森研究室 神奈川県産業技術センター 青森県産業技術センター 岩手県工業技術センター 秋田県産業技術センター 東京大学IRT研究機構 立命館大学 MEMSパークコンソーシアム 宮城県産業技術総合センター 東京大学 工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻 鷲津研究室 東京医科歯科大学 三林研究室 バークレー センサー &アクチュエーター センター , UC バークレー 山形県工業技術センター 福島県ハイテクプラザ 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC） 東京大学 実装工学分野研究室 日暮研究室 九州大学 ナノ・マイクロ医工学研究室（澤田研） 電気学会 センサ・マイクロマシン部門 東京工業大学 大学院理工学研究科 基礎物理学専攻 実吉研究室 東京工業大学 黒澤研究室 首都大学東京 諸貫研究室 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 ／工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 小寺研究室／田畑研究室 科学研究費補助金 新学術領域「分子ロボティクス」 東京工業大学 メカノマイクロプロセス室 A-56 P6-7 へ ▼ A-21 A-22 A-41 A-42 A-43 A-44 A-45 7月4日（木）7月5日（金） ビジネス講演 7月3日（水） MEMS協議会産学連携ワークショップ 7月4日（木）7月5日（金） 出展者プレゼンテーション Presentation room's program P10 ▼ アカデミックパビリオン（研究室・大学）／団体 Presentation room ※プログラムは本誌P7参照 来場者総合受付 Visitor registration 3 会場案内図 同時開催プログラム 予約不要 聴講無料 東2ホール会場内 特設会場 会場 連日多彩なプログラムを予定し、国内外の第一線で活躍する専 門家によるMEMS・ナノテクノロジーに関する最新情報をご提供 いたします。 聴講希望の際はお （各プログラム共にお席に限りがございますので、 早めに各会場へお越しください） 7月3日（水） 7月4日（木） 第5 回 MEMS実装パッケージング・フォーラム 日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム 「要素技術からアプリケーションへ」 毎回好評の 「MEMS実装パッケージング・フォーラム」 。 今回は応用分野・アプリケーショ ンを見すえたうえで、 シリコンへの加工だけでない新しい材料、加工技術といった要素 技術開発の最前線を紹介します。 10:05 10:10 開会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 10:10 10:30 低温実装のニーズに応える接着剤接合技術 10:30 11:00 11:00 11:20 11:20 11:40 11:40 12:10 開会挨拶 富士通クオリティ・ラボ （株） マテリアル事業部 伊達 仁昭 金属ナノ粒子レーザ焼結によるパッケージング技術 10:10 10:30 茨城大学 工学部 機械工学科 教授 前川 克廣 MEMS光スキャナの交通インフラ分野への展開 日本信号（株） MEMS事業推進部 部長 川崎 栄嗣 10:30 11:00 ヘルスケアとMEMS、 求められる実装技術 オムロン （株） マイクロデバイス事業推進本部 技術開発部 部長 貫井 晋 11:00 11:20 医療用MEMSの人工透析システムへの応用 11:20 11:40 慶應義塾大学 機械工学科 准教授 三木 則尚 第19回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム 同時通訳 （日・英） マイクロ・ナノテクノロジー 研究開発における国際交流を深め、 日独市場および世界市 場におけるビジネスチャンスの創出を目的としたフォーラムです。 司会：Dr.Lorez Granrath 10:00 10:10 同時通訳（日・英） 「社会課題対応センサーシステム（インフラ・医療・農業）が拓く安全・安心社会」 マイクロマシンセンター 主 催（一財） そのセンサーネッ 日本が直面する社会課題を解決するために必須なMEMSセンサーと、 トワークシステムに関して国際的な視野で話題提供を行います。 司会：国際交流委員会・委員長 下山 勲 マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 （一財） Dr. Peter Scholz, Ministry of Economic Affairs, Energy and Industry of the State of North Rhine-Westphalia Prof. Dr. Thomas Geßner, Member of the advisory board of IVAM Open-access facility for MEMS R＆D and production 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 准教授 戸津 健太郎 Prof. Dr. Thomas Geßner, フラウンホーファーENAS（エレクトロ・ナノシス テム研究所） , Chemnitz MEMS応用エナジーハーベスティングデバイス Research and development of micro metal injection molding Benjamin Hefler, Taisei Kogyo Co., Ltd. 12:00 12:30 休憩 / Break 12:30 12:50 Development of polymer MEMS process technology and its application Bernhard Klimt, Coherent Kaiserslautern GmbH, Kaiserslautern 立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構 教授 杉山 進 A new optical measurement method for 3-D vibration and motion measurement of MEMS / Micromachines ポリテックジャパン(株) 営業部 部長代理 羽倉 守人 開会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 理事長 作田 久男 13:35 13:40 来賓挨拶 経済産業省 製造産業局 産業機械課 特別講演 社会を変えるセンサーネットワークシステム 13:40 14:10 Smart Autonomous Systems Enabled by Zero Power Technologies - the Guardian Angels for a Smarter Life vision 14:10 14:25 社会を変えるセンサーネットワークシステムの未来 Nanolab, EPFL, Switzerland 教授 Adrian M. Ionescu 東京大学 大学院情報理工学系研究科 教授 下山 勲 セッション 1 社会インフラ対応センサーシステムの現状と未来 14:25 14:50 14:50 15:10 におけるメンテナンスの重要性と 社会インフラ （橋・道路等） センサーへの期待 東京大学 社会基盤学専攻 教授 藤野 陽三 Sensor Cluster for Public Infrastructure Berkeley Sensor ＆ Actuator Center, University of California, Berkeley USA 教授 Albert P. Pisano 15:35 16:00 自治医科大学 内科学講座循環器内科学部門 主任教授 苅尾 七臣 「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクトの成果が新規ビジネスを強力に後押し」 マイクロマシンセンター 主 催（一財） 2008年から5年間にわたる異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクトの 成果を紹介します。 マイクロマシンセンター 出井 敏夫 司会： （一財） オープニング 14:00 14:05 開会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 14:05 14:10 来賓挨拶 （独）新エネルギー ・産業技術総合開発機構（NEDO） Silicon Components Division, CEA-Leti フランス Deputy VP for Microsystems and 3D Integration André ROUZAUD セッション 3 農畜産業におけるセンサーネットワークの現状と未来 Sensors and sensor networks in high-tech horticulture 16:00 16:20 （plant factory）in the Netherlands オランダ大使館 科学技術参事官 Paul op den Brouw 畜産業における大規模センサーネットワークの有用性とその展望 BEANSプロジェクトを振り返って セッション 1 BEANSプロジェクト成果報告 14:20 14:45 ナノの合わせ技がもたらすMEMSプロセスの新地平 （3D BEANS） 14:45 15:10 Life BEANSの拓く健康社会（Life BEANS） 15:10 15:35 クロージング 16:40 16:45 4 閉会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 東京大学 大学院工学系研究科 准教授 杉山 正和 テルモ （株） 研究開発本部 高橋 正幸 有機分子のナノ構造・配列制御が造り出す次世代有機・熱電デバイス （Life BEANS九州） 九州大学 学術研究推進支援機構 研究戦略企画室 シニアリサーチ・アドミニストレーター 安達 淳治 MEMS産業の発展を目的にMEMS協議会が主催する関連諸活動を紹介し、参加者へ の PR 、意見交換の場を提供します。 マイクロマシンセンター 三原 孝士 司会： （一財） 司会：技術研究組合NMEMS技術研究機構 逆水 登志夫 オープニング オープニング 10:15 10:20 主 催（独）新 エネルギー・産業技術総合開発機構（ NEDO ）/ 技術研究組合 NMEMS技術研究機構 開会挨拶 TIA N-MEMS WG委員長 オリンパス （株） 執行役員 唐木 幸一 開会挨拶 14:00 14:10（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） 技術開発推進部 部長 久木田 正次 セッション 1 TIA N-MEMS 最新状況とオープンイノベーション 10:20 10:50 GSNプロジェクトの概要 基調講演 皆で拓くナノテクMEMSの新産業 : オープンイノベーションとTIAへの期待 プロジェクトリーダ （グリーンセンサネットワーク研究所所長） ／ 14:10 14:20（独）産業技術総合研究所 東京大学 生産技術研究所 教授 藤田 博之 前田 龍太郎 TIA N-MEMS 集積マイクロシステム研究センターで開発中の 世界最先端MEMS技術の紹介 10:50 1 1 : 1 0 （独）産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 研究センター長 前田 龍太郎 1 1 : 1 0 11:25 センサネットワークを活用した東京電力のエネルギーコンサルティング MNOIC 開発センター センター長 荒川 雅夫 東京電力 （株） カスタマーサービス・カンパニー 法人営業部 14:50 15:20 エネルギー解析イノベーショングループグループマネージャー MEMS産業動向 : 今後のMEMS産業! これで決まり ーマイクロ／ナノ革新デバイスの産業動向調査 マイクロマシンセンター 特別研究員 阪井 淳 （一財） 11:45 12:05 MEMS技術動向 : MEMS関連学会より最新技術動向を見る 12:05 12:25 MEMS国際標準化最新動向 : 高まる重要性とビジネス活用 12:25 12:45 を用いた、 MEMS設計解析ソフト 「MemsONE」 機構と回路の混在解析 早稲田大学 理工学術院 基幹理工学部 教授 庄子 習一 横坂 雅樹 人と地球にやさしいスマートコンビニ （仮題） 15:20 15:50（株）セブン-イレブン・ジャパン 取締役 常務執行役員 三谷 庸 GSNプロジェクト成果報告 見えてきたグリーンMEMSセンサ端末の姿 15:50 16:10 グリーンセンサネットワーク研究所 つくば研究センター センター長 伊藤 寿浩 帝京大学 理工学部 情報科学科 教授 大和田 邦樹 センサネットワークシステムにおけるナノファイバー自立電源の開発 16:10 16:30 グリーンセンサネットワーク研究所 大岡山研究センター センター長 谷岡 明彦 （株） 数理システム 望月 俊輔 クロージング クロージング 12:45 12:50 基調講演 持続可能な社会への入り口としての低炭素社会と センサの役割 14:20 14:50（独）国立環境研究所 社会環境システム研究センター 持続可能社会システム研究室 主任研究員 藤野 純一 MEMS領域における日本で初めての オープンイノベーションセンターMNOIC セッション 2 MEMS産業動向・技術動向 11:25 11:45 特別講演 閉会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 閉会挨拶 16:30 16:35 技術研究組合NMEMS技術研究機構 理事長 今仲 行一 出展製品ハイライト／フコク物産 DEMO 実機展示 C-23 マイクロ流体チップの量産技術 小間番号 DEMO NEW 新製品 NEW 高透明PDMSを用いたLIM（液状射出成形）技術と特殊金型技術によりマイクロ流路などの微細加工製品を 大量生産出来ます。 （目安:10個取り金型で10万個/月）特長：①流路とフラットプレートは完全接着②自由な 形状設計（注入口の一体成形が可能）③鏡面仕上げ （Ra50nm）④最小厚み0.4mm （流路側+プレート） お問合せ フコク物産（株）／（株）TRIサイタマ 開発企画営業部 営業課 小沢、長島、鶴田、星坂 Tel: 03-3765-3233 [email protected] WEB www.gomuseikei.com メーター級大面積マイクロシステムを実現する集積化技術（Macro BEANS） 15:35 16:00 （独）産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 副研究センター長 伊藤 寿浩 16:00 16:25 BEANSプロジェクト成果の総括 東京大学 生産技術研究所 教授 藤田 博之 セッション 2 BEANSプロジェクト成果の活用促進 16:25 16:40 16:20 16:40 （独）産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 副研究センター長 伊藤 寿浩 技術開発推進部 部長 久木田 正次 14:10 14:20 （一財）マイクロマシンセンター 技術顧問 遊佐 厚 MEMS and Sensors : Some Expected Trends in Medical and Quality-of-life applications マイクロマシンセンター 主 催（一財） ▲ 15:10 15:35 24時間血行動態モニタリングシステム : 臨床的有用性と今後の展望 BEANSプロジェクトセミナー 「社会課題対応センサーシステム開発プロジェクト」 （平成23 ∼26 年度） グリーンセンサ・ネットワーク プロジェクトセミナー （GSN ） MEMS協議会フォーラム MEMSビジネスの新展開を目指して ▲ セッション 2 医療・ヘルスケア対応センサーシステムの現状と未来 出入口 NEDO 共同研究事業 TIA N-MEMS シンポジウム 閉会挨拶 / Closing オープニング 13:30 13:35 東2ホール プレゼンテーション ルーム パナソニック （株） エコソリューションズ社 柳生 博之 11:40 12:00 13:10 13:25 www.micromachine.jp 3D-Integration for Smart Systems High quality micro-machining with ps-lasers : the process, examples and cost of ownership 12:50 13:10 特設会場 7月5日（金） 主 催 IVAM MICROTECHNOLOGY NETWORK マイクロマシンセンター 共 催（一財） マイクロマシンセンター 主 催（一財） 共 催 MEMS実装パッケージング・フォーラム・プログラム委員会 各プログラムの詳細は公式ウェブサイトにてご確認いただけます BEANS知識データベース みずほ情報総研 （株） サイエンスソリューション部 エレクトロニクスチーム チーフコンサルタント 新田 仁 BEANSプロジェクト成果（知財）のワンストップショッピング 16:40 16:55 （一財）マイクロマシンセンター BEANS技術研究センター 阿出川 俊一 クロージング 16:55 17:00 閉会挨拶 （一財）マイクロマシンセンター 技術顧問 遊佐 厚 Twitterでも情報発信！ FOLLOW US!! マイクロナノ、 またはサービスロボットに関する様々な情報を随時お届けします。 MEMS、 皆様からのフォローをお待ちしております！ ナノ・マイクロビジネス展 http://twitter.com/micromachine_jp (#microjp) ROBOTECH 次世代ロボット製造技術展 http://twitter.com/robotech_jp (#robojp) 情報共有や疑問にお応えできるかもしれません。 ※ハッシュタグをつけてつぶやいていただければ、 5 会場案内図 ワークショップ、 プレゼンテーション 講演、 プレゼンテーションルーム 会場 各プログラムの詳細は公式ウェブサイトにてご確認いただけます 東2ホール www.micromachine.jp 特設会場 プレゼンテーション ルーム ※敬称略。講演者および講演内容は都合により変更する場合がございます。 （2013年6月18日現在） 出入口 ビジネス講演 定員80名 予約不要 聴講無料 技術的に高度な部品・製品が売れるとは限らない時代、部品や素材メーカーにも具体的なアプリケーションを これからのビジネスモデル、 アプ 見据えた製品開発や提案が重要になってきています。 着想はどうあるべきか。 リケーション提供企業の開発者にそのヒントをお話しいただきます。 7月4日（木）5日（金） 出展者プレゼンテーション ※各講演ともに講演（約 50 分）終了後、講演者との名刺交換会（約 10 分）を予定しております。 投影恒星数が従来比100 倍以上で業界を驚かせ 月 日 （木） たス ー パ ープラネタリウム 「 MEGASTAR 」を 生 み 出し たのは 、 レーザ 描画 によるサ 10:10 ブミクロンのピンホール加工 を可能にしたリソグラフィ技 11:10 術だった 。個人の趣味が、精 密技術 を 駆使して世界最高 峰に上り詰めるまでの道のり を紹介します。 7 4 Steady 10-12% growth will double the MEMS market over next six years おもちゃ屋のモノづくり (有)大平技研 代表取締役 プラネタリウム・クリエーター 大平 貴之 タカラトミー 海外事業統括本部 欧米戦略室 開発グループ （株） グループリーダー 渡辺 公貴 7月5日（金） 10:10 11:10 独自開 発 をした 超 小型サーボ搭載 の 、世 界 最 小 クラ ス 二 足 歩 行 ヒュー マノイド 型 ロ ボッ ト「 O m n i b o t 1 7 μ i-SOBOT」等の開発 担当者 が 、おもちゃ 屋としての「売 れる 商 品 」の 開 発 手 法 について語ります 。 13:30 14:20 YOLE DEVELOPPEMENT 1 ）COMSOLを用いたマイクロ・ナノマシンの設計 ピエゾ抵抗型半導体圧力センサの解析の実際 2） 14:30 15:20 定員80名 計測エンジニアリングシステム （株） マーケティング部 児島 正哲 【お問合せ】 予約不要 聴講無料 7月3日（水） 信州大学 中山研究室 13:30 13:50 【お問合せ】 信州大学工学部機械システム工学科中山研究室 Tel. 026-269-5136 [email protected] ピエゾ抵抗カンチレバーを用いた MEMSセンサとその応用 14:00 14:20 小間番号 A-32 東京大学IRT研究機構 【お問合せ】 東京大学IRT研究機構 Tel. 03-5841-1625 [email protected] www.irt.i.u-tokyo.ac.jp/index.shtml ナノ・マイクロファブリケーションの世界 小間番号 B-35 （独）理化学研究所 大森素形材工学研究室 14:30 14:50 【お問合せ】 Tel. 03-3963-1611 [email protected] www.nano.gr.jp/index.html マイクロリアクタ用アクチュエータ・デバイス 15:00 15:20 岡山大学 鈴森研究室 【お問合せ】 www.act.sys.okayama-u.ac.jp/ 分子ロボティクス： 新たなる人工物構築技術の創出に向けて 15:30 15:50 小間番号 A-27 小間番号 A-58 科学研究費補助金 新学術領域 「分子ロボティクス」 【お問合せ】 東京工業大学大学院 Tel. 045-924-5654 [email protected] http://www.molecular-robotics.org 微細加工と表面機能 首都大学東京 諸貫研究室 16:00 16:20 【お問合せ】 Tel. 042-585-8442 [email protected] www.comp.tmu.ac.jp/prost/ 6 小間番号 A-55 聴講無料 介護・福祉の分野では労働人口不足を解消するためロボットを導入すること が考えられる。 しかし、 人との接触時に危害を加えないためにはロボット表面 に柔軟変形し、 そこで、 荷重の測定が出来るセンサを設置する必要がある。 弾 性体を用いた柔軟で荷重を垂直荷重とせん断荷重に分離して測定すること のできるセンサを開発した。 マイクロリアクタやバイオエンジニアリング用のデバイスに関連する研究を 行っています。金属製マイクロ流路と圧電振動子の組み合わせによるエマル ション生成デバイス、 ゴム材料を用いたマイクロソフトアクチュエータなどに ついて紹介します。 アクチュエーターを備え、 分子ロボティクスはセンサー 、知能、 自律的に動作 する分子システムの構築を目指している。その最大の特徴は、分子レベルか らボトムアップに自己組織化し、複雑なシステムを実現する点にある。 ボトム アップ手法による人工物構築法は、 ものづくり全体を大きく転換させる 可能 性を秘めている。 固体表面にマイクロ / ナノメートルレベルの微細構造を設けることにより、濡 れ性、 光学機能、摩擦特性あるいは生体適合性といった様々な表面機能を変 えることができます。 これらを調整する場合の設計の考え方や応用を紹介す るとともに、微粒子自己組織化を利用したプロセスの適用可能性についても 紹介します。 講演 1 ）COMSOLを用いたマイクロ・ナノマシンの設計 丸尾昭二先生（横浜国立大学 大学院工学研究院システムの創生部門 准教授） -電磁気学モジュール：銀ナノワイヤーの光マニピュレーションの解析 -MEMSモジュール：マイクロ粘性ポンプの流れ解析 -MEMSモジュール：圧電セラミックスを用いた振動発電デバイス解析 小間番号 D-01 MEMSデバイスの民生機器分野において、シリコン深掘り は欠かせない技術となりました。 エッチレート高速化やプロ セス、 ハードの信頼性の要求が高まる中、 各要求に対する実 シリコン深掘り以 際のアプローチ例をご紹介します。また、 外のMEMS加工技術についても、量産展開を見据えた当社 の取組みをご紹介します。 小間番号 F-17 光干渉技術の応用によりナノテク材料の表面形状評価レン ジを飛躍的に拡大。独自性の光るシステム構造の特徴と有 効性、測定技術の最前線情報と共に、業界最速の処理能力 を誇るVision64 解析ソフトによる効率的 な 解析 ルーチン によるナノテク材料 の 効果的 な 解析結果事例 をご紹介し ます。 15:30 16:20 【お問合せ】 マーケティング部 金尾 寛人 Tel. 06-6489-5997 [email protected] www.spp-technologies.co.jp 7月5日（金） Bruker社製ContourGTシリーズ 光干渉型顕微鏡の最新動向 13:30 13:50 ブルカー・エイエックスエス （株） 【お問合せ】 ナノ表面計測事業部 Tel. 03-3523-6361 [email protected] www.bruker.jp/axs/nano/index.html 東京大学 IRT 研究機構では 、ロボットへの 応用を目指したMEMS センサ群 の 研究開発 を行っている。本講演 では 、ピエゾ 抵抗 カンチレバーを用 いた MEMSセンサ構造と、それを応用した力覚センサ、気圧センサ、振動センサ等 について、 最新の研究成果を交えて紹介する。 ナノ・マイクロファブリケーションとは、 シングルナノオーダーの表面性状や ナノメートルからマイクロメートルサイズの溝や半球などの構造体に対して 研削加工をベースとした超精密機械加工を行うものです。1μmの微細ピンか ら1ｍ以上の大型フレネルレンズなどを創り出すためのファブリケーションを 行っております。 Yole Développement market briefing: MEMS market overview - MEMS gyroscope patent landscape … For the first time, suppliers of inertial sensors have surpassed the major makers of micromirrors and inkjet heads that have long dominated the industry. 講演 2 ）COMSOLによるピエゾ抵抗型半導体圧力センサ解析の実際 （株）第一技術部） 橋口真宜・住吉雄一朗（計測エンジニアリングシステム -ピエゾ抵抗型半導体圧力センサの3D解析におけるGUI操作フローのご紹介 SPPテクノロジーズ（株） を促すきっかけ作りのためのワークショップです。 大学や公的研究機関の研究成果を産業界で活用する共同研究（産学連携） 小間番号 A-21 小間番号 B-06 Tel. 03-5282-7040 [email protected] www.kesco.co.jp/comsol/ マイクロマシンセンター／MEMS協議会 主 催（一財） 柔軟接触型荷重測定センサについて 小間番号 C-34 【お問合せ】 S. Leroy [email protected] www.yole.fr MEMS加工装置の最新技術と動向 MEMS協議会産学連携ワークショップ 予約不要 7月4日（木） 10:10-11:10 講演50分、名刺交換会10分 精密露光技術が生んだ世界一の星空 定員80名 出展者による最新技術・製品PRセミナー 製造業のための「売れる仕組み」のつくり方 小間番号 F-15 シンフォニーマーケティング （株） 14:00 14:20 【お問合せ】 アコースティックグループ 渡邊 嘉子 Tel. 03-3243-1051 [email protected] www.symphony-marketing.co.jp 14:30 14:50 先端装置の利用機会提供と高度な技術支援 ─利用提供装置及び利用事例の紹介─ 小間番号 C-31 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム 【お問合せ】 ナノテクノロジープラットフォームセンター https://nanonet.go.jp 製造業のための「売れる仕組み」のつくり方 小間番号 F-15 シンフォニーマーケティング （株） 15:00 15:20 【お問合せ】 アコースティックグループ 渡邊 嘉子 Tel. 03-3243-1051 [email protected] www.symphony-marketing.co.jp 小間番号 A-07 明治大学における 共通プラットフォーム利用による研究開発事例（仮題） 15:30 15:50 明治大学 理工学部 機械工学科 ロボット工学研究室 理工学部 機械工学科 ロボット工学研究室 黒田 洋司 【お問合せ】 Tel. 044-934-7183 [email protected] www.isc.meiji.ac.jp/~amslab/racing/ よい製品を作っているのに売れない、 営業マンも頑張ってい るのに売れない。 にありま 売れない理由は「マーケティング」 す。 本講演では、 日本の製造業がもっと強くなるための 「売れ る仕組み＝マーケティング」 のつくり方をご紹介します。 幅広い企業技術者へ利用環境を提供する全国25ヶ所の最先端設備のネットワーク である をご紹介します。 「ナノテクノロジープラットフォーム」 NEMS/MEMS分野で ナノオーダーの評価解析が可能な装置群など、有用かつ 必須の微細加工装置や、 最先端のノウハウとともに提供します。 よい製品を作っているのに売れない、 営業マンも頑張ってい るのに売れない。 にありま 売れない理由は「マーケティング」 す。 本講演では、 日本の製造業がもっと強くなるための 「売れ る仕組み＝マーケティング」 のつくり方をご紹介します。 iRobot社のRoomba開発キットを利用したロボットの応用事例と、それをさらに発 展させ車椅子型台車と共通プラットフォームを使ったロボット研究事例を紹介。 7 出展者リスト Exhibitor index 国内企業 ア アクテス（株） E-10 （株）アサンテ A-12 （株）アシストナビ B-02 C-09 タツタ電線（株） A-03 立山科学グループ / 立山マシン（株） H-03 ダブル技研（株） B-05 DM カードジャパン（株） C-01 アダマンド工業（株） ／マイクラライン ／プレサイスリー マイクロテクノロジー B-30 アルデバラン・ロボティクス B-09 アルバックテクノ（株） F-13 電子技研工業（株） G-17 H-19 （株）イクシスリサーチ （株）ディスコ D-21 （株）ティ・ディ・シー B-28 （株）D-process D-28 B-11 伊藤忠マシンテクノス（株） （株）電子ジャーナル G-22 ウシオ電機（株） （株）電波新聞社 G-04 （株）エイチ・ティー・エル H-09 （株）エーシングテクノロジーズ C-29 （株）SIJ テクノロジ B-12 （株）SPI エンジニアリング F-02 SPP テクノロジーズ（株） D-01 （株）エヌ・ティー・エス B-16 NTT アドバンステクノロジ（株） C-21 エム・アイ・エス テクノロジー （株） E-14 （株）エリオ二クス D-15 青梅商工会議所（ロボット産業活性化推進機構） ／エルグデザイン ／（株）ハイピーテック B-21 ／ベクトル（株） ／南デザイン（株） （有）大平技研 オックスフォード・インストゥルメンツ（株） （株）オプトロニクス社 オムロン（株） カ （公財）科学技術交流財団（知の拠点あいち） D-33 C-05 B-31 E-21 A-51 かわさきコアテクノロジー＆ソリューションズ ／かわさき新産業創造センター（KBIC） ／（株）テクノロード ／（有）メカノトランスフォーマ ／かながわサイエンスパーク（KSP） ／ （株）V-net C-14 関東航空計器（株） ／ ACUTRONIC USA INC G-01 （株）協同インターナショナル ／ SILEX MICROSYSTEMS 清川メッキ工業（株） D-22 東京応化工業（株） （株）東京精密 ADAMANT KOGYO CO., LTD. ／ MICRALYNE INC. ／ PRECISELEY MICROTECHNOLOGY CORP. B-30 A-28 技術研究組合 NMEMS 技術研究機構 E-27 ／（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） （一社）電気学会 センサ・マイクロマシン部門 福島県ハイテクプラザ A-42 （一財）マイクロマシンセンター F-27 A-41 G-06 （株）ナノシステムソリューションズ ／（株）ピーエムティー C-15 （株）ナノテックス F-06 （株）ニコンエンジニアリング F-08 （株）日刊工業新聞社 C-07 A-47 C-33 D-09 H-05 ハ （株）ハイテック・システムズ ／ウルトラテック／ケンブリッジナノテク社 ／マイクロシステムズ社 F-05 パーク・システムズ・ジャパン（株） G-15 伯東（株） A-50 パール光学工業（株） B-32 ピーアイ・ジャパン（株） C-02 光（株） E-09 （株）ヒキフネ H-07 ビーム（株） F-01 ビュージックスコーポレーション A-09 C-06 ケイ・エス・ティ・ワールド（株） ファナック（株） C-22 （株）フォーラムエイト B-15 F-14 （株）フクダ F-10 アカデミックパビリオン（研究所・大学） 岡山大学 鈴森研究室 A-27 科学研究費補助金 新学術領域「分子ロボティクス」 A-58 九州大学 ナノ・マイクロ医工学研究室（澤田研） ／東京大学 実装工学分野研究室（日暮研） A-45 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 ／工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 小寺研究室／田畑研究室 ELIONIX INC. D-15 東京医科歯科大学 三林研究室 A-39 A-59 EUROTECHNO INC. ／ ALICONA IMAGING GMBH G-08 東京工業大学 メカノマイクロプロセス室 東京工業大学 黒澤研究室 A-54 FANUC CORP. C-06 東京工業大学 大学院理工学研究科 基礎物理学専攻 実吉研究室 FORUM8 CO., LTD. B-15 A-53 FUJI ELECTRIC CO., LTD. F-21 東京大学 IRT 研究機構 A-32 東京大学 実装工学分野研究室 日暮研究室 ／九州大学 ナノ・マイクロ医工学研究室 A-44 東京大学 先端科学技術研究センター 生田研究室 A-24 H-07 HTL CO. JAPAN LTD. H-09 ITOCHU MACHINE-TECHNOS CORP. G-22 A-07 立命館大学 A-33 立命館大学 先端マイクロ・ナノシステム 技術研究センター A-23 東京都市大学 工学部 機械工学科 表面加工研究室 ／東海大学 梅津研究室 B-36 三菱電機（株） H-21 （株）産業タイムズ社 A-02 （株）三明 ／（株）ナノテック F-22 （株）三友製作所 G-12 （株）ムサシノエンジニアリング H-01 G-09 （株）メムス・コア A-46 ジェー・エー・ウーラム・ジャパン（株） （株）SCHAFT ショット日本（株） ／ SCHOTT AG A-11 C-28 （株）シリコンセンシングシステムズジャパン B-24 （株）信栄テクノ B-18 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム ヤ （株）ユーテック （株）ユーロテクノ ／アリコナイメージング ステイシフト（株） C-03 （株）菱化システム （独）理化学研究所 大森素形材工学研究室 B-35 （独）理化学研究所 光量子工学研究領域 光量子制御技術開発チーム B-33 G-01 L KEISOKU ENGNEERING SYSTEM CO., LTD. B-06 KIYOKAWA PLATING INDUSTRY CO., LTD. E-02 KMGIKEN CO., LTD. F-14 KOSHIBU PRECISION CO., LTD. D-14 KST WORLD CORP. C-22 KYODO INTERNATIONAL INC. ／ SILEX MICROSYSTEMS D-22 LANTECHNICAL SERVICE CO., LTD. B-03 LASERTEC CORP. F-16 LITHO TECH JAPAN CORP. E-05 G-11 MIKADO TRADING CO., LTD. E-16 フラウンホーファー ENAS （エレクトロ・ナノシステム研究所） D-31 MIS TECHNOLOGIES CORP. E-14 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. H-21 A-13 フラウンホーファー IPMS （フォトニック・マイクロシステム研究所） D-32 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. ／ SOJITZ MACHINERY CORP. ／ TAKEBISHI CORP. C-10 MITUTOYO CORP. G-21 G-08 デジタルサーフ F-09 IVAM MICROTECHNOLOGY NETWORK D-34 A-49 TRONICS MICROSYSTEMS C-32 セールス・オンデマンド（株） A-08 レーザーテック（株） F-16 X-FAB MEMS FOUNDRY D-27 ソフトワークス（株） G-10 C-27 YOLE DEVELOPPEMENT C-34 2013 年 6 月 18 日現在 T KAWASAKI CORE-TECHNOLOGY AND SOLUTIONS ／ KAWASAKI BUSINESS INCUBATION CENTER ／ TECHNO ROAD INC. C-14 ／ KANAGAWA SCIENCE PARK ／ MECHANO TRANSFORMER CORP. ／ V-NET CORPORATION LTD. A-46 海外企業 菱光産業（株） ワ （株）ワークス D-09 M MARUBENI INFORMATION SYSTEMS CO., LTD. E-13 B-10 （株）清和光学製作所 JAPAN LASER CORP. MEMS CORE CO., LTD. C-11 E-05 （株）リバスト B-34 G-09 K KANTO AIRCRAFT INSTRUMENT CO., LTD. ／ ACUTRONIC USA INC. B-39 （独）理化学研究所 イノベーション推進センター 光熱エネルギー電力化研究チーム B-11 J.A.WOOLLAM JAPAN CORP. G-02 リソテックジャパン（株） F-15 E-06 （一社）未来生産システム学協会 ／ （有）ネクシー IXS RESEARCH CORP. MATSUBO CORP. B-03 ズース・マイクロテック（株） J ナノ・マイクロ・マニュファクチャリングゾーン C-31 ラ ランテクニカルサービス（株） シンフォニーマーケティング（株） I バークレー センサー＆アクチュエーターセンター , UC バークレー A-40 明治大学 理工学部 機械工学科 ロボット研究室 S HIGHTEC SYSTEMS CORP. ／ ULTRATECH / CAMBRIDGE NANOTECH CORP. F-05 ／ MICROSYSTEMS AG HIKIFUNE CO., LTD. B-38 C-10 A-50 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 新井研究室 祥衛工業（株） ／（有）沼田光機製作所 三菱重工業（株） ／双日マシナリー（株） ／（株）たけびし F-10 H HAKUTO CO., LTD. E-09 A-22 R FUKOKU BUSSAN CORP. / TRI SAITAMA CORP. C-23 FUKUDA CO., LTD. HIKALI KK サ （株）サイエンスラボラトリーズ D-16 F 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μ SIC） A-43 B-40 サムコ（株） E P B-01 A-21 キヤノンマーケティングジャパン（株） G-21 D DEMPA PUBLICATIONS, INC. 信州大学 中山研究室 G-02 D-13 A-10 H-19 E-01 みずほ情報総研（株） CREACT INTERNATIONAL CORP. D-28 コヒレント・ジャパン（株） （株）ミツトヨ G-05 ELECTRONIC JOURNAL, INC. B-37 E-18 COVALENT MATERIALS CORP. D-PROCESS INC. 茨城大学 工学部 機械工学科 伊藤研究室 F-04 A-01 A-55 F-17 サカセ化学工業（株） E-01 COSMO SOUND CO., LTD. 首都大学東京 諸貫研究室 ブルカー・エイエックスエス（株） （株）サートンワークス COHERENT JAPAN, INC. C-01 G-05 E-16 F-17 DOUBLE RESEARCH & DEVELOPMENT CO., LTD. B-05 東京大学 工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻 A-38 鷲津研究室 O C CABINET OFFICE FIRST PROGRAM RESEARCH AND DEVELOPMENT OF INTEGRATED MICROSYSTEMS ／ MICRO SYSTEM INTEGRATION CENTER（μ SIC） TOHOKU UNIV. D-05 ／ RESEARCH CENTER FOR UBIQUITOUS MEMS AND MICRO ENGINEERING（UMEMSME） AIST A-25 コバレントマテリアル（株） E-13 BRUKER AXS K.K. F-01 芝浦工業大学 先端工学研究機構 フレキシブル実装工学研究センター F-21 丸紅情報システムズ（株） B BEAMS, INC. D-21 富士電機（株） ミカド機器販売（株） B-02 DM CARD JAPAN CORP. A-01 G-18 ASSIST NAVI CORP. DISCO CORP. D-14 A-48 A-12 A-56 （株）コスモサウンド SCIVAX（株） B-09 ASANTE INC. G-17 （株）コシブ精密 マ （株）マツボー ALDEBARAN ROBOTICS DENSHIGIKEN CO.,LTD. フコク物産（株） ／ （株）TRI サイタマ C-23 AICHI SCIENCE & TECHNOLOGY FOUNDATION A-51 A-52 山形県工業技術センター A-10 B-06 E-10 A-30 G-16 E-02 計測エンジニアリングシステム（株） 神奈川県産業技術センター C-29 ACTES INC A-36 C-17 野村マイクロ・サイエンス（株） （地独）岩手県工業技術センター A ACING TECHNOLOGIES CO., LTD. A-31 A-37 東邦化研（株） 日本エクシード（株） A-29 秋田県産業技術センター 宮城県産業技術総合センター ナ 内閣府 最先端研究開発支援プログラム マイクロシステム融合研究開発 D-05 ／東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター ／（独）産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター （株）日本レーザー （地独）青森県産業技術センター MEMS パークコンソーシアム C-13 日本シュネーベルガー（株） DOMESTIC EXHIBITORS B-01 東ソー・クォーツ（株） （株）ナノコントロール 団 体 B-22 （株）クレアクト・インターナショナル （有）ケイ・エム技研 8 タ 田口電機工業（株） MIZUHO INFORMATION&RESEARCH INSTITUTE, INC. D-13 MUSASHINO ENGINEERING CO., LTD. N NANO CONTROL CO., LTD. H-01 G-06 U V W Y NANO SYSTEM SOLUTIONS ／ PMT CORP. NANOTECHNOLOGY PLATFORM JAPAN NANOTEX CORP. NIHON EXCEED CORP. THE NIKKAN KOGYO SHIMBUN LTD. NIKON ENGINEERING CO., LTD. NIPPON SCHNEEBERGER K.K NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. NTS INC. NTT ADVANCED TECHNOLOGY CORP. OHIRA TECH LTD. THE OME CHAMBER OF COMMERCE AND INDUSTRY ／ ERG DESIGN ／ HI-P TECH CORP. ／ VECTOR INC. ／ MINAMI DESIGN CO., LTD. OMRON CORP. THE OPTRONICS CO., LTD. OXFORD INSTRUMENTS KK PARK SYSTEMS JAPAN INC. PEARL OPTICAL INDUSTRY CO., LTD. PI-JAPAN CO., LTD. REVAST CO., LTD. RYOKA SYSTEMS INC. RYOKO SANGYO CORP. SAKASE CHEMICAL CO., LTD. SALES ON DEMAND CORP. SAMCO INC. SANGYO TIMES, INC. SANMEI CO., LTD. / NANOMETRIC TECHNOLOGY INC. SANYU CO., LTD. SARTONWORKS CO., LTD. SCHAFT INC. SCHOTT NIPPON K.K. ／ SCHOTT AG SCIENCE LABORATORIES, INC. SCIVAX CORP. SEIWA OPTICAL CO., LTD. SHINEI TECNO CO., LTD. SIJTECHNOLOGY, INC. SILICON SENSING SYSTEMS JAPAN SOFTWORKS CO., LTD. SPI ENGINEERING CO., LTD. SPP TECHNOLOGIES CO., LTD. STAYSHIFT CO., LTD. SUSS MICROTEC KK SYMPHONY MARKETING CO., LTD. TAGUCHI PLATING INDUSTRY CO., LTD. TATEYAMA MACHINE CO., LTD. TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE CO., LTD. TDC CORP. TOHOKAKEN CO., LTD. TOKYO OHKA KOGYO., LTD. TOKYO SEIMITSU CO., LTD. TOSOH QUARTZ CORP. ULVAC TECHNO, LTD. USHIO INC. VUZIX CORP. WORKS CO., LTD. YOUTEC CO., LTD. C-15 C-31 F-06 C-33 C-07 F-08 A-47 H-05 B-16 C-21 D-33 ARAI LAB., DEPARTMENT OF MICRO-NANO SYSTEMS ENGINEERING, NAGOYA UNIV. A-22 AUTONOMOUS MOBILE SYSTEMS LAB. SCHOOL OF SCIENCE & TECHNOLOGY, MEIJI UNIV. A-07 BERKELEY SENSOR & ACTUATOR CENTER, UC BERKELEY A-40 IKUTA LAB., RESEARCH CENTER FOR ADVANCED A-24 SCIENCE AND TECHNOLOGY, THE UNIV. OF TOKYO IRT RESEARCH INITIATIVE, THE UNIV. OF TOKYO B-21 E-21 B-31 C-05 G-15 B-32 C-02 A-13 F-09 A-49 F-04 A-08 D-16 A-02 F-22 G-12 E-18 A-11 C-28 A-48 G-18 B-10 B-18 B-12 B-24 G-10 F-02 D-01 C-03 E-06 F-15 C-09 H-03 A-03 B-28 C-17 B-22 G-16 C-13 F-13 G-04 A-09 C-27 C-11 ASSOCIATIONS AKITA INDUSTRIAL TECHNOLOGY CENTER AOMORI PREFECTURAL INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH CENTER FUKUSHIMA TECHNOLOGY CENTRE INDUSTRIAL TECHNOLOGY INSTITUTE, MIYAGI PREFECTURAL GOVERNMENT THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN IWATE INDUSTRIAL RESEARCH INSTITUTE KANAGAWA INDUSTRIAL TECHNOLOGY CENTER MEMS PARK CONSORTIUM MICROMACHINE CENTER NMEMS TECHNOLOGY RESERCH ORGANIZATION ／ NEW ENERGY AND INDUSTRIAL TECHNOLOGY DEVELOPMENT ORGANIZATION（NEDO） YAMAGATA RESEARCH INSTITUTE OF TECHNOLOGY ACADEMIC PAVILION ADVANCED MICRO/NANO SYSTEM TECHNOLOGY A-23 RESEARCH CENTER, RITSUMEIKAN UNIV. A-31 A-32 KUROSAWA LAB. TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY A-54 KYOTO UNIV. NANO TECHNOLOGY HUB ／ KOTERA LAB. & TABATA LAB., GRADUATE SCHOOL A-56 OF ENGINEERING, DEPT. OF MICRO ENGINEERING MOLECULAR ROBOTICS A-58 NAKAYAMA LAB., SHINSHU UNIV. A-21 OKAYAMA UNIV., SUZUMORI LAB. A-27 OPTICAL MEMS&BIO-MEMS LAB., KYUSHU UNIV. ／ THE UNIV.OF TOKYO., MICROSYSTEM INTEGRATION A-45 AND PACKAGING LAB. HIGURASHI LAB. RITSUMEIKAN UNIV. A-33 SANEYOSHI LAB., DEPARTMENT OF PHYSICS, TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY A-53 SHIBAURA INSTITUTE OF TECHNOLOGY, RESEARCH A-25 ORGANIZATION FOR ADVANCED ENGINEERING, CENTER FOR FLEXIBLE SYSTEM INTEGRATION TOHOKU UNIV. MICRO SYSTEM INTEGRATION CENTER（μ SIC） A-43 THE UNIV. OF TOKYO., MICROSYSTEM INTEGRATION A-44 AND PACKAGING LAB. HIGURASHI LAB. ／ OPTICAL MEMS&BIO-MEMS LAB., KYUSHU UNIV. TOKYO INSUTITUTE OF TECHNOLOGY, MECHANO A-59 MICRO PROCESSING LAB. TOKYO MEDICAL & DENTAL UNIV., MITSUBAYASHI LAB. A-39 TOKYO METROPOLITAN UNIV., MORONUKI LAB. A-55 WASHIZU LAB., DEPT. OF BIOENGINEERING, THE UNIV. OF TOKYO A-38 NANO-MICRO MANUFACTURING ZONE CANON MARKETING JAPAN INC. B-40 IBARAKI UNIV., COLLAGE OF ENGINEERING, ITOH LAB. B-37 THE INSTITUTE OF PHYSICAL & CHEMICAL B-35 RESEARCH(RIKEN) MATERIALS FABRICATION LAB. NEO-PRODUCTION-SYSTEM TECHNOLOGY ASSOCIATION ／ NEXSY INC. B-39 PHOTONICS CONTROL TECHNOLOGY TEAM, CENTER FOR ADVANCED PHOTONICS, RIKEN B-33 RIKEN INNOVATION CENTER, RADIANT ENERGY AND B-34 ELECTRICITY GENARATION RESEARCH TEAM（REEG） SURFACE ENGINEERING & MACHINING LAB. DEPT. OF MECHANICAL ENGINEERING FACULTY OF ENGINEERING TOKYO CITY UNIV. ／ UMEZU LAB., TOKAI UNIV. B-36 SYO-EI INDUSTRY CORP. B-38 ／ NUMATA OPTICAL INSTRUMENTS FACTORY LTD. A-29 A-42 A-37 A-52 A-30 A-28 A-36 F-27 E-27 A-41 INTERNATIONAL EXHIBITORS DIGITAL SURF G-11 FRAUNHOFER INSTITUTE FOR ELECTRONIC NANO SYSTEMS ENAS D-31 FRAUNHOFER INSTITUTE FOR PHOTONIC MICROSYSTEMS IPMS D-32 IVAM MICROTECHNOLOGY NETWORK D-34 TRONICS MICROSYSTEMS C-32 X-FAB MEMS FOUNDRY D-27 YOLE DEVELOPPEMENT C-34 As at June 18, 2013 9 Concurrent events Place Free of charge East hall 2, Seminar room July 3 (wed) 13:30 –16:45 July 4 (Thu) 10:00 –13:25 Simultaneous Interpretation (English/Japanese) The 19th International Micromachine Nanotech Symposium Simultaneous Interpretation (English/Japanese) Japanese-German Micro/Nano Business Forum Now and the Future of Structure Challenging Sensor Network System (Social Infrastructure, Medical Use, Agriculture) Presented by Micromachine Center Chair: Prof. Isao Shimoyama, University of Tokyo International Exchange Committee Chair-MEMS Industry Forum Presented by IVAM MICROTECHNOLOGY NETWORK The forum intends to deepen the international exchange about applications of micro and nano technologies and create business opportunities between the Japanese and the German Market and worldwide. Session Chair: Dr. Lorenz Granrath Representative Fraunhofer Representative Office Japan, Tokyo Opening 13:30 13:35 Opening Remarks 13:35 13:40 Guest Speech Opening Remarks Hisao Sakuta, Chairman, Micromachine Center Keiichi Aoyagi Micromachine Center Industrial Machinery Division, Manufacturing Industries Bureau, METI Keynote 1 & 2 Sensor Network System leads the Social Change 13:40 14:10 14:10 14:25 Smart Autonomous Systems Enabled by Zero Power Technologies - the Guardian Angels for a Smarter Life vision Prof. Adrian M. Ionescu, Nano Devices Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Switzerland Sensor Network System for Quality of Future Society 14:50 15:10 The Importance of Maintenance in the Social Infrastructure(Bridges, Roads and so on ) and Expectation to Sensors Prof. Yozo Fujino, Department of Civil Engineering, University of Tokyo, Japan 15:10 15:35 15:35 16:00 16:20 16:40 10:30 11:00 Sensor Cluster for Public Infrastructure Prof. Albert P. Pisano, Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California, Barkeley, USA 11:20 11:40 24-hr monitoring system of human hemodynamics: Clinical Implication and Perspectives Prof. Kazuomi Kario, Jichi Medical University, Japan Open-access facility for MEMS R&D and production Prof. Dr. Kentaro Totsu Micro System Integration Center, Tohoku University, Tokyo 3D-Integration for Smart Systems Prof. Dr. Thomas Geßner Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Chemnitz Energy Harvesting Devices with Micro-machining Structures Dr. Hiroyuki Yagyu Panasonic Corporation, Osaka Research and Development of Micro Metal Injection Molding Benjamin Hefler Taisei Kogyo Co., Ltd High quality micro-machining with ps-lasers : MEMS and Sensors: Some Expected Trends in Medical and Quality-of-life Applications Dr. André ROUZAUD, Deputy VP for Microsystems and 3D Integration, Silicon Components Division, CEA-Leti, France Session 3 Now and the Future of Sensor Network System in Agriculture 16:00 16:20 10:10 10:30 11:00 11:20 Session 2 Now and the Future of Sensor Network System in Medical Use and Healthcare Dr. Peter Scholz Ministry of Economic Affairs, Energy and Industry of the State of North Rhine-Westphalia Prof. Dr. Thomas Geßner Member of the Advisory Board of IVAM Prof. Isao Shimoyama, University of Tokyo, Japan Session 1 Now and the Future of Sensor Network System in Social Infrastructure 14:25 14:50 10:00 10:10 Sensors and sensor networks in high-tech horticulture (plant factory) in the Netherlands 11:40 12:00 the process, examples and cost of ownership Bernhard Klimt, Coherent Kaiserslautern GmbH, Kaiserslautern 12:00 12:30 Break 12:30 12:50 Dr. Paul op den Brouw, Counsellor, Science and Technology, Embassy of the Kingdom of the Netherlands The Utility of a Massive Scale Sensor Network in the StockBreeding Industry Development of Polymer MEMS Process Technology and Its Application Prof. Dr. Susumu Sugiyama Ritsumeikan University, Kyoto A new Optical Measurement Method for 3-D Vibration and Motion Measurement of MEMS / Micromachines Dr. Eng. Toshihiro Itoh, Deputy Director, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Japan 12:50 13:10 Closing Remarks 13:10 13:25 Closing ナノ・マイクロ ビジネス展 ロボテック 次世代ロボット製造技術展 2014年より、 会期を4月、会場をパシフィコ横浜に移して開催 レーザーと光学技術の総合展示会 OPIE（OPTICS & PHOTONICS International Exhibition）との同時開催が決定！ 出展者募集中！ Morihito Hagura Polytec Japan, Kanagawa Closing 16:40 16:45 Keiichi Aoyagi, Executive Director, Micromachine Center Exhibitor presentation Place 13:30 14:20 YOLE DEVELOPPEMENT 【Contact】 S. Leroy [email protected] www.yole.fr 10 23–25（Wed−Fri）, April 2014 East hall 2, Presentation room July 4 (Thu) Steady 10-12% growth will double the MEMS market over next six years 2014年4月23日（水）̶25日（金） パシフィコ横浜 Booth No. C-34 Yole Développement market briefing: MEMS market overview - MEMS gyroscope patent landscape … For the first time, suppliers of inertial sensors have surpassed the major makers of micromirrors and inkjet heads that have long dominated the industry. PACIFICO YOKOHAMA 【ご出展のお申込み・お問合せ】 ナノ・マイクロ ビジネス展 / ROBOTECH事務局 〒102-0072 東京都千代田区飯田橋1-3-2 曙杉館 7F Tel. 03-3262-8446 Fax. 03-3262-8442 E-mail. [email protected] www.micromachine.jp 同時開催展 Concurrent fair 11
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