研削実験の状況報告 第11回新技術望遠鏡技術検討会 2007年12月15日 ナガセインテグレックス ナノオプトニクス研究所 所 仁志 • N2C-53U - R10,000球面 - ロータリー - 150×150×70 mm, クリアセラム-z HS • N2C-1300D - 平面 - トラバース - f610 ×90 mm, クリアセラム-z HS N2C-53Uでの加工実験 • ロータリー研削 - 150×150×70 mm クリアセラム-z HS - R10,000球面 - 中仕上げ用#1,200砥石での形状創成 - 1pass加工毎に平面部を基準に形状測定 - 直交ロータリードレッサー（GC600）で砥石断面R9,000 #1,200 • 砥石 - 東京ダイヤモンド工具製作所 - 片桐製作所 • 加工条件 - 砥石回転数：1,000 rpm - テーブル回転数：5 ~ 50 rpm （周速度一定） - 左右ピッチ：0.4 mm / rev. - 切込み：3 mm / pass - 1pass加工時間：23 min. 東京ダイヤモンド製 #1,200 (1) R10,000からの残差 4 加工プログラムR 2 #170 8pass R10,000 #1,200 5pass R10,100 R10,000 #1,200 6pass #1,200 7pass R10,150 #1,200 8pass R10,150 R10,500 #1,200 14pass #1,200 15pass R10,500 #1,200 16pass R10,500 R10,650 #1,200 17pass #1,200 18pass R10,650 #1,200 19pass (45deg.) R10,650 R10,650 #1,200 20pass (45deg.) 0 -2 -4 um -6 -8 -10 -12 -14 -16 -18 -20 -22 0 20 40 60 80 mm 100 120 140 160 • ドレス直後は形状が安定しない • しばらく加工すると、砥石の切れ味が良くなる 東京ダイヤモンド製 #1,200 (2) 再ドレス R10,000からの残差 6 加工プログラムR 4 2 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 0 -2 um -4 -6 -8 -10 -12 -14 25pass 27pass 28pass 29pass 30pass 31pass 32pass 33pass 34pass 35pass R10,650 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 (45deg.) R10,235 -16 -18 -20 -22 0.0 20.0 40.0 60.0 80.0 mm 100.0 120.0 140.0 160.0 • 安定な砥石状態がしばらく続く（セグメントでの1pass<） • 再ドレスすると不安定な状態（直交ドレスとの相性×） 片桐製 #1,200 R10,000からの残差 -64 -66 -68 加工プログラムR -70 -72 -74 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 #1,200 um -76 -78 -80 -82 -84 3pass 5pass 6pass 7pass 8pass 9pass R10,235 (LT9010M) (LT9010M) (LT9010M) (LT9010M) (LT9010M) (LT9010M) R10,116 -86 -88 -90 -92 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 mm • ドレス直後から安定した状態 • 直交ドレス法との相性が良い #1,200 まとめ • 東京D製よりも片桐製の方が良さそう - 直交ドレスとの相性の問題？ • ドレス方法の検討 - SUSロールドレス法（宮城県産業技術総合センター） - 極微粒GC砥石法（東北大厨川研究室、東京D） etc … • 電子顕微鏡による試験片の観察 - 砥粒切れ刃密度の測定 （仕上げ面粗さ・砥石磨耗量に影響） N2C-1300Dでの加工実験 X軸（左右） 真直度 • 真直度 0.38 mm / 1,000 mm - ＜ 要求仕様 1.0 mm / 1,000 mm - 再現性はどうか？ f610 mmワークで平面加工 現状 1.5 0.5 -0.5 #325 #1,200 #3,000 -1.5 -2.5 -3.5 0 100 200 300 400 500 • 0.5 mm / 610 mmの傾き - 裏面？研削液？ • 面板・裏面の加工中 600 まとめ • #1,200中仕上げは、片桐製砥石を使用する - 直交ドレス直後から切れ味が良い • 最適なドレス方法・砥石の選定は続ける - 電子顕微鏡による観察 • N2C-1300Dでの試験加工 - 0.5 mm / 610 mmの傾き
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