PACK series デスクトップ型アッシング装置 Desktop Plasma Ashing System ■装置概要 本装置はウェハー上のフォトレジスト等 の有機膜の剥離（アッシング）、電子部 品等のドライ洗浄、樹脂等の表面改質を 目的としたデスクトップ型プラズマ処理 装置です。 ■Summary “PACK series”desktop plasma ashing systems is excellent for ashing of organic layers,such as the photoresist on silicon wafers;dry cleaning of electronic parts,and changing in quality of resin. ■仕様項目 Specifications チャンバーサイズ ３００φ×４００Ｌ Chamber Size 発振器パワー １０００Ｗ 対向電極方式 または 同軸電極方式 RF Generator Power 放電方式 Plasma Source Type Parallel Electrode or Co-axial Electrode 処理ガス系 １系（Ｏ２）マスフロー制御 Process Gas 1 Line (O2) Mass Flow Controller 標準ポンプ ドライポンプ Vacuum Pump 排気制御 Exhaust Controller Dry Pump コンダクタンス・コントロール・バルブ（ＣＣＶ） Conductance Control Valve マイコン制御 １０レシピ・３ステップ Micro-Controller 10 Recipes ･ 3 Step ■オプション Option 処理ガス系 ＭＡＸ ３系 Process Gas Maximum 3 Lines 排気制御 オート・プレッシャー・コントローラー（ＡＰＣ） Exhaust Controller Auto Pressure Controller ヒーティングシステム ハロゲン・ヒーティング・システム Heating System ＥＰＤ 石英ボート，取出し治具 Quartz Boat, Boat Hander Tool Halogen Heating System エンドポイント・ディテクター Optical End Point Detector ２”φ～８”φウェハー対応，専用テーブル 製造・販売元 Applicable to 2 to 8-inch wafers, Special Table Y.A.C. Co., Ltd. YACPS200403/A4F 本社：〒196-0021 東京都昭島市武蔵野3-11-10 TEL.042-546-1161㈹ FAX.042-546-1107 HEAD OFFICE：11-10, Musashino 3-Chome, Akishima-shi, Tokyo 196-0021 PHONE：+81-42-546-1161 FAX：+81-42-546-1107 プラズマシステム事業部 Plasma System Div. 〒196-0021 東京都昭島市武蔵野3-10-6 TEL.042-546-2870㈹ FAX.042-546-2867 OFFICE：10-6, Musashino 3-Chome, Akishima-shi, Tokyo 196-0021 PHONE：+81-42-546-2870 FAX：+81-42-546-2867 ●YAMANASHI PLANT ●TAIWAN ●SINGAPORE PACK series ■石英チャンバー Quartz Chamber GAS in 排気 Exhaust ■放電方式 Plasma Source Type ▼対向電極：レート高い，チャージアップ強 Parallel Electrode : High Ashing Rate ▼同軸電極：レート低い，チャージアップ弱 Co-axial Electrode : Weak Charge Up 高周波発振器：13.56MHz RF Generator 高周波発振器：13.56MHz RF Generator 石英チャンバー Quartz Chamber 石英チャンバー Quartz Chamber アルミトンネル Al. Tunnel ■装置全体図 Appearance １５００mm 発振器 RF Generator ポンプ Vacuum Pump *テーブル奥行き：１０００mm Table Depth *メンテナンスゾーン：＋７００mm Maintenance Area ７２３mm Y.A.C. Co., Ltd. YACPS200403/A4B
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