Silicon On Insulator (SOI) transistor TEGの照射前後の測定 L=0.15 L=0.30 L=0.50 L=0.30 L=0.50(um) W=300 W=600 W=1000 W=600 W=1000 PMOS LowVt L/W=0.3/600 L/W=0.15/300 L/W=0.5/1000 PMOS HighVt L/W=0.3/600 L/W=0.15/300 L/W=0.5/1000 PMOS IO L/W=0.5/1000 L/W=0.3/600 NMOS LowVt L/W=0.3/600 L/W=0.15/300 L/W=0.5/1000 NMOS HighVt L/W=0.3/600 L/W=0.15/300 L/W=0.5/1000 NMOS IO L/W=0.3/600 L/W=0.5/1000 同様な結果がH3_6,H4_6,H6_6で得られた Vd、Id Vds Vg Vgs NOT回路 Transistorのパラメータ NOR回路 NOR * NOT => AND
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