佐藤勝昭研究室 OB会 2003年11月22日 磁性MOD班 有機金属分解(ＭＯＤ)法は比較的簡単に 高品質な薄膜が作成できる方法として誘 電体や高温超伝導体に応用されている 磁性体薄膜(ガーネット）作製に適用 高純度化学研究所と共同研究 MOD法＝Metal Organic Decomposition法 （有機金属分解法） 基板上に原料溶液を塗 布し熱処理を行うだけ の簡素な方法 メリット 熱処理することで有機金 属酸塩を分解し、酸化物 薄膜を得る ・大掛かりで高価な実験設備を必要としない ・成膜に於いて真空プロセスを必要としない ・組成の制御が容易である ・ゾル・ゲル法のような溶液の時間変化がない ・分子レベルで均一 ・大面積な基板上でも均一に塗る事ができる 作製した薄膜 YIG（イットリウム鉄ガーネット） 酸化物透明磁性体 NｄIG、GdIGのBi、Ga、置換薄膜 Faraday スペクトル 5 Faraday rotation(deg./cm) [10 ] 1 0.5 Y3Fe4Ga1O12/GGG Y2Bi1Fe4Ga1O12/GGG 0 -0.5 500 600 Wavelength(nm) 700 図 Y3-XBiXFe5O12のファラデー回転スペクトル 佐藤勝昭著「光と磁気」(朝倉書店 ）より 実際のサンプル ガラス基板 Y3Fe4Ga1O12 Y2Bi1Fe4Ga1O12 Si基板 学生実験「物理システム工学実験 ⅢⅣ」のテーマになっています
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