揮発性合成有機物(VOC)の分解装置におけるマイクロ波

揮発性有機合成物の分解装置におけ
るマイクロ波の吸収メカニズム
T02MD032
西川聡
研究背景
• 揮発性有機合成物(VOC) は、2004年の
大気汚染防止法改正により、排出が規
制されるようになった。
研究対象
マイクロ波
rneck
空気とVOC
が流入
grain film
シリカ
図１
円管
図２
粒子モデル
モデルの検討とメカニズムの解析
マイクロ波
Ｒ：反射率
空気とVOC
が流入
rneck
grain film
rcoat l
シリカ
Ｔ：透過率
吸収率：1-R-T
ｌ(膜厚)が変化
rneck
(抵抗)が変化
rcoat
f：金属の占有率
RTM法
・波の散乱を解析できる。
・波の反射成分と透過成分を完全に分
けて表現できる。
結
x [mm]
10
5
0
-5
-10
Thickness 0.5(μm)
-20 -10
果
0
10 15
z [mm]
x [mm]
10
5
0
-5
Thickness 2(μm) -10
-20
-10
0
10 15
z [mm]
x [mm]
10
Thickness
5(μm)
5
0
-5
-10
-20 -10
0
10 15
z [mm]
10
5
0
-5
-10
-20 -10 0
Thickness
10 15
10
5
0
-5
-10
-20 -10
0
2(μm)
10 15
10
5
0
-5
-10
-20 -10 0
5(μm)
1015
結論
• モデルを提案した。
• 解析により、ニッケルの膜厚による
吸収率のピークを示すことが出来た。

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