キャパシタンスダイヤフラムゲージ M-340DG-01， M-340DG-13 ●概要 世界初 ! マイクロマシン技術を用いた 133.3Pa （1Torr） 静電容量真空計 キャパシタンスダイヤフラムゲージ （静電容量型隔膜真空計） をマイクロマシン （MEMS） 技術を用いて作製し、 高性能、 小型化、 低価格を実現した画期的な真空計です。 ●特長 ●用途 ・ 高感度、 高再現性 ・ スパッタリング装置のプロセス圧力測定 シリコンダイヤフラムの採用により、 高感度、 ・ ロードロックチャンバの圧力測定 高再現性を実現 ・ ガス分析装置の圧力測定 ・ 小型化、 低価格 マイクロマシン （MEMS） 技術を用いて、 小型化、 低価格 （量産化） を実現 ・ メンテナンスコスト低減 センサチップのみの交換が可能 ・ 測定レンジ 133Pa,133kPa のラインナップ 今後ラインナップ拡張予定 ・ 真空乾燥装置の圧力測定 ・ ランプのガス封入プロセス圧力測定 ● M-340DG 仕様 型 名 M-340DG-01 M-340DG-13 133.3Pa （１Torr） 133.3 ｋＰａ （1000Torr） 0.5 ％ ｏｆ Ｒｅａｄｉｎｇ 0.5 ％ ｏｆ Ｒｅａｄｉｎｇ ゼロ点温度係数 0.04 ％ＦＳ／℃ 0.02 ％ＦＳ／℃ スパン温度係数 0.06 ％ＦＳ／℃ 0.06 ％ＦＳ／℃ 測定レンジ 精 度 応答速度 8VCR タイプ 20 ｍｓ センサ出力 0 ～ ＋ 10 Ｖ 使用温度 15 ～ 35℃ センサヘッド大きさ センサヘッド重さ φ 38 ×Ｌ 66.5 ｍｍ 約 170 ｇ 8 －ＶＣＲ （メス）、 NW16、 NW25、 継ぎ手 φ 70 ＩＣＦ、 φ 15 チューブ コネクタ Φ 70ICF タイプ ゲージ本体 -NW25 タイプ Ｄ－ｓｕｂ 9 ピン 入力電圧 ＋ 13.5 ～＋ 26.4 ＶＤＣ 消費電力 0.5 Ｗ NW16 タイプ Φ 15 チュ－ブタイプ ● M-392 表示器 ( キャパシタンスゲージ用 ) 仕様 型 名 対応ゲージ フロントパネルサイズ 表示桁数 セットポイント 外部出力 外部入力 ゲージ用供給電源 所要電力 外形寸法 質量 通信機能 AC 入力ケーブル ゲージ⇔表示器間ケーブル M － 392 M － 340DG DIN サイズ 5桁 2点 接点容量 DC24V、 1A アナログ出力 ( ゼロ点補正込み ) 1点 +15V AC85 ～ 264V 30W MAX 48 × 96 × 162 440g RS-232C 3m 別売、 標準 5 ｍ ２００６年 4 月 無断転載禁止
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